• 제목/요약/키워드: ZnCrO

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ZnO 박막과 금속전극과의 계면특성조사 (The Characterization of Interfaces between ZnO Thin Films and Metal Electrodes)

  • 박성순;임원택;이창효
    • 한국진공학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.201-207
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    • 1998
  • 본 연구는 rf reactive magnetron sputtering 방법으로 증착한 ZnO 박막을 압전진동 자로 제작하였을 때 발생하는 금속전극과의 계면특성에 대해 조사하였다. 이때 ZnO 박막은 금속 아연 target을 산소분위기에서 sputtering하여 얻었다. 미리 얻은 최적성장조건으로 Cr/ZnO/Cr의 구조을 갖는 압전 진동자를 제작한 후, 금속전극과 ZnO 박막과의 계면특성을 분석하였다. 제작된 압전진동자는 I-V 측정, AES depth profile, SEM, C-V 측정등을 이용 하여 분석하였고, 이러한 분석 결과 금속전극과 ZnO 박막 사이에 $SiO_2$ 확산방지막을 쌓은 Cr/ $SiO_2$/ZnO/Cr의 구조로 ZnO 압전진동자를 제작했을 때 좋은 특성을 보임을 알 수 있었 다. 그리고, 이러한 사실은 제작된 진동자를 구동시키고 이에 대한 인가진동수에 따른 진동 변위를 측정해보므로써 확인할 수 있었다.

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Cr2O3를 첨가한 ZnO의 소결과 전기적 특성 (Sintering and Electrical Properties of Cr2O3-doped ZnO)

  • 홍연우;신효순;여동훈;김진호
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제23권11호
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    • pp.875-879
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    • 2010
  • In this study, we have characterized the roles of $Cr_2O_3$ on the sintering and electrical properties of ZnO. The densification and grain growth of Cr-doped ZnO (ZCr) system was mainly influenced by Cr contents. In the beginning of sintering, the densification of ZnO was retarded as reducing the Zni concentration in ZnO lattice with Cr doping. And the densification and grain growth of ZnO was more retarded due to a formation of spinel phase with increasing the Cr contents. ZCr system revealed varistor behavior with nonlinear coefficient $\alpha$ of 3~23 depending on the sintering temperature, implying double Schottky barrier formation on the grain boundary of ZnO. Especially the best varistor characteristics should be developed with 0.1~0.5 at% Cr contents and under $1100^{\circ}C$ in ZCr systems.

MgO 및 $TiO_2$가 첨가된 $ZnCr_2O_4$ 세라믹 후막 습도센서의 감습 특성 (Humidity-Sensitive Characteristics of MgO and $TiO_2$ Addition on $ZnCr_2O_4$ Ceramic Thick-Film Humidity Sensors)

  • 윤상옥;김관수;조태현;심상홍
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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    • pp.898-901
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    • 2004
  • [ $ZnCr_2O_4$ ]를 모물질로 하고 MgO, $TiO_2$를 몰비로 2:1, 4:1, 6:1, 및 8:1이 되게 정량적으로 조합한 후, 조사하였다. $ZnCr_2O_4$-MgO와 $ZnCr_2O_4-TiO_2$를 X-선 분석한 결과 Spinel 결정구조를 형성하였으며, 또한 SEM과 EDX 분석결과 각각 $Li_2CrO_4$$Li_3VO_4$의 형성으로 인하여 저항 특성이 나타나는 것을 알 수 있었다. $ZnCr_2O_4-MgO$, $ZnCr_2O_4-TiO_2$에서 MgO의 양이 증가할수록 저항값은 약간 감소하는 반면, $TiO_2$의 양이 증가할수록 저항값이 급격히 증가하는 특성을 나타내었고, 감습 특성에서도 M??보다 TiO2가 더 높게 나타내었다. 습에 따른 복원 특성의 경우 $700^{\circ}C$에서 소결한 ($ZnCr_2O_4:MgO=4:1$)과 ($ZnCr_2O_4:TiO_2=6:1$) 조성의 센서가 가장 양호하였다.

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비오옴 ZnO 세라믹스의 형성과정에서 스피넬의 영향 (Effects of Spinel on the Formation Process of Nonohmic ZnO Ceramics)

  • 김경남;한상목
    • 한국세라믹학회지
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    • 제29권2호
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    • pp.101-106
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    • 1992
  • Sintering behavior, distribution of dopant oxides and electrical properties in the ZnO-Bi2O3-CoO-Sb2O3 and ZnO-Bi2O3-CoO-Sb2O3-Cr2O3 systems were studied. The linear shrinkage of ZnO varistors from 850 to 950$^{\circ}C$ was related to the decomposition reaction (py\longrightarrowsp+Bi2O3) of the pyrochlore phase. In the distribution of the dopant oxides (CoO, Sb2O3, Cr2O3), Co distribute uniformly throughout the sample, the distribution of Sb coincided with small particles (spinel phase, Zn7Sb2O12), and Cr distributed very consistently with Sb. The increase in breakdown voltage, due to the addition of Cr2O3, was not only attributed to the decrease in the ZnO grain size but also to the solution of Cr2O3 in the spinel phase. The leakage current (80% V60 ${\mu}\textrm{A}$) was increased by the addition of Cr2O3.

