• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.142.2-142.2
• /
• 2015

Plasma etch endpoint detection (EPD) of SiO2 and PR layer is demonstrated by plasma impedance monitoring in this work. Plasma etching process is the core process for making fine pattern devices in semiconductor fabrication, and the etching endpoint detection is one of the essential FDC (Fault Detection and Classification) for yield management and mass production. In general, Optical emission spectrocopy (OES) has been used to detect endpoint because OES can be a simple, non-invasive and real-time plasma monitoring tool. In OES, the trend of a few sensitive wavelengths is traced. However, in case of small-open area etch endpoint detection (ex. contact etch), it is at the boundary of the detection limit because of weak signal intensities of reaction reactants and products. Furthemore, the various materials covering the wafer such as photoresist (PR), dielectric materials, and metals make the analysis of OES signals complicated. In this study, full spectra of optical emission signals were collected and the data were analyzed by a data-mining approach, modified K-means cluster analysis. The K-means cluster analysis is modified suitably to analyze a thousand of wavelength variables from OES. This technique can improve the sensitivity of EPD for small area oxide layer etching processes: about 1.0 % oxide area. This technique is expected to be applied to various plasma monitoring applications including fault detections as well as EPD.

• 한국컴퓨터산업학회논문지
• /
• 제6권5호
• /
• pp.715-724
• /
• 2005

최근 들어 폐쇄 환경에서 동작하던 많은 주요 시스템들이 웹 서비스를 제공하면서 호스트는 물론 제공되는 웹기반의 서비스들이 쉽게 공격의 주요 대상이 되고 있다. 뿐만 아니라 웹 컨텐츠나 어플리케이션의 다양성은 새로운 공격 기술을 개발하는 원인이 되기도 한다. 반면 기존의 오용기반 탐지 기법으로는 공격 기술의 발전 속도를 따라가지 못할 뿐더러 새로운 보안 위협을 처리하는 능력이 없다. 따라서 기존의 공격 유형과 함께 새롭게 개발되는 공격과 침입을 탐지하고 대처할 수 있는 기술이 연구되고 개발되고 있다. 본 논문에서는 HTTP 트래픽 패턴과 패킷 정보를 분석하여 HTTP 트래픽 모델에서의 비정상 행위 발생을 실험하였으며, 그 실험 결과를 적용하여 비정상행위를 탐지 가능한 HTTP 트래픽 모델을 설계하고 구현하였다.

• Asian Pacific Journal of Cancer Prevention
• /
• 제16권3호
• /
• pp.1181-1184
• /
• 2015

Background: Accurate measurement of breast mass size is fundamental for treatment planning. We evaluated performance of BreastLight apparatus in detection breast of masses with this in mind. Materials and Methods: From July 2011 to September 2013, a total of 500 women referred to mammography unit in Yazd, Iran for screening were recruited to this study. Performance of BreastLight in detection breast masses regard their sizeing, measured with clinical breast examination (CBE), mammography and sonography, was assessed. Sonographic and mammography examinations were performed according to breast density among women in two groups of women younger (n=105) and older (n=395) than 30 years. Size correlations were performed using Spearman rho analysis. Differences between mass size as assessed with the different methods (mammography, sonography, and clinical examination) and the BreastLight detection were analyzed using $X^2$-trend test. Results: Performance of the BreastLight in detection of lesions smaller than or equal to 1 cm assessed by CBE, mammography and sonography was 4.4%,7.7% and 12.5% and for masses larger than 4 cm was 65%, 100% and 57.1%, respectively. The performance of BreastLight in detection was significantly increased with larger masses (p<0.001). Conclusions: We conclude that clinical measurement of breast cancer size is as accurate as that from mammography or ultrasound. Accuracy can be improved by the use of a simple formula of both clinical and mammographic measurements.

• 한국컴퓨터정보학회논문지
• /
• 제10권4호
• /
• pp.113-121
• /
• 2005

실시간 영상에서 사람의 얼굴을 검출하는 것은 얼굴 인식 분야에 있어서 주요한 관심 분야 중의 하나이다. 본 본문에서는 실시간 입력되는 영상에서 피부색과 Haar-like feature를 이용한 얼굴 검출 알고리즘을 제안하였다. 제안된 알고리즘은 YCbCr 색 공간에서의 차 연산 기법을 이용하여 이동 물체의 움직임 영역을 ROI(region of interest)로 선정하고 Haar-like feature를 이용하여 얼굴 후보영역을 선정한 다음 피부색 정보를 이용하여 얼굴을 검출하였다. 특히, 가변적으로 선정되는 ROI 영역에 대하여 피부색 정보와 특징 정보를 이용함으로서 실시간 영상에 대하여 처리 속도의 향상과 비슷한 특징 또는 색상을 가진 영상이 얼굴로 검출되는 오류를 방지하였다. 실험 결과는 기존의 연구에 비해 30%의 처리 속도 향상과 96.8%의 검출 성공률을 보였다.

