• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제19권9호
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• pp.825-831
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• 2006

As an increase of chip complexity and level of chip integration, chip input/output (I/O) pad pitches are also drastically reduced. With arrival of high complexity SoC (System on Chip) and SiP (System in Package) products, conventional horizontal type probe card showed its limitation on probing density for wafer level test. To enhance probing density, we proposed new vertical type probe card that has the $70{\mu}m$ probe needle with tungsten wire in $80{\mu}m$ micro-drilled hole in ceramic board. To minimize alignment error, micro-drilling conditions are optimized and epoxy-hardening conditions are also optimized to minimize planarity changes. To apply wafer level test for target devices (T5365 256M SDRAM), designed probe card was characterized by probe needle tension for test, contact resistance measurement, leakage current measurement and the planarity test. Compare to conventional probe card with minimum pitch of $50{\sim}125{\mu}m\;and\;2\;{\Omega}$ of average contact resistance, designed probe card showed only $22{\mu}$ of minimum pitch and $1.5{\Omega}$ of average contact resistance. And also, with the nature of vertical probing style, it showed comparably small contact scratch and it can be applied to bumping type chip test.

• 한국전자파학회논문지
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• 제21권7호
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• pp.831-841
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• 2010

일반적으로 수직형 프로브는 가늘고 긴 S-자형 구조가 중복되기 때문에 신호 전달 특성이 저하되므로 이것에 대한 개선이 필요하다. 본 논문에서 제안된 프로브는 캔틸리버형보다 적은 면적을 차지하는 수직형으로 동시에 많은 메모리를 테스트하기에 적합하며, 특히 외부 압력이 가해졌을 때 분기된 스프링에 의해 폐 루프(closed loop)가 형성되어 기존의 S-자형 수직형 프로브보다 기계적 특성뿐만 아니라 전기적 신호 전달 특성이 개선된 새로운 형태의 수직형 프로브를 제안하였다. 제안된 프로브를 제작하여 측정 및 시뮬레이션을 통해 기존의 S-자형 수직형 프로브보다 오버드라이브(overdrive)는 1.2배, 컨택 포스(contact force)는 2.5배, 신호 전달특성은 $0{\sim}10$ GHz에서 최대 1.4 dB 개선되는 것을 확인하였다. 또한 프로브 카드(probe card)의 신호 전달 특성을 예측할 수 있는 시뮬레이션 모델을 개발하였다. 이를 위하여 프로브 카드를 구성하는 각 부품의 기하학적 특성에 맞도록 2.5D 또는 3D Full-wave 시뮬레이터를 사용하였으며, 계산된 결과는 측정 결과와 매우 잘 일치 하였다.

• KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
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• 제4C권4호
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• pp.149-154
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• 2004

This paper presents a silicon probe tip for vertical probe card application. The silicon probe tip was fabricated using MEMS technology such as porous silicon micromachining and deep- RIE (reactive ion etching). The thickness of the silicon epitaxial layers was 5 ${\mu}{\textrm}{m}$ and 7 ${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. The width and length were 40 ${\mu}{\textrm}{m}$ and 600 ${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. The probe structure was a multilayered structure and was composed of Au/Ni-Cr/Si$_3$N$_4$/n-epi layers. The height of the curled probe tip was measured as a function of the annealing temperature and time. Resistance characteristics of the probe tip were measured using a touchdown test.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2017년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.120.1-120.1
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• 2017

최근 첨단 기능화 되고 있는 반도체의 회로는 증가하고 칩의 브릿지도 점점 증가하고 있다. 반면에 제품은 소형화되고 회로폭은 미세화 하고, 피치는 감소하고 있다. 이에 회로의 정확한 검사를 위해서는 Probe Pin의 신뢰성을 중요시하게 되면서 도금기술의 고품질화가 요구되는 실정이다. 본연구에서는 Probe Pin과 내구성과 금도금 피막의 두께를 확보하여 국산 반도체 검사장비 시장을 선도 할 수 있도록 금도금피막의 두께와 밀착성 확보와 함께 굽힘시험시 박리와 크랙방지를 위한 기초연구를 수행하고자 하였다.

• 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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• 제29권2호
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• pp.63-69
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• 2006

초음파 영상의 질은 진단에 많은 영향을 끼친다. 양질의 영상이 항상 일정하게 유지되기 위해서는 QA(Quality Assurance) 프로그램을 가지고 주기적인 관리가 이루어져야 할 것이다. 본 논문은 임상에서의 QA 상황을 파악하는 첫 번째 단계로 실제 병원의 초음파 영상의 질을 살펴보고자 하였다. 이를 위해 인간의 생체등가물질로 된 팬텀을 이용하여 정상 환자를 스캔할 때와 같은 기준 값에서 가상의 낭포 및 고반사 신호의 구조물들이 몇 개가 보이는지 convex probe와 linear probe를 측정하여 비교하였다. convex probe에서는 정상 간과 비슷한 0.5 dB에서 vertical group, cystic masses, high contrast masses에서는 대부분 잘 보였으며 지방간과 비슷한 조건인 0.7 dB에서는 vertical group이 중간레벨에서, cystic masses와 high contrast masses에서는 대체로 모두 잘 보였다. linear probe에서의 vertical group은 0.5 dB에서 중간레벨만 잘 보였고 cystic masses와 high contrast masses는 두 개에서 네 개 보이는 것들이 고루 분포되었으나 하나도 보이는 않는 경우가 11건수나 되었다. 0.7 dB에서는 vertical group이 6개 이하가 보이는 것이 대부분 이었고 cystic masses와 high contrast masses에서도 두개에서 네 개 보이는 것들이 고루 분포되었고 하나도 보이는 않는 경우도 40건 있었다. 이로서 지방간과 같은 조건하에서는 linear probe의 영상의 질이 대체로 좋지 않으므로 기준 설정 및 물리적인 조건들을 검사 시에 잘 조정하거나 probe의 교체가 필요하다고 판단된다. 많은 병원에서 초음파 장비를 잘 관리하고 있다고 하지만, 영상의 질은 아직도 미흡한 것을 알 수 있다. 초음파 장비의 설치에서부터 영상의 질을 평가하고 지속적이고 정기적인 관리와 평가가 이루어질 수 있는 프로그램이 필요하겠다.