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Cr 함량이 ZnCrO 박막의 구조 및 자기적 특성에 미치는 영향

  • 이황호;김창민;이병호;최경산;안장훈;우빈;이영민;이세준;김득영
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.282.2-282.2
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    • 2014
  • Cr의 함량과 주입 가스의 유량 비율을 변화하여 ZnCrO 박막의 구조적 특성에 미치는 영향과 그것이 자기적 특성에 관여하는 상관관계 등에 관하여 조사하였다. ZnCrO 박막을 Pt/Ti/Al2O3 기판 위에 Sputter법으로 증착하였으며, 이 때 양질의 ZnCrO 박막을 제작하기 위하여 산소 분압 변화에 따른 박막의 표면 및 구조적 특성을 관찰하였다. 아르곤과 산소 분압이 1 : 1 (Ar : O2=15 sccm : 15 sccm) 이었을 경우, 가장 매끄러운 표면을 갖고 또한 구조적으로도 안정된 ZnCrO 박막을 얻을 수 있었다. 동일한 조건에서 Cr 함량을 변화시켜 본 결과, Cr 함량이 작아질수록 자기적 특성이 향상되는 것이 관측되었다. 즉, Cr의 함량이 감소할수록 Cr 입자 1개 당 유효 자화도가 증가하는 것이 관측되었는데, 이러한 결과는 Cr 함량 변화에 따는 ZnCrO 박막의 결정 자기이방성 변화에 따른 것이다.

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Intermediate band solar cells with ZnTe:Cr thin films grown on p-Si substrate by pulsed laser deposition

  • Lee, Kyoung Su;Oh, Gyujin;Kim, Eun Kyu
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
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    • pp.247.1-247.1
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    • 2016
  • Low-cost, high efficiency solar cells are tremendous interests for the realization of a renewable and clean energy source. ZnTe based solar cells have a possibility of high efficiency with formation of an intermediated energy band structure by impurity doping. In this work, ZnO/ZnTe:Cr and ZnO/i-ZnTe structures were fabricated by pulsed laser deposition (PLD) technique. A pulsed (10 Hz) Nd:YAG laser operating at a wavelength of 266 nm was used to produce a plasma plume from an ablated a ZnTe target, whose density of laser energy was 10 J/cm2. The base pressure of the chamber was kept at approximately $4{\times}10-7Torr$. ZnTe:Cr and i-ZnTe thin films with thickness of 210 nm were grown on p-Si substrate, respectively, and then ZnO thin films with thickness of 150 nm were grown on ZnTe:Cr layer under oxygen partial pressure of 3 mTorr. Growth temperature of all the films was set to $250^{\circ}C$. For fabricating ZnO/i-ZnTe and ZnO/ZnTe:Cr solar cells, indium metal and Ti/Au grid patterns were deposited on back and front side of the solar cells by using thermal evaporator, respectively. From the fabricated ZnO/ZnTe:Cr and ZnO/i-ZnTe solar cell, dark currents were measured by using Keithley 2600. Solar cell parameters were obtained under Air Mass 1.5 Global solar simulator with an irradiation intensity of 100 mW/cm2, and then the photoelectric conversion efficiency values of ZnO/ZnTe:Cr and ZnO/i-ZnTe solar cells were measured at 1.5 % and 0.3 %, respectively.

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Al2O3 분산 Zn-Co-Cr 전기도금강판의 제조조건 및 내식성에 관한 연구 (A Study of Electroplating Conditions and Corrosion Resistance for Al2O3 Dispersed Zn-Co-Cr Electroplated Steel Sheets)

  • 김상범;서수정;박현순
    • 열처리공학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.89-97
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    • 1993
  • An improvement in corrosion resistance of various types of Zn-coated steel sheets is thought to be possible with the addition of fine oxide powder to the coating. In this study the corrosion resistance of the $Al_2O_3$ dispersed Zn-Co-Cr electroplated steel sheet has been investigated and the results were as follows : The corrosion resistance of $Al_2O_3$ dispersed Zn-Co-Cr electroplated steel sheets was improved by increasing the contents of Co and Cr ions, and also $Al_2O_3$ powders in the bath because of the increased amount of Co, Cr and $Al_2O_3$ in deposits. In the $Al_2O_3$ dispersed Zn-Co-Cr electroplated steels sheet, the structure of deposits was changed from fine microstructure as observed in high Co containing deposits to coarse microstructure as in high Cr and $Al_2O_3$ containing deposits. By cold rolling of the $Al_2O_3$ dispersed Zn-Co-Cr electroplated steel sheets to about 2 percent, thr corrosion resistance was improved further.

