• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2008년도 하계학술대회 논문집 Vol.9
• /
• pp.477-477
• /
• 2008

For more than three decades, the gate dielectrics in CMOS devices are $SiO_2$ because of its blocking properties of current in insulated gate FET channels. As the dimensions of feature size have been scaled down (width and the thickness is reduced down to 50 urn and 2 urn or less), gate leakage current is increased and reliability of $SiO_2$ is reduced. Many metal oxides such as $TiO_2$, $Ta_2O_4$, $SrTiO_3$, $Al_2O_3$, $HfO_2$ and $ZrO_2$ have been challenged for memory devices. These materials posses relatively high dielectric constant, but $HfO_2$ and $Al_2O_3$ did not provide sufficient advantages over $SiO_2$ or $Si_3N_4$ because of reaction with Si substrate. Recently, $HfO_2$ have been attracted attention because Hf forms the most stable oxide with the highest heat of formation. In addition, Hf can reduce the native oxide layer by creating $HfO_2$. However, new gate oxide candidates must satisfy a standard CMOS process. In order to fabricate high density memories with small feature size, the plasma etch process should be developed by well understanding and optimizing plasma behaviors. Therefore, it is necessary that the etch behavior of $HfO_2$ and plasma parameters are systematically investigated as functions of process parameters including gas mixing ratio, rf power, pressure and temperature to determine the mechanism of plasma induced damage. However, there is few studies on the the etch mechanism and the surface reactions in $BCl_3$ based plasma to etch $HfO_2$ thin films. In this work, the samples of $HfO_2$ were prepared on Si wafer with using atomic layer deposition. In our previous work, the maximum etch rate of $BCl_3$/Ar were obtained 20% $BCl_3$/ 80% Ar. Over 20% $BCl_3$ addition, the etch rate of $HfO_2$ decreased. The etching rate of $HfO_2$ and selectivity of $HfO_2$ to Si were investigated with using in inductively coupled plasma etching system (ICP) and $BCl_3/Cl_2$/Ar plasma. The change of volume densities of radical and atoms were monitored with using optical emission spectroscopy analysis (OES). The variations of components of etched surfaces for $HfO_2$ was investigated with using x-ray photo electron spectroscopy (XPS). In order to investigate the accumulation of etch by products during etch process, the exposed surface of $HfO_2$ in $BCl_3/Cl_2$/Ar plasma was compared with surface of as-doped $HfO_2$ and all the surfaces of samples were examined with field emission scanning electron microscopy and atomic force microscope (AFM).

• 한국가스학회지
• /
• 제16권2호
• /
• pp.18-24
• /
• 2012

본 연구는 Type II 가스실린터의 20,000 회 피로시험과 파열시험시 음향방출시험을 병행하여 용기의 손상정도를 평가하고자 하였으며, 실험에 사용된 용기는 결함 크기가 $3mm{\times}3mm{\times}50mm$ (폭${\times}$깊이${\times}$길이)이고 결함 방향이 용기의 종방향 및 횡방향인 인공결함용기와 건전한 용기 등 세 종류이다. 피로시험시 발생된 음향방출신호는 종방향결함의 경우 전체 신호 중 결함에서 발생된 이벤트의 비율이 50 % 이상이며, 음향방출신호의 위치표정도 매우 정확하게 일치하였다. 또한 파열시험에서는 인공결함용기가 결함 위치에서 에상파열압력보다 낮은 압력으로 파열될거라는 예상과는 달리 인공결함용기의 파열압력은 건전한 용기와 큰 차이가 없었으며, 단지 종방향 인공결함용기의 경우 파열위치가 결함 위치와 근접하게 발생하였다. 이는 종방향 결함의 길이만큼 복합재료의 두께가 얇아지는 효과로 나타나게 되어 금속라이너의 피로반복시 결함 발생과 성장위치에 영향을 미친 것으로 판단된다.

