$BCl_3/Ar/Cl_2$ 유도결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각특성 연구
(Etch characteristics of ZnO thin films using an inductively coupled plasma)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
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- pp.135-136
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- 2009