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ZnO 바리스터의 미세구조제어와 전기적 특성 (Electrical Characteristics and Microstructure Control of Zinc Oxide Viaristors)

  • 김경남;한상목
    • 한국재료학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.65-70
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    • 1991
  • $ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3$$ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3-Cr_2O_3$계에서 미세구조 변화 및 전기적 특성에 미치는 개재물의 영향을 조사하였다. 소결동안에 ZnO입자 성장은 스피넬 입자들에 의해 제어되었으며, 스피넬 입자들의 양의 증가에 의해 입자성장은 감소하였다. $Cr_2O_3(0.5mol\%)$의 첨가는 비직선성지수에는 큰 영향을 미치지 못하였으며 임계전압(breakdown voltage)을 증가시켰다. 계산에 의해 구한 장벽전압은 $ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3$$ZnO-Bi_2O_3-CoO-Sb_2O_3-Cr_2O_3$ 계에서 각각 3.1V와 2.9V이었다.

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Cr이 치환된 ZnO에서 나르개에 의한 강자성의 향상 (Carrier-enhanced Ferromagnetism in Cr-doped ZnO)

  • 심재호;김효진;김도진;임영언;윤순길;김현중;주웅길
    • 한국자기학회지
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    • 제15권3호
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    • pp.181-185
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    • 2005
  • 반응성 스퍼터링 방법으로 성장시킨 $Zn_{0.09}Cr_{0.01}O$ 묽은 자성반도체 박막의 구조와 전기 수송과 자기 특성에 미치는 Al 첨가 효과를 탐구하였다. Al이 첨가되지 않은 $Zn_{0.09}Cr_{0.01}O$ 박막은 반도체적인 수송 특성과 함께 미약한 강자성 특성을 보였다. Al을 첨가함으로써 n-형 나르개인 전자의 농도 증가와 더불어 금속성 수송 특성을 나타냈으며 포화자기화가 현저하게 증가하고 이력곡선이 뚜렷하게 나타나는 등 자기 특성의 격렬한 변화가 관찰되었다. 이 결과들은 Cr이 첨가된 ZnO에서 나르개에 의한 강자성 질서의 향상을 보여준다.

Sb/Bi비에 따른 5원계 바리스터의 소결거동 및 전기적 특성(I) : ZnO-Bi2O3-Sb2O3-Mn3O4-Cr2O3 (Sintering and Electrical Properties According to Sb/Bi Ratio(I) : ZnO-Bi2O3-Sb2O3-Mn3O4-Cr2O3 Varistor)

  • 홍연우;이영진;김세기;김진호
    • 한국재료학회지
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    • 제22권12호
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    • pp.675-681
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    • 2012
  • We aimed to examine the co-doping effects of 1/6 mol% $Mn_3O_4$ and 1/4 mol% $Cr_2O_3$ (Mn:Cr = 1:1) on the reaction, microstructure, and electrical properties, such as the bulk defects and grain boundary properties, of ZnO-$Bi_2O_3-Sb_2O_3$ (ZBS; Sb/Bi = 0.5, 1.0, and 2.0) varistors. The sintering and electrical properties of Mn,Cr-doped ZBS, ZBS(MnCr) varistors were controlled using the Sb/Bi ratio. Pyrochlore ($Zn_2Bi_3Sb_3O_{14}$), ${\alpha}$-spinel ($Zn_7Sb_2O_{12}$), and ${\delta}-Bi_2O_3$ (also ${\beta}-Bi_2O_3$ at Sb/Bi ${\leq}$ 1.0) were detected for all of the systems. Mn and Cr are involved in the development of each phase. Pyrochlore was decomposed and promoted densification at lower temperature on heating in Sb/Bi = 1.0 system by Mn rather than Cr doping. A more homogeneous microstructure was obtained in all systems affected by ${\alpha}$-spinel. In ZBS(MnCr), the varistor characteristics were improved dramatically (non-linear coefficient, ${\alpha}$ = 40~78), and seemed to form ${V_o}^{\cdot}$(0.33 eV) as a dominant defect. From impedance and modulus spectroscopy, the grain boundaries can be seen to have divided into two types, i.e. one is tentatively assigned to ZnO/$Bi_2O_3$ (Mn,Cr)/ZnO (0.64~1.1 eV) and the other is assigned to the ZnO/ZnO (1.0~1.3 eV) homojunction.