차세대 sub-0.1$\mu\textrm{m}$ 급 MOSFET소자용 고유전율 게이트 박막
(High-k Gate Dielectric for sub-0.1$\mu\textrm{m}$ MOSFET)
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- 대한전자공학회:학술대회논문집
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- 대한전자공학회 2000년도 하계종합학술대회 논문집(2)
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- pp.20-23
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- 2000