In this paper, a novel dual-type positioning mechanism using a voice coil motor(VCM) and a piezoelectric actuator is proposed for optical disk drive or near-field recording type drive. The VCM is used for a coarse motion actuator and the piezoelectric actuator, "S" configuration deflection motion when voltage applied, is used for a fine motion actuator with self-sensing technique, which allows it to sense and actuate simultaneously in a closed loop frame work. When the VCM rotates and stops, a position feedback control algorithm is adopted to further control residu vibration. The performance of the control scheme is confirmed through simulations and experiments.
The flexibility of a manipulator inevitably yields vibration at the end effector. In this work, position and vibration control for a flexible robot arm was studied using a separate voice coil type actuator to raise the accuracy and speed of end tip. A flexible robot arm with a tip mass is modeled as an Euler-Bernoulli beam. An $H_$\infty$$ controller is adapted to get a robust control against unmodeled higher-order mode vibration, output sensor noise, and etc. Simulations and experiments show that the modeling of the system is acceptable and robust vibration control is also achieved.
This paper is concerned with the active control experiments on elevator vibrations by means of the active roller guide. To this end, a roller guide was designed using a voice-coil actuator and linear guide. A simple proportional control algorithm combined with the band-pass filter was implemented using the DSP. Based on the initial experiments, a new control system which can handle lateral and front-back vibrations of elevator was built and tested using the elevator test tower. The experimental results show that the elevator vibrations are reduced by the active control technique.
A new positioning mechanism with Parallel type actuator using piezoelectric material and with dual type actuators using voice coil motor (VCM) and piezoactuator is proposed for optical disk drive or near-field recording type drive, and high speed position and vibration control are investigated. Parallel type bimorph piezoactuator is used as a fine motion actuator with self-sensing technique, which allows a piezoelectric material to concurrently sense and actuate in a closed loop frame work, and positive position feedback control algorithm is adopted to further control residual vibration. For positioning control of VCM, PID control algorithm is adopted.
This paper presents a design of the reticle stage for lithography using VCM(Voice Coil Motor) and kinematic analysis. The stage has three axes for X,Y,${\theta}_z$, those actuated by three VCM's individually. The reticle stage has cross coupled relations between X,Y,${\theta}_z$ axes, and the closed solution of the forward/inverse kinematics were solved to get an accurate reference position. The reticle stage for lithography was designed for reaching both high accuracy and long stroke, which was $0.1{\mu}m$ (X,Y)/ $1{\mu}rad({\theta}_z)$ accuracies and relatively long strokes about 2mm (X,Y) and 2 degrees(${\theta}_z$). Also this research presents a rotational compensation algorithm for the precision gap sensor for the stage. Simulation results show the overall performance of the whole algorithm and the improvement quantity of the rotational compensation algorithm.
International Journal of Fuzzy Logic and Intelligent Systems
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제4권3호
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pp.316-321
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2004
In this paper, we have developed a new mounting head system for flip chip. The proposed head system consists of a macro/micro positioning actuator for stable force control. The macro actuator provides the system with a gross motion while the micro device yields fine tuned motion to reduce the harmful impact force that occurs between very small sized electronic parts and the surface of a PCB(printed circuit board). In order to show the effectiveness of the proposed macro/micro chip mounting system, we compared the proposed system with the conventional chip mounting head equipped with a macro actuator only. A series of experiments were executed under the mounting conditions such as various access velocities and PCB stiffness. As a result of this study, a satisfactory voice coil actuator as the micro actuator has been developed, and its performance meet well the specifications desired for the design of the chip mounting head system and show good correspondence between theoretical analysis and experimental results.
In this paper, a dual-servo type VCM (Voice Coil Motor) for the measuring of nano-level displacement and small thrust is proposed and developed. The shape of VCM for improving the resolution of displacement and ensuring a large displacement are presented. The FEM (finite element method) is utilized to analyze the characteristics of VCM that produces linear driving thrust and satisfies the thrust that the measurement system requires. The Prototype is fabricated and an experiment is performed in order to measure displacement. As a result of simulation and testing, the proposed VCM shows the applicable possibility for a nano-level measurement system.
In this paper, 2-axis driving mechanism, which uses voice coil motor (VCM), is proposed to measure the friction force. The proposed VCM actuator consists of two parts; structural part and magnetic circuit part. Structural part is simplified to perform the friction experiments. Magnetic circuit part is composed of two parts. The experiments are accomplished by changing the mass of moving part. Through the experiments, optimal dimension is selected. Finally, the experimental results are verified and the optimal case is applied to the 2-axis driving mechanism, optical image stabilization actuator.
The superior performance of the spherical actuator is establishing a new trend in the industry. Spherical actuators can perform multiple degrees-of-freedom (DOF) motions by using only one actuator. Therefore, a multi-DOF device using the spherical actuator can reduce weight and simplify the structure. This paper proposes a new spherical actuator that uses the operational principle of a rotational voice coil motor. The effectiveness of the actuator is verified through 3-D finite element method.
This paper proposes a small VCM (Voice coil motor) type actuator using curved suspensions for auto-focusing and zoom motions for mobile information devices. 1'he proposed focusing actuator adopts a nontraditional type of suspension using curved beams in order to extend output displacement within small height restriction. The curved beam is similar to the leaf spring type which is usually used in optical disk drives. In addition, three different materials are considered for the curved suspension model, and Aluminum shows the best dynamic characteristics. The proposed zoom actuator does not use a suspension supporting bobbin but a moving rail and a sloper mechanism by generating rotational force at lens holder. The sensitivity of design parameters on output performance is studied using ANSYS (3D FEM tool). Experiments using a prototype of the proposed actuator model verified the analytical prediction and performance.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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