• 제목/요약/키워드: argon

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몬테칼로법을 이용한 Ar기체의 전자수송계수에 관한 연구 (A study on the electron transport coefficients using monte carlo method in argon gas)

  • 하성철;전병훈
    • E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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    • 제8권6호
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    • pp.685-692
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    • 1995
  • The electron transport coefficients in argon gas is studied over the range of E/N values from 85 to 566 Td by the Monte Carlo method considering the latest cross section data. The result of the Monte Carlo method analysis shows that the value of the electron transport coefficients such as the electron drift velocity, the ratio of the longitudinal and transverse diffusion coefficients to the mobility. It is also found that the electron transport coefficients calculated by the two-term approximation analysis agree well with those by Monte Carlo calculation. The electron energy distributions function were analysed in argon at E/N=283, and 566 Td for a case of the equilibrium region in the mean electron energy. A momentum transfer cross section for the argon atom which was consistent with both of the present electron transport coefficients was derived over the range of mean electron energy from 10.3 to 14.5 eV, also suggested as a set of electron cross section for argon atom. The validity of the results obtained has been confirmed by a Monte Carlo simulation method.

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Characteristics of tantalum nitride thin film resistors deposited on $SiO_2/Si$ substrate using D.C-magnetron sputtering

  • Cuong, Nguyen Duy;Phuong, Nguyen Mai;Kim, Dong-Jin;Kang, Byoung-Don;Kim, Chang-Soo;Yoon, Soon-Gil
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.64-65
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    • 2005
  • The structural and electrical properties of the films are investigated as a function of nitrogen/argon ratio at room temperature and at various deposition temperatures. The phase changes as $Ta_2N$ or TaN in the films were observed as nitrogen/argon ratio increases from 3% to 25%. The phase changes were associated with a change in the resistivity and TCR (temperature coefficient of resistance) of the films. TCR values of the films deposited at room temperature and different nitrogen contents were negative, and strongly decreased with the increase in nitrogen/argon ratio. The Ta2N films deposited at nitrogen/argon ratio of 3% show improved TCR values and thermal stability with increasing deposition temperature. The $Ta_2N$ films grown at nitrogen/argon ratio of 3% and the temperature of $200^{\circ}C$ showed a TCR value of -47 $ppm/^{\circ}C$, which is close to near-zero TCR in the range of deposition temperature.

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수소 첨가 열처리에 따른 Ti-6Al-4V 합금 분말의 격자 변형 및 내산화성 향상 (Lattice Deformation and Improvement Oxidation Resistance of Ti-6Al-4V Alloy Powders Prepared by Hydrogen Added Argon Heat Treatment)

  • 조계훈;오정민;임재원
    • 한국분말재료학회지
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    • 제26권2호
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    • pp.126-131
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    • 2019
  • In the present work, a new hydrogen added argon heat treatment process that prevents the formation of hydrides and eliminates the dehydrogenation step, is developed. Dissolved hydrogen has a good effect on sintering properties such as oxidation resistance and density of greens. This process can also reduce costs and processing time. In the experiment, commercially available Ti-6Al-4V powders are used. The powders are annealed using tube furnace in an argon atmosphere at $700^{\circ}C$ and $900^{\circ}C$ for 120 min. Hydrogen was injected temporarily during argon annealing to dissolve hydrogen, and a dehydrogenation process was performed simultaneously under an argon-only atmosphere. Without hydride formation, hydrogen was dissolved in the Ti-6Al-4V powder by X-ray diffraction and gas analysis. Hydrogen is first solubilized on the beta phase and expanded the beta phases' cell volume. TGA analysis was carried out to evaluate the oxidation resistance, and it is confirmed that hydrogen-dissolved Ti-6Al-4V powders improves oxidation resistance more than raw materials.

치주질환에 대한 Argon 레이저의 효과 (The Effect of Argon Laser on Periodontal Disease)