• Investigative Magnetic Resonance Imaging
• /
• 제11권1호
• /
• pp.20-26
• /
• 2007

목적 : 본 연구는 3 T MRI 장비에 적합한 동물영상용 솔레노이드 (solenoid) 코일을 개발하고 최적화한 후, 실제 동물모델에 대한 영상을 획득하는 것을 목표로 수행되었다. 대상 및 방법 : 솔레노이드 코일은 반경 4 cm, 길이 10 cm의 아크릴 구조물에 너비 2 cm, 두께 0.05 cm, 길이 10 cm의 구리테잎으로 3번 감긴 형태로 제작하였고, 구리테잎을 감을 때는 실린더 축과 수직이 되도록 감았으며 테잎간의 간격은 2 cm로 하였다. 축전지(capacitor)는 2-100 pF사이의 용량을 이용하였고, 코일은 수신 전용으로서 디자인되었다. 결과 : 개발된 솔레노이드 코일의 신호대 잡음비 (Signal to Noise Ratio; SNR)는 CuSO4수용액 팬텀(CuSO4; 0.7 g/L)에서 985, 쥐 (rat)를 이용한 동물실험에서 995이었고, Qfactor는 unload된 경우 203-206, load된 경우 84-89정도로 측정되었다. 솔레노이드 코일을 이용하여 획득한 영상은 상대적으로 해상도 (resolution)가 높았으며, 코일 시뮬레이션(simulation)을 통해서 얻은 RF field의 균질성 (homogeneity) 또한 매우 우수하였다. 결론 : 본 연구를 통하여 고자장 3T MRI 장비에서 쥐와 같은 작은 동물의 영상을 획득할 때 솔레노이드 코일을 사용하면 보다 향상된 영상의 대조도, 해상도, 선명도를 얻을 수 있는 가능성을 확인 할 수 있었다.

• Journal of Periodontal and Implant Science
• /
• 제53권4호
• /
• pp.306-317
• /
• 2023

Purpose: Biphasic calcium phosphate (BCP), a widely used biomaterial for bone regeneration, contains synthetic hydroxyapatite (HA) and β-tricalcium phosphate (β-TCP), the ratio of which can be adjusted to modulate the rate of degradation. The aim of this study was to evaluate the clinical and radiographic benefits of reconstructing peri-implant bone defects with a newly developed BCP consisting of 60% β-TCP and 40% HA compared to demineralized bovine bone mineral (DBBM). Methods: This prospective, multicenter, parallel, single-blind randomized controlled trial was conducted at the periodontology departments of 3 different dental hospitals. Changes in clinical (defect width and height) and radiographic (augmented horizontal bone thickness) parameters were measured between implant surgery with guided bone regeneration (GBR) and re-entry surgery. Postoperative discomfort (severity and duration of pain and swelling) and early soft-tissue wound healing (dehiscence and inflammation) were also assessed. Data were compared between the BCP (test) and DBBM (control) groups using the independent t-test and the χ² test. Results: Of the 53 cases included, 27 were in the test group and 26 were in the control group. After a healing period of 18 weeks, the full and mean resolution of buccal dehiscence defects were 59.3% (n=16) and 71.3% in the test group and 42.3% (n=11) and 57.9% in the control group, respectively. There were no significant differences between the groups in terms of the change in mean horizontal bone augmentation (test group: -0.50±0.66 mm vs. control groups: -0.66±0.83 mm, P=0.133), postoperative discomfort, or early wound healing. No adverse or fatal complications occurred in either group. Conclusions: The GBR procedure with the newly developed BCP showed favorable clinical, radiographic, postoperative discomfort-related, and early wound healing outcomes for peri-implant dehiscence defects that were similar to those for DBBM.

