$CF_4$ 분해에 미치는 비열플라즈마 반응기 구조의 영향
(Effect of Non-thermal plasma Reactor construction by $CF_4$ decomposition)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2002년도 하계학술대회 논문집 Vol.3 No.2
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- pp.912-916
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- 2002