• 제목/요약/키워드: chemical cleaning

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유기금속화학기상증착법에 의해 증착된 구리 핵의 기판과 전처리의 의존성 ((Substrate and pretreatment dependence of Cu nucleation by metal-organic chemical vapor deposition))

  • Kwak, Sung-Kwan;Lee, Myoung-Jae;Kim, Dong-Sik;Kang, Chang-Soo;Chung, Kwan-Soo
    • 대한전자공학회논문지TE
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    • 제39권1호
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    • pp.22-30
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    • 2002
  • Si, SiO/sup 2/, TiN, W/sup 2/N 기판 위에 (hfac)Cu(VTMS) 유기금속 전구체로 증착된 구리 핵을 조사하였다. 증착온도가 증가함에 따라, 기판 종류에 상관없이 180。C에서 구리 핵이 클러스터링으로 성장하는 메커니즘을 관찰하였다. 또한, HF용액으로 세척한 TiN 과 SiO/sup 2/가 공존하는 기판에서 구리 핵의 선택성이 향상됨을 관찰하였다. TiN을 H/sup 2/O/sup 2/로 세척한 후 Dimethyldichlorosilane 처리했을 때 표면이 passivation됨을 확인하였다.

사용후 가솔린 자동차 삼원촉매의 재제조 효과 고찰 (A Study on the Remanufacturing Effect of Aged Three-Way Catalysts)

  • 곽승민;임종선;김태원;박해경
    • 공업화학
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    • 제20권4호
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    • pp.430-436
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    • 2009
  • 가솔린 자동차 배출가스에 장기간 노출되어 활성이 저하된 폐 삼원촉매를 대상으로 재제조를 수행하였다. 재제조된 삼원촉매, 자동차 배출가스에 노출되지 않은 신촉매와 폐 삼원촉매에 대해 촉매의 물성분석과 CO, THC 및 NOx에 대한 전환활성을 측정하여 비교 분석하였다. 폐 삼원촉매의 재제조는 증류수 및 산성용액을 이용하여 초음파 세정하는 것과 세정된 촉매에 촉매의 활성성분인 Pt, Pd 및 Rh를 재함침하는 방법으로 수행하였다. 폐 삼원촉매를 재제조하는 과정에서 촉매표면에 축적되었던 각종 불순성분들이 대부분 제거 되었으나 촉매활성 성분인 Pt나 Pd 또한 함께 제거되는 것으로 판단되었다. 촉매활성 성분을 함침하여 폐 삼원촉매를 재제조 할 경우 재제조된 촉매의 활성은 신촉매의 활성보다 같거나 우수한 것으로 나타났다.

이온빔 조사 각도에 따른 액정 배향 특성 연구 (Investigation of LC Alignment characteristic by Controlling Ion-beam Irradiation angles)

  • 박홍규;오병윤;김영환;김병용;한진우;전지연;한정민;서대식
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2008년도 춘계학술대회 및 기술 세미나 논문집 디스플레이 광소자
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    • pp.43-43
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    • 2008
  • Recently, it is widely studied to liquid crystal (LC) alignment using ion-beam exposure. Because conventional rubbing method has some problems such as defects from dust and electrostatic charges and rubbing scratch during rubbing process. Moreover rubbing method needs cleaning process to remove these defects. Therefore rubbing-free techniques like ion-beam method are strongly required. We studied LC alignment by controlling ion-beam irradiation angles and electro-optical (EO) characteristics of twisted nematic LC on the polyimide surface. In this experiment, a good uniform alignment of the nematic liquid crystal (NLC) with the ion-beam exposure on the polyimide (PI) surface was observed. We also achieved low pretilt angle as function of ion-beam irradiation angles. X-ray photoelectron spectroscopic (XPS) analysis provided chemical evidence for LC alignment by controlling ion-beam irradiation angles. In addition, it can be achieved the good EO properties of the ion-beam-aligned twisted nematic liquid crystal display (TN-LCD) on PI surface. Some other experiments results and discussion will be included in the presentation.

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해저 오염 퇴적층 복원 처리를 위한 BMP 패키지 기술 개발

  • 배준홍;하문근;어경해;김승혁;박찬후;김병우;구근회;윤철원
    • 한국해양공학회:학술대회논문집
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    • 한국해양공학회 2002년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.12-16
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    • 2002
  • Soil, ground water and sea bed are exposed to continuous accumulation of polluted materials causing serious environmental damage. It has been reported that such pollution causes a massive mortality of fish stock in rivers by the resuspension of toxic chemicals during strong wind conditions. Therefore, it becomes apparent that there is an immediate demand for the restoration treatment of polluted river bed (or sea bed) sediment layers. Pollution levels of major rivers and ports such as Pal-dang, Kyung-an rivers, Ma-san port are becoming public concern and are posing a serious environmental threat. In particular, the pollution of Shi-hwa river has become a nation wide issue for last few years. In spite of such public concern, the pollution level of such rivers or port are getting worse everyday. In this study, an environmentally sound engineering package is introduced which helps to restore the polluted river bed or sea bed sediments. This engineering package is consisted of a suction facility followed by a series of mechanical, chemical as well as biological treatment units. The suction facility is designed to minimize the secondary pollution due to the resuspension of toxic materials during suction. The sea bed cleaning engineering package is designed to be installed on the top of a floating barge. Such combination of environmental plant and shipbuilding technology provides a cost-effective solution, minimizing the cost involved in the transportation between suction and treatment facilities.