• 한국강구조학회 논문집
• /
• 제17권1호통권74호
• /
• pp.63-71
• /
• 2005

최근 기존의 합성 기둥들이 가지는 단점은 보완하고 장점은 유지시킬 수 있는 효율적인 기둥 시스템으로 철골-콘크리트 합성 기둥(SC 합성 기둥)에 대한 연구가 수행되고 있다. 본 연구자는 선행 실험 연구를 통해 SC 합성 기둥의 압축 내력을 평가하였지만, 실험실의 용량 부족으로 대형 기둥에서의 실험은 수행하지 못하였다. 따라서 이 연구에서는 실험 연구의 후속 연구로서 범용 유한요소 해석프로그램을 이용하여 콘크리트와 철골의 상호 작용 및 비조밀단면을 가진 철골 플랜지의 국부좌굴을 반영할 수 있도록 하였다. 이러한 유한요소해석 모델은 기 수행된 압축 실험값과 비교하여 적합성을 검증하였다. 또한 이렇게 검증된 해석적 모델을 이용하여 대형 크기의 기둥에 대해 비선형 해석을 수행하여 단면 증대에 따른 SC 합성 기둥의 비선형 거동에 대해 비교 분석하였다. 비선형 해석 결과 SC 합성 기둥의 철골 단면의 폭-두께비는 25.0을 초과하지 않아야 하고, 연결재의 단면적은 $0.025d{\cdot}t$ 이상, 연결재의 간격은 d/2 또는 최대 300mm이하로 설치하는 것이 바람직하다는 결론을 얻었다.

• 한국강구조학회 논문집
• /
• 제29권2호
• /
• pp.147-158
• /
• 2017

본 연구에서는 볼트조립 앵글을 적용한 선조립 합성기둥(이하 PSRC 합성기둥)의 압축성능을 연구하였다. 2/3 축소비율의 PSRC 기둥실험체 4개와 기존 SRC 기둥실험체 2개에 대하여 중심축 압축실험을 수행하였다. 횡보강재의 수직간격 및 단면형상과 앵글의 단면형상을 실험변수로 고려하였다. 실험결과, PSRC 기둥실험체는 기존 SRC 기둥실험체와 비교하여 비슷한 압축하중 재하능력 및 변형능력을 발휘하였다. PSRC 합성기둥의 경우, 횡방향 강판의 좁은 횡보강 간격과 Z형 단면의 강판이 압축강도 및 변형능력 향상에 효과적인 것으로 나타났다. 또한 PSRC 합성기둥은 현행설계기준에 의한 공칭 압축강도보다 큰 압축하중 재하능력을 나타내었다. 실험체들에 대한 수치해석결과는 피복 콘크리트 탈락으로 인한 하중감소를 제외하고 초기강성 및 하중재하능력을 비교적 잘 예측하였다.

• 한국광물학회지
• /
• 제19권3호
• /
• pp.129-138
• /
• 2006

경남 고성군 삼산제일광산과 삼봉광산의 폐석 적치장 하류 하천에서 발견된 2차 침전물을 주사 전자현미경 관찰, 전자현미분석 및 X선회절분석을 실시하여 그 실체를 규명하였다. 이 두 광산은 모두 구리 황화염 광물을 주 대상으로 채광하던 곳인데, 현재는 모두 폐광 중이다. 삼봉광산의 경우 흰색 침전물과 청색 침전물, 삼산제일광산의 경우 녹색 침전물이 발견된다. 흰색 침전물은 장축 $10{\mu}m$, 단축 $3{\mu}m$ 정도의 규조류가 약 $30{\mu}m$ 두께로 기존 암석을 피복하고 있는 것인데, 이 규조류는 담수에 서식하는 우상류의 일종인 Fragilaria construens이다. 청색 침전물은 황동석이 용탈되어 변질된 것인데, 변질 결과 Cu:Fe 비가 약 5에서 13으로 증가한다. 녹색 침전물은 $200{\sim}300nm$, 지름은 $200{\sim}300nm$ 정도의 벌레 모양을 가지고 있는 물질이 피복하고 있는데, 이들은 2차적으로 형성된 woodwardite같은 구리의 황산염이 주를 이루고 있는 것으로 여겨진다. 구리의 함량이 현재까지 보고된 구리 황산염 광물에 비하여 월등히 높은 점으로 볼 때 미생물의 활동과 관련이 있다고 생각된다. 이 물질의 정확한 동정을 위해서는 추가적인 연구가 더 필요하다.