• 정보처리학회논문지A
• /
• 제17A권2호
• /
• pp.81-92
• /
• 2010

진동 정보를 통해 기계 설비의 상태나 고장 유무를 판단하는 연구들이 다수 진행 중에 있는데, 대부분의 연구에서는 설비에 대한 진동을 모니터링하거나 고장 유무를 판별하여 사용자에게 알리는 수준이다. 본 논문에서는 진동에 의한 고장 진단과 판별을 보다 정교하게 수행하는 선박 엔진의 고장 감지 기법과 시스템을 제안하였다. 일차적으로 이중적 진동 정보 판별 기법을 적용하여 진동 정보를 확인한 다음에 고장 유무를 검사한다. 만일 고장이 발생한 경우에는 진동 정보의 오류 부분만을 이용하여 고장 진동 파형에 대한 오차 범위를 기준으로 어떤 유형의 고장인지를 판별할 수 있는 기법을 적용하였다. 또한 선박의 진동 경향 분석과 엔진 안전 보존을 목적으로 진동 정보를 데이터베이스에 저장하고 추적할 수 있도록 시스템을 구현하였다. 제안 시스템을 선박 엔진의 고장 판별 유무와 고장 진동 파형 감별 인자에 대해 실험을 수행한 결과 고장 유무 판별은 약 100% 정확성을 가졌고 고장 진동 파형의 유형 인식에서는 약 96% 정확성을 가졌다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
• /
• 한국정보통신학회 2014년도 춘계학술대회
• /
• pp.79-81
• /
• 2014

전자 상거래 리뷰 정보에 대한 소비자들의 의존도가 증가하고 있다. 제품 리뷰는 잠재적인 고객의 구매 결정에 있어 중요한 결정 요소이다. 제품 리뷰는 또한 상품 제조사들이 자신들의 제품에 대한 문제점을 발견하고 자신들의 경쟁자들에 대한 경쟁 정보를 수집할 수 있도록 해준다. 불행히도 많은 온라인 제품 정보들이 그 제품에 대한 진짜 고객들에 의해 만들어지지 않은 것이라는 것은 잘 알려진 사실이다. 리뷰를 쓰는 사람들은, 특정 제품의 평판을 떨어뜨리기 위해 가짜로 부정적인 리뷰를 쓰거나, 특정 제품에 대해 부당하게 긍정적인 리뷰를 써서 그 제품을 홍보하기도 한다. 이러한 리뷰들을 가짜 리뷰라고 한다. 가짜 리뷰 판별 기법은 가짜 리뷰를 판별하고 삭제하여 진실한 리뷰들만 독자에게 제공하기 위한 기법이다. 현재까지 이 문제에 대한 연구는 많이 발표되지 않았다. 본 논문에서, 우리는 관련 연구들을 조사하고 가짜 리뷰 판별 기법들에 대해 간단히 조망해 보고자 한다. 웹 스팸 및 이메일 스팸과 같은 가짜 리뷰 판별과 관련된 연구들을 소개한다. 그리고, 가짜 리뷰들을 판별하기 위한 방법들을 소개하고 요약한다. 마지막으로 가짜 리뷰 판별에 대한 연구 추세들로 결론을 맺는다.

• 자동차안전학회지
• /
• 제12권3호
• /
• pp.20-26
• /
• 2020

Many children have died (Heat stroke deaths) in the U.S. after being left alone in cars during hot weather, especially summer season. According to related report, more than 800 children have died of heat stroke from being trapped in a hot car since 1998. The regulation party, government has started to make not only technical regulation to prevent tragedy but also legislate to punish. However the 75% of accident has occurred unintended by their parents. So punishment is not the best solution for this case. So in this study, we analyze the trend of regulation and technology to save occupant who remained back seat. And finally we propose a countermeasure to prevent heat stroke deaths.

• 한국소음진동공학회:학술대회논문집
• /
• 한국소음진동공학회 2000년도 춘계학술대회논문집
• /
• pp.1127-1132
• /
• 2000

Impulsive acoustic and vibration signals within rotating machinery are often induced by irregular impacting. The detection of these impulses can be useful for fault diagnosis purposes. Recently there has been an increasing trend towards the use of higher order statistics for fault detection within mechanical systems based on the observation that impulsive signals tend to increase the kurtosis values. This paper considers the use of the third and fourth order Wigner moment spectra, called the Wigner bi- and tri- spectra receptively, for analysing such signals. Expressions for the auto-and cross-terms in these distributions are presented and discussed. It is shown that the Wigner trispectrum is a more suitable analysis tool and it performance is compared to its second order counterpart for detecting impulsive signals. These methods are also applied to measured data sets from an industrial gearbox.

• KIEE International Transactions on Electrophysics and Applications
• /
• 제2C권6호
• /
• pp.297-303
• /
• 2002

We have developed an on-line ultrasonic detector to monitor partial discharge in an operating transformer. The ultrasonic sensor has 150[KHz] resonance frequency and contains a pre-amplifier with 60[㏈] gain. The on-line ultrasonic detector has 50~300[KHz] frequency band-pass filter to remove electrical and mechanical noises from the transformer. This detector has an ultrasonic signal discrimination algorithm which discriminates ultrasonic signals due to partial discharge in a transformer. A moving average method of ultrasonic signal number was employed to effectively monitor the increasing trend of the partial discharge. This paper describes an experience of partial discharge detection in a 154[㎸] operating transformer using an ultrasonic detector. With regards to gas analysis in oil, C2H2 gas was produced with a warning level in this transformer We detected ultrasonic signals on the transformer steel wall, and estimated the position of partial discharge. With further inspection, we found carbonized marks due to partial discharge on the supporting bolt which fastens the windings.

• 대한전기학회:학술대회논문집
• /
• 대한전기학회 2001년도 춘계학술대회 논문집 전기기기 및 에너지변환시스템부문
• /
• pp.419-422
• /
• 2001

To safely control a group of trains, it is essential to detect the position of train. The system to detect the position of train by the train itself will become a mainstream of the new systems using radio transmission. This paper introduces the methods of train position detection that have been studied, introduces the trend of these methods. It also described the fundamental concept and approach to realize a system to detect the position of train which is applicable to systems.