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자동차 석유 및 정량주유 체크 시스템의 구현 (A implementation of system which checks the vehicle oil identification and quantitative gas)

  • 정다운;백성현;장종욱
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제15권6호
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    • pp.1277-1282
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    • 2011
  • 최근 유사석유제품 판매와 정량주유를 하지 않는 주유소로 인해 많은 운전자들이 피해를 입고 있고, 운전자들이 받는 피해가 더 증가할 것이라고 예측한다. 유사석유제품을 사용함으로써 발생하는 피해는 연료계통의 윤활작용 및 자가 청정기능 문제, 부품의 조기 노후화 및 연료계통의 불순물 누적, 배기가스의 유독성 물질 배출, 확인되지 않은 화학적 반응 등이 있다. 이러한 피해를 예방하기 위해 OBD-II 프로토콜로 자동차의 주행 내부정보를 받아 유사 석유제품과 정량주유를 측정하고자 한다. 본 논문에서는 WinCe 기반의 개발보드를 이용하여 WiFi 통신을 지원하는 OBD-II 스캐너를 통해 주행 내부정보를 받아와서 현재 차량의 유사석유제품판별 시스템과 정량주유 시스템을 구현하였다.

일부 세탁소의 유기용제 관리실태 및 공기중 노출농도에 관한 조사 (A Survey on the Management of Chemical Substances and Airborne Concentration in Laundries Exposed to Organic Solvents)

  • 노영만;권기범;박승현;정지연
    • 한국산업보건학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.70-77
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    • 2001
  • This study was conducted to identify the current status of occupational safety and health by checklist and to evaluate the airborne exposure to chemicals and to provide the appropriate recommendation for safety and health of laundries. A total of 20 laundries located in tile Gyungi district area were surveyed from July 20 to September 15, 2000. The prevalence of laundries having a stove and gas range were found to be 25 % and 55 %, respectively. Smoking is not allowed in 60 % of the laundries. Only 10 % of dry-cleaners were isolated. Ventilation systems in laundries had not been annually inspected. Most of the workers didn't put on respirators, MSDS were not available, and storage bottles did not contain warning labels. The bulk samples of dry cleaning agent include many chemicals that are not controlled by the MOL in Korea. The detected airborne organic solvents in the laundries were benzene, toluene, p-xylene, m-xylene, o-xylene, perchloroethylene, and 2-butoxy ethanol. The airborne concentrations of organic solvents were much less than the occupational exposure limits proposed by the Ministry of Labor(MOL) in Korea. But the concentrations of benzene exceeded the TLV of ACGIH. This study showed that the current status of occupational safety and health was not appropriate for workers in laundries. It is recommended that laundry workers should be educated for the treatment and storage of hazardous organic solvents to improve the occupational safety and health of the working environment as well as MSDS usage. Also, extended research and survey for the organic solvents that are not controlled by the MOL has to be conducted.

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서울 원각사지 십층석탑의 표면오염물 형성과정 (Forming Process of Surface Contaminants on Ten-story Stone Pagoda of Wongaksa Temple, Seoul)

  • 전유근;이명성;김유리;이선명;임보아
    • 보존과학회지
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    • 제32권3호
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    • pp.365-375
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    • 2016
  • 이 논문에서는 원각사지 십층석탑 표면에 발생한 오염물의 형성과정을 연구하였다. 연구결과, 흑색오염물은 석탑의 화학적인 풍화로 인해 석고가 일차적으로 형성되고 공기 중의 탄소화합물이 석탑표면에 고착되면서 생성된 흑연에 의해 발생한 것으로 판단되며, 발생시기는 1933년 이전으로 확인되었다. 백색오염물은 보호각 상부 마감재의 노후화 및 구조물의 훼손으로 발생한 방해석이 석탑표면에 재결정화 되면서 형성되었으며, 발생시기는 보호각이 설치된 1998년에서 2013년 사이에 발생한 것으로 판단된다. 원각사지 십층석탑의 장기적인 보존을 위해서는 보호각 상부에 형성된 오염물의 제거, 구조물의 방청처리 및 지속적인 모니터링이 요구된다.