• 한국식품영양학회지
• /
• 제24권4호
• /
• pp.551-558
• /
• 2011

본 연구는 식품의 신선도를 유지하기 위한 효과적인 식품 포장 물질로서 항균성질을 갖는 편백나무 추출물을 함유한 다공성 필름의 성능과 효능을 알아보고자 하였다. 나무가 갖는 특유의 향인 피톤치드 정유는 휘발성 화학물질로서, 항균성 기능을 가지고 있는 천연물질이다. Limonene은 편백나무 정유중의 한 성분으로 분해없이 증류되며, 효과적인 항균성분을 나타내는 한편 비교적 안정한 테르펜류이다. 피톤치드 정유를 함유한 효과적인 항균성 필름을 제조하기 위한 용매의 최적조건을 찾은 결과, T-500:에탄올:경화제의 비율이 5:20:0.3이었고, 최소 항균성을 나타내는 피톤치드 정유의 농도는 2%였다. 피톤치드는 기체상 접촉을 통한 적용법이 항곰팡이성 효과가 크게 나타난다. 피톤치드를 포함한 필름들이 A-50LF1, A-25SF2, B-50SF1, C-50LF1, C-25SF2, D-50SF1와 같이 여러가지 다른 조건으로 만들어졌고, $1{\ell}$ 반응기 안에서 저장기간에 따르는 limonene 성분을 얻기 위하여 GC-MSD 분석을 하였다. 그 결과, 항균층 폭이 25 mm, 길이 20 cm인 필름 2개를 사용했을 때가 항균층 50 mm, 길이 20 cm 필름 1개를 사용했을 때보다 밀폐된 반응기에 limonene이 더 많이 보유되어 있음을 알 수 있었다. 이 결과는 필름 제조 시 안쪽 필름의 20 ${\mu}m$의 기공 쪽보다 옆 단면 층과 층 사이의 기체 확산이 더 크게 일어난다는 것을 보여주었다. 필름 두께가 피톤치드 방출량에 미치는 영향은 필름이 두꺼울수록 초기에는 오히려 덜 방출되었으나, 하루가 지나면서 저장기간이 길어질수록 방출량이 증가하는 경향을 보였다. $35^{\circ}C$와 70% 습도 조건에서 14일 동안 식빵 저장 실험에서 곰팡이 유무를 확인한 결과, 작은 사이즈 2개를 넣었을 때가 큰 사이즈 1개를 넣었을 때보다 저장기간이 길게 나타났다. 신선도 유지성분인 편백 정유가 갖는 항균성분 중, limonene의 방출 특성과 조건을 분석함으로써 필름조건의 자료를 공유하여 향후 식품에 대한 적용 확대가 기대된다.

