Spatial resolution is determined by the performance of x-ray optics used in the x-ray imaging system. A zone plate was designed for obtaining a high spatial resolution image at x-ray energy of 8.5keV. A spatial resolution of 80 nm was estimated by the ray tracing when an x-ray tube of tungsten targe was used instead of synchrotron radiation. The designed zone plate of outermost zone width of 40nm was successfully fabricated by the electron-beam lithography.
Kim, Kyong-Woo;Nam, Ki-Yong;Kwon, Young-Man;Shim, Seong-Taek;Kim, Kyu-Gyeom;Yoon, Kwon-Ha
Journal of the Optical Society of Korea
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v.7
no.4
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pp.230-233
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2003
This study describes the conceptual design of a soft x-ray microscope system based on a laserbased source for biomedical application with high resolution (${\leq}$50nm). The laboratory scale soft x-ray microscope consists of high power laser plasma x-ray source and grazing incidence mirrors with high reflectivity. The laser plasma source used for developing this system employs Q-switched Nd-YAG pulsed laser. The laser beam is focused on a tantalum (Ta) target. The Wolter type I mirror was used as condenser optics for sample illumination and as objective mirror for focusing on a detector. The fabrication of the Wolter type I mirror was direct internal cutting using ultraprecision DTM. A hydrated biological specimen was put between the two silicon wafers, the center of which was $Si_3N_4$ windows of 100㎚ thickness. The main issues in the future development work are to make a stable, reliable and reproducible x-ray microscope system.
X-ray microscopy with synchrotron radiation(SR) might be a useful tool for novel x-ray imaging in the clinical and laboratory settings. Microscopically, it enables us to observe detailed structure of animal organs samples with a great magnification power and an excellent resolution. The phase contrast mechanisms in image by X-ray are described. The phase-contrast X-ray imaging with SR from in-vivo and in-vitro mouse tail, rat nerve and rat lung were obtained with an 8 KeV monochromatic beam. The visual image was magnified using 10x microscope objective lens and captured using an digital CCD camera. The results showed more structural details and high resolution images with SR imaging system than conventional X-ray radiography system. The SR imaging system may have a potential for imaging in biological researches, material applications and clinical radiography.
Since the inception of the idea to develop an X-ray laser in 1960's, a rapid progress to demonstrate soft X-ray lasers in the wavelength region below 300$\AA$ has been made during the last ten years. Among many prospective proposals, the recombination scheme and the collisional exitation scheme have been most successful in achieving a significant gain. An appreciable single-pass amplification was achieved at 182 $\AA$ from CVI ions using the recombination scheme and at 206 and 290$\AA$ from the Se XXV ions using the collisional excitation scheme. The current research on X-ray lasers emphasizes the enhancement of amplification upto saturation and the extension of operating wavelength to shorter wavelengths, especially to the water window region between 23 and 44 $\AA$. X-ray lasers are expected to open many application fields, such as X-ray laser microscopy, X-ray holography, X-ray lithography, and more, in the near future.
Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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2003.06a
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pp.690-693
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2003
Soft x-ray microscopy provides a unique set of capabilities in-between those of visible light and electron microscopy. It has long been recognized that nature provides a 'water window' spectral region between the K shell x-ray absorption edges of carbon (~290eV) and oxygen (~540eV), where organic materials show strong absorption and phase contrast, while water is relatively non-absorbing. This enables imaging of hydrated biological specimens that are several microns thick with high intrinsic contrast using x-rays with a wavelength of 2.3~4.4nm. Soft X-ray microscopy is therefore well suited to the study of specimens like single biological cells. The most direct advantage of X-ray microscope is their high spatial resolution when compared with visible light microscopes, combined with an ability to image hydrated specimens that are several microns with a minimum of preparation. Our study describes the conceptual design of soft x-ray microscope system based on a laser-based source for biomedical application with high resolution ($\leq$50nm) and short exposure time ($\leq$30sec).
Superresolution optics, employing Gaussian apodization, is rigorously treated at the soft X-ray wave-length(λ=0.013 ${\mu}{\textrm}{m}$) region. In the diffraction integral, the line integral along the imaginary axis is found small, and it is ignored, so that the diffraction integral consists of the integration along the real axis. The resolution of the diffracted image is not effected by the pupil angular frequency bandwidth $2{\omega}_0$, which is one of the most important the characteristic features of Gaussian apodization ($e^{-o^2x^2}$ optics. The superresolution optics has resolution ($\frac{1}{2}{\times}FWHM)$=$\Delta$x=0.008 $\mu$m which is smaller than the Rayleigh criterion of 2λ=0.026 ${\mu}{\textrm}{m}$ for NA=0.25. The optical system has ${\omega}_0{\ge}\frac{1}{2}{\sigma}$, which gives the peak intensity of the diffracted image larger than $e^{-2}$ times intensity obtainable by the infinite sperture.
The glass thermal forming process provides a high volume, low cost approach to producing aspherical reflectors for x-ray optics. Thin glass sheets are shaped into mirror segments by replicating the mold shape at high temperature. Heating parameters in the glass thermal slumping process are crucial to improve surface quality of the formed glass. In this research, the heating process of a thermal slumping glass sheet on a concave parabolic mold was simulated with the finite-element method (FEM) to investigate the effects of heating rate and soaking temperature. Based on the optimized heating conditions, glass samples 0.5 mm thick were formed in a furnace with a steel concave parabolic mold. The figure errors of the formed glass were measured and discussed in detail. It was found that the formed glass was not fully slumped at the edges, and should be trimmed to achieve better surface deviation. The root-mean-square (RMS) deviation and peak-valley (PV) deviation between formed glass and mold along the axial direction were 2.3 μm and 4.7 μm respectively.
The components and alignment parameters of a flat-field soft x-ray spectrometer used in the wavelength range below 50 $\AA$ are determined, and the characteristics of the spectrometer are analyzed. It consists of a toroidal mirror, a slit, a varied line-spacing concave grating, and a soft x-ray detector. The space-resolved spectral image of a source is formed on a single plane using the tordidal mirror and the 2400-grooves/mm varied line-spacing concave grating. The former is used to compensate for the astigmatism caused by the grazing incidence of soft x-ray light on the concave grating. The spectral and spatial resolutions of the spectrometer are calculated by applying the wave front aberration theory, and the diffraction efficiency is calculated by applying the scalar diffraction theory.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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