해수전처리를 위한 침지식 정밀여과 멤브레인 시스템에서 Alginate 파울링의 이해 (Understanding Alginate Fouling in Submerged Microfiltration Membrane System for Seawater Pretreatment)

  • 장호석;권대은;김정환
    • 멤브레인
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    • 제26권1호
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    • pp.55-61
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    • 2016
  • 저압 침지식 멤브레인을 이용한 해수 담수화 전처리에 있어서 유기 파울링은 막간 압력 증가로 인한 화학 세정 횟수의 증가 및 에너지 소비 증가 등 멤브레인 운전시 문제점들을 야기한다. 조류대응 해수전처리에서 조류가 배출하는 extracellular polymeric substances의 대표물질인 sodium alginate를 이용하여 침지식 여과에서 파울링 현상을 관찰하였다. 공기 폭기가 적용되지 않은 경우 순수한 aglinate 파울링은 농도가 증가하면서 증가하였다. 그러나 공기 폭기를 적용해 준 경우 alginate 파울링 감소는 매우 효과적이었다. 공기 폭기가 없는 경우 칼슘 농도의 증가에 따라 alginate 파울링은 감소하였다. 동일 조건에서 공기 폭기 시 높은 alginate 파울링 감소효과를 나타내었으나 NaCl 농도를 증가시킨 경우 칼슘 농도의 증가에 따라 파울링 제어를 위한 공기 폭기 효과는 감소하였다. 해수와 유사한 높은 NaCl과 칼슘 농도에서 고농도 sodium alginate의 경우 공기 폭기량 증가를 통해 초기 파울링을 감소시킬 수 있었으나 시간의 경과에 따라 상대적으로 낮은 폭기량에서의 파울링 감소 효과와 큰 차이는 없었다.

자동차 유사석유제품 및 정량주유 판별 시스템의 설계 및 구현 (A design and implement vehicle similar oil identification and quantitative gas)

  • 정다운;백성현;장종욱
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2011년도 춘계학술대회
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    • pp.281-284
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    • 2011
  • 최근 유사석유제품 판매와 정량주유를 하지 않는 주유소로 인해 많은 운전자들이 피해를 입고 있고, 이러한 현상들이 점점 증가하여 앞으로 그 피해는 더 늘어날 전망이다. 유사석유제품을 사용함으로써 발생하는 피해는 연료계통의 윤활작용 및 자가 청정기능 문제, 부품의 조기 노후화 및 연료계통의 불순물 누적, 정품 휘발유와의 연소속도 차이로 인한 엔진의 부담 가중, 배기가스의 유독성물질 배출, 엔진오일과 확인되지 않은 화학적 반응 등이 발생하게 되는 문제점이 있다. 이러한 피해를 예방하기 위해 OBD-II 프로토콜로 자동차의 주행 내부정보를 받아 유사석유제품과 정량주유를 측정하고자 한다. 본 논문에서는 WinCe 기반의 개발보드를 이용하여 WiFi 통신을 지원하는 OBD-II 스캐너를 통해 주행 내부정보를 받아와서 현재 차량의 유사석유제품판별 시스템과 정량주유 시스템을 구현하였다.

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Low-Temperature Si and SiGe Epitaxial Growth by Ultrahigh Vacuum Electron Cyclotron Resonance Chemical Vapor Deposition (UHV-ECRCVD)

  • Hwang, Ki-Hyun;Joo, Sung-Jae;Park, Jin-Won;Euijoon Yoon;Hwang, Seok-Hee;Whang, Ki-Woong;Park, Young-June
    • 한국결정성장학회:학술대회논문집
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    • 한국결정성장학회 1996년도 The 9th KACG Technical Annual Meeting and the 3rd Korea-Japan EMGS (Electronic Materials Growth Symposium)
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    • pp.422-448
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    • 1996
  • Low-temperature epitaxial growth of Si and SiGe layers of Si is one of the important processes for the fabrication of the high-speed Si-based heterostructure devices such as heterojunction bipolar transistors. Low-temperature growth ensures the abrupt compositional and doping concentration profiles for future novel devices. Especially in SiGe epitaxy, low-temperature growth is a prerequisite for two-dimensional growth mode for the growth of thin, uniform layers. UHV-ECRCVD is a new growth technique for Si and SiGe epilayers and it is possible to grow epilayers at even lower temperatures than conventional CVD's. SiH and GeH and dopant gases are dissociated by an ECR plasma in an ultrahigh vacuum growth chamber. In situ hydrogen plasma cleaning of the Si native oxide before the epitaxial growth is successfully developed in UHV-ECRCVD. Structural quality of the epilayers are examined by reflection high energy electron diffraction, transmission electron microscopy, Nomarski microscope and atomic force microscope. Device-quality Si and SiGe epilayers are successfully grown at temperatures lower than 600℃ after proper optimization of process parameters such as temperature, total pressure, partial pressures of input gases, plasma power, and substrate dc bias. Dopant incorporation and activation for B in Si and SiGe are studied by secondary ion mass spectrometry and spreading resistance profilometry. Silicon p-n homojunction diodes are fabricated from in situ doped Si layers. I-V characteristics of the diodes shows that the ideality factor is 1.2, implying that the low-temperature silicon epilayers grown by UHV-ECRCVD is truly of device-quality.

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