• 한국산림과학회지
• /
• 제43권1호
• /
• pp.20-30
• /
• 1979

본(本) 연구(硏究)는 소나무 천연집단(天然集團)의 유전변이(遺傳變異)를 분석(分析)하는데 목적(目的)이 있다. 1974년(年), 1975년도(年度)의 선발(選拔)에 이어 1976년도(年度)에 3개(個) 소나무 천연집단(天然集團) 각각(各各)으로부터 20주(株)의 개체(個體)가 선발(選拔)되었고 또 그들의 종자(種子)가 채취(採取)되었으며 그 집단(集團)들의 소재지역(所在地域)과 상태(狀態)는 표(表) 1, 2 및 그림 1에 나타나 있다. 그 집단(集團)들의 몇몇 형태학적(形態學的) 특성(特性)들은 이미 보고(報告)된 논문(論文)(V)에 상술(詳述)되어 있다. 본(本) 논문(論文)에서는 앞서 발표(發表)된 논문(論文)(III)의 방법(方法)에 따라 구과(毬果), 종자(種子), 종자익(種子翼)의 형태학적(形態學的)인 특성(特性)과 묘목(苗木)의 성장(成長) 및 그 침엽(針葉)의 특성(特性)이 조사(調査)되었으며 얻어진 결과(結果)는 다음과 같이 요약(要約)된다. 1. 각집단(各集團)에서 가까운 측후소(測候所)에서 측정(測定)된 30년(年)(1931~1960)간(間)의 기록(記錄)을 평균(平均)해서 얻어진 기상자료(氣象資料)는 그림 2, 3, 4에 보인다. 조사(調査)된 기후조건(氣候條件)은 대체(大體)로 지역간(地域間)에 유사(類似)하지만, 삼척지방(三陟地方)의 강우량(降雨量)과 겨울철 기온(氣溫)이 타지역(他地域)과 크게 달랐다. 2. 구과(毬果)의 생중량(生重量), 장(長), 직경(直徑), 형상비(形狀比)의 측정치(測定値)는 표(表)7에 기재(記載)되어 있으며 구과직경(毬果直徑)을 제외(除外)한 다른 특성(特性)은 집단간(集團間)은 통계적(統計的) 차이(差異)가 없고, 집단내가계간(集團內家系間)에 유의(有意)한 통계적(統計的) 차이(差異)가 인정(認定)되었다. 3. 종자(種子)와 종자익(種子翼)의 형태학적(形態學的) 특성(特性)은 표(表) 8, 9에 상술(詳述)되었으며, 종자중량(種子重量), 종자장(種子長), 종자(種子)두께는 집단간(集團間), 집단내가계간(集團內家系間)에 유의차(有意差)가 인정(認定)되었지만, 다른 특성(特性)에서는 유의차(有意差)가 인정(認定)되지 않았다. 구과(毬果)와 종자(種子) 특성간(特性間)의 상관계수(相關係數)의 값은 표(表) 10에 주어져 있으며 비교(比較)된 특성(特性)에서 구과장(毬果長)과 종자익(種子翼)의 장(長), 종자익(種子翼)의 폭(幅)과 종자폭(種子幅), 종자장(種子長)과 종자폭(種子幅)에서 정(正)의 상관관계(相關關係)가 인정(認定)되었다. 4. 차대(次代)의 1-0묘(苗) 묘고성장(苗高成長)에서 집단간(集團間), 집단내(集團內) 가계간(家係間)에서 그 차(差)가 인정(認定)되었지만, 1-1묘(苗)의 묘고(苗高)와 1-0묘(苗), 1-1묘(苗)의 근원경(根元徑)에서는 집단내(集團內) 가계간(家系間)에만 그 차(差)가 인정(認定)되었다. 표(表) 13에서와 같이 묘목(苗木)의 성장(成長)과 종자(種子)의 특성간(特性間)에는 대부분 상관(相關)이 통계학적(統計學的)으로 인정(認定)되지 않았다. 5. 3개집단(個集團)의 묘목(苗木)의 기공렬(氣孔列)에서는 집단간(集團間) 차이(差異)가 인정(認定)되었으나, 거치밀도(鋸齒密度)에서는 집단간(集團間) 차이(差異)가 인정(認定)되지 않았다. 차대(次代)와 모수(母樹)와의 침엽형질(針葉形質)에서의 상관(相關)은 표(表) 15와 같이 대체(大體)로 인정(認定)되지 않았다.