• 대한기계학회논문집
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• 제10권6호
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• pp.814-822
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• 1986

본 연구에서는 이러한 점에 착안하여 비가열수직이상유동계에서 전도Probe 를 이용하여 시간평균보이드율을 측정하여 이들로부터 통계적으로 처리된 확률밀도함 수(PDF)분포와 이와 관련된 일련의 모우멘트계산을 시도 하므로써 유동양식과 천이특 성에 대하여 객관적이고 체계적인 해석을 하였다. 또한 학계 및 산업계에서는 측정 기구의 단순화가 요구되므로 전도Probe의 출력신호를 분석하여 유동양식에 따르는 특 성을 아울러 구명하였다.

• 한방재활의학과학회지
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• 제28권1호
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• pp.85-96
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• 2018

Objectives This study was performed to compare the electrical methods of motor points mapping using surface EMG and electric probe (Pointer Excel II). Methods 32 healthy adults (male 16, female 16) were selected. and classified into two groups; surface EMG group, electric probe (Pointer Excel II) group. In surface EMG group, motor points were searched by recoding the compound muscle potentials. In electric probe (Pointer Excel II) group, motor points were searched by scanning the skin with Pointer Excel II at low level stimulation. The locations of the motor points were expressed as X and Y values in relation to the reference line. The horizontal reference line was set as elbow crease and the vertical reference line was set as the line connecting coracoid process to the center of the horizontal reference line. The data was analyzed by 'Independent T-test' and 'equivalence test'. Results 1. The motor points of short head and long head of biceps brachii muscle were located at about 2/3 length of the vertical reference line from coracoid process and about 1/5~1/4 length of the half of the horizontal reference line from the vertical reference line in both group. 2. The motor points of the short head were located more distally and close to the vertical reference line (p<0.001). 3. In surface EMG group, the motor points of the long head were located more laterally in the female than male. And the motor points of the long head were located more distally in the left side than right side (p<0.05). In electric probe (Pointer Excel II) group, similar tendency was observed but there was no statistically significant difference (p>0.05). 4. As a result of the equivalence test between surface EMG group and electric probe (Pointer Excel II) group, the confidence intervals of the difference were within the equivalence limit. Therefore, the locations of the motor points searched by two ways are equa l (p>0.05, equivalence interval=3%). Conclusions The results indicate that electric probe (Pointer Excel II) can be used to search the motor points instead of surface EMG. This might improve the clinical efficiency when using the motor points to treat muscle dysfunction.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2007년도 춘계학술대회A
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• pp.1730-1733
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• 2007

As semiconductor and MEMS devices become smaller, testing process during their production should follow such a high density trend. A circuit inspection tool "probe card" makes contact with electrode pads of the device under test (DUT). Nowadays, electrode pads are irregularly arranged and have height difference. In order to absorb variations in the heights of electrode pads and to generate contact loads, contact probes must have some levels of mechanical spring properties. Contact probes must also yield a force to break the surface native oxide layer or contamination layer on the electrodes to make electric contact. In this research, new vertical micro contact probe with bellows shape is developed to overcome shortage of prior work. Especially, novel bellows shape is used to reduce stress concentration in this design and stopper is used to change the stiffness of micro contact probe. Variable stiffness can be one solution to overcome the height difference of electrode pads.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.402.1-402.1
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• 2014

Photonic force microscopy (PFM) is an optical tweezers-based scanning probe microscopy, which measures the forces in the range of fN to pN. The low stiffness leads proper to measure single molecular interaction. We introduce a novel photonic force microscopy to stably map various chemical properties as well as topographic information, utilizing weak molecular bond between probe and object's surface. First, we installed stable optical tweezers instrument, where an IR laser with 1064 nm wavelength was used as trapping source to reduce damage to biological sample. To manipulate trapped material, electric driven two-axis mirrors were used for x, y directional probe scanning and a piezo stage for z directional probe scanning. For resolution test, probe scans with vertical direction repeatedly at the same lateral position, where the vertical resolution is ~25 nm. To obtain the topography of surface which is etched glass, trapped bead scans 3-dimensionally and measures the contact position in each cycle. To acquire the chemical mapping, we design the DNA oligonucleotide pairs combining as a zipping structure, where one is attached at the surface of bead and other is arranged on surface. We measured the rupture force of molecular bonding to investigate chemical properties on the surface with various loading rate. We expect this system can realize a high-resolution multi-functional imaging technique able to acquire topographic map of objects and to distinguish difference of chemical properties between these objects simultaneously.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2008년도 하계학술발표회 논문집
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• pp.185-186
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• 2008

In this paper, the nano-grating was measured by Scanning Probe Microscopy (SPM) system using digital Proportion, Integration and Derivative (PID) control. Through this measurement, we could confirm the improvement of the vertical resolution compared with analog Proportion and Integration (PI) control method.