  • 안형준;유지원;김재홍;김종열
    • Journal of Oral Medicine and Pain
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    • 제30권2호
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    • pp.277-285
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    • 2005
  • 치주질환을 야기하는 세균을 제거하고, 세균집락을 감소시키는 레이저 에너지의 광열적 작용을 이용하여 치주질환의 치료에 대한 효과를 알아보고자, 연세대학교 치과대학병원 구강내과에 내원한 중등도의 치주질환을 가진 환자를 대상으로, 각각 Argon 레이저를 이용한 치은연하 소파술과 통상적인 치은연하 소파술을 시행하여 비교하였다. 시술 전과 시술 1주 후 각각 치은열구액을 채취하여 치주질환의 중요한 원인인 호기성 세균과 혐기성 세균에 대해 배양된 세균 군락수의 변화를 비교하고, 또한 치태지수, 치은지수, 치면열구 출혈지수와 같은 치주질환과 관련된 임상적 지표의 변화를 비교하였다. 연구 결과, 호기성 세균 및 혐기성 세균에 대한 세균 군락 수 비교 시, Argon 레이저를 이용하여 치주치료를 시행한 실험군과 치은연하 소파술을 시행한 대조군 모두 시술 전에 비해 시술 1주 후 세균의 군락 수에 있어서 감소 양상을 나타내었고, 특히 혐기성 세균의 군락 수에 있어서는 통계학적으로 유의한 감소 양상을 나타내었으며(p<0.1), 두 군 사이에 통계학적으로 유의한 차이는 없었다. 또한 치주조직의 상태를 나타내는 지표로서 이용되는 치태지수, 치은지수 및 치은열구 출혈지수의 비교 시 Argon 레이저를 이용하여 치주치료를 시행한 실험군과 치은연하 소파술을 시행한 대조군 모두 시술 전에 비해 시술 1주 후 지수의 감소양상을 나타내었고, 특히 Argon 레이저를 이용한 실험군에서는 치은지수(p<0.1)와 치은열구 출혈지수(p<0.01)가, 치은연하 소파술을 시행한 대조군에서는 치은열구 출혈지수(p<0.01)가 통계학적으로 유의한 감소 양상을 나타내었다. 그러나 두 군 사이에 각각의 지수에 있어서 모두 통계학적으로 유의한 차이는 없었다. 이상의 연구 결과, 중등도의 치주질환의 치료에 있어서 Argon 레이저는 치은연하 소파술을 대신하거나 또는 치은연하 소파술과 병용하여 치료 효과를 더욱 상승시켜주는 유의한 치료법이라고 사료되며, 본 연구 결과 임상적 적용 가능성이 있다고 보여지나, 보다 효과적으로 임상에 적용하기 위해서는 앞으로 충분한 표본의 확보 및 장기적인 예후 관찰을 포함한 더욱 정밀하게 조절된 연구가 필요하리라고 사료된다.

아르곤4P준위 광방출 분석법(OES)을 이용한 플라즈마의 전자온도 및 준안정 밀도 측정

  • 이영광;이민형;정진욱
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회
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    • pp.104-108
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    • 2007
  • This paper reviews a simple model and spectroscopic method for extracting plasma electron temperature and argon metastable number density. The model is based on the availability of experimental relative emission intensities of only four argon lines that originate from 4p argon level. In this method, Maxwell-Boltzman distribution for EEDF is assumed and the calculation relies on the accuracy of the cross section. Therefore OES have to be compared with Langmuir probe to establish their practical validity.

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Sputter etching에 의한 양모, 견직물의 농색효과 (Effects of Color Depth on Wool and Silk Fabrics Treated Sputter Etching)

  • 조환;구강
    • 한국염색가공학회지
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    • 제6권3호
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    • pp.44-51
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    • 1994
  • Wool and silk fabrics dyed with C.l. Acid Black 155 were subjected to sputter etching and exposed to a low temperature argon plasma. Color depth of shade of the fabrics increased considerably, but sputter etching was more effectively than argon low temperature plasma treatment. And measured for any significant chemical modification by ESCA (XPS). Sputter etching and argon low temperature plasma treatments incorporated oxygen atoms into the surface.

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Electrochemical Properties of Carbon Composites Prepared by Using Graphite Ball-milled in Argon and Air Atmosphere

  • Lee, Kyoung-Muk;Oh, Seh-Min;Lee, Sung-Man
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제29권6호
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    • pp.1121-1124
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    • 2008
  • A carbon composite was synthesized by mechanical mixing of ball-milled graphite and PVC powders, followed by pyrolysis reaction of PVC. Natural graphite ball milled under atmosphere of argon or air leads to a disordered structure. It appears that the electrochemical lithium intercalation reaction is dependent on the atmosphere in which the graphite is ball milled. The carbon composite obtained using air-milled graphite shows a high reversible capacity and high initial coulombic efficiency compared to argon-milled graphite. This is attributed to the enhanced thermal stability of a disordered structure in the air milled sample. For the one with air-milled graphite, the disordered structure is maintained during heat treatment, while argon-milled graphite is partially crystallized.

쵸크랄스키 실리콘 단결정의 특성에 미치는 아르곤 유동의 영향 (Effect of argon flow on the quality of Czochralski silicon crystal)

  • 김정민;이홍우;최준영;유학도
    • 한국결정성장학회지
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    • 제10권2호
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    • pp.91-95
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    • 2000
  • 8인치 쵸크랄스키 실리콘 단결성 성장에 있어서, 계면에서의 온도기울기, 산소, 농도 및, 반경방향의 산소농도 분포에 미치는 아르곤 가스 유동의 영향을 조사하였다. 아르곤의 유입량을 증가시킴에 따라 계면 근처 결정내 온도기울기가 증가하였으며. 결정내 산소농도는 감소하였다. 한편, 반경방향의 산소농도 균일성은 악화됨이 관찰되었다. 실험 결과를 종합하여 볼 때, 아르곤 유동이 산소 농도 및 균일 분포성 등의 결정 특성에 중요한 영향을 미치는 성장 공정변수임을 확인할 수 있었다.

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