• 대한소아치과학회지
• /
• 제31권4호
• /
• pp.721-728
• /
• 2004

비인강폐쇄란 연구개, 인두측벽 그리고 인두후벽간의 움직임이 서로 조화되어 구강과 비강을 나누어주는 괄약근 기전으로서 연하, 호흡, 발음 등의 생리적기능에 중요한 역할을 한다. 이 기능에 문제가 생긴 경우를 비인강폐쇄부전이라하며 그 원인으로는 (1) 연구개의 길이 및 움직임이상 (2) 비인두강의 해부학적 공간문제 (3) 인두 후벽과 측벽의 기능이상 등이 있다. 본 연구는 구개열 환자의 측면두부방사선계측사진을 통해 비인두강을 생리해부학적으로 분석하였으며, 산출된 말소리의 과비음정도를 Nasometer로 평가하였다. 이로부터 얻은 정상군과 구개열환자군의 결과를 각각 비교하였으며, 비인강폐쇄부전과의 연관성을 알아보기 위하여 Anatomic VPI와 Nasalance score의 값을 비교 분석하였다. 얻어진 결과는 다음과 같았다. 1. 측면두부방사선계측사진 결과, 연구개 길이, 연구개 두께 비인강 깊이, 비인강 면적, Adequate ratio에서 두 그룹간 유의 한 차이를 나타내었다. 2. Nasometer 결과, 모음/오/와 구강공명음문장, 구강장해음문장에서 두 그룹 간 유의한 차이를 나타내었다. 3. 구개열환자군에서 비인두강의 폐쇄부전 정도를 표현해주는 Anatomic VPI와 Nasalance score는 전반적으로 연관성이 없었다. 다만 모음/이/와 일부 구강자음으로 이루어진 문장에서 다소의 상관성을 나타내었다. 결론적으로, 측면두부방사선계측사진과 Nasometer 각각의 검사결과에서 두 그룹간 유의한 차이를 찾아볼 수 있었으나, 구개열환자군내에서 비인강폐쇄부전을 표현하는 Anatomic VPI와 Nasalance score는 모음/이/와 구강자음을 포함한 문장을 제외하고는 전반적으로 연관성이 없었다.후 불소도포시 레이저 에너지 밀도 증가에 따라 증가되는 경향을 보였다. 2. KOH 비처치군에서 법랑질 탈회깊이는 불소를 5분 도포후 레이저 $20J/cm^2$를 조사한 경우를 제외하고는 레이저와 불소를 병행하여 처치시 각각을 단독으로 처치시보다 탈회깊이가 작았다 (p<0.05). 3. Calcium fluoride의 양은 레이저의 조사에 의해 유의 있게 증가하지 않았다 (p>0.05). 4. Calcium fluoride 입자는 불소만 도포한 경우에 비해 레이저 조사후 불소도포시 입자크기가 증가되었으며, 불소도포후 레이저 조사시 입자크기의 증가와 함께 일부 융합된 양상을 보였다. 5. KOH 처치군에서 법랑질의 불소농도는 불소를 30분 도포후 레이저를 조사한 경우를 제외하고는 대조군의 불소농도와 유의한 차이가 없었다(p>0.05). 6. KOH 처치군에서 불소와 레이저를 병행한 경우, 불소만 도포한 경우보다 탈회된 법랑질의 깊이가 작았다 (p<0.05). 7. KOH 비처치군에서 탈회된 법랑질의 불소농도와 탈회깊이의 상관관계(Spearman correlation coefficient: -0.6281)는 KOH 처치군(Spearman correlation coefficient: -0.3792)에 비해 높은 음의 상관 관계를 보였고, 동일한 조건으로 불소도포 및 레이저 조사를 시행한 경우에 있어서 KOH 처리 여부에 따른 탈회법랑질 깊이의 유의차가 있는 경우 calcium fluoride의 형성량이 많았다. 이상의 실험결과로 미루어 보아 레이저 조사가 calcium fluoride의 형성량에 영향을 미치지 않았으나 레이저 조사의 영향으로 calcium fluoride의 용해가 감소하는 것으로 판단된다