• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제3권1호
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• pp.31-34
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• 2004

We develop Mueller-matrix spectroscopic ellipsometry based on dual compensator configuration. This technique is very powerful for measuring surface anisotropy in nano-scale, especially when materials show depolarization. Dual-rotating compensator configuration is adopted with the rotational ratio of 5:3 originally developed by Collins et al[1]. The instrument can provide 250-point spectra over the wavelength range from 230 nm to 820 nm in one irradiance waveform with minimum acquisition time of Tc=10 s. In this work, the results obtained in transmission modes are presented for the initial attempt. We present calibration procedures to diagnose the system from the utilized data collected in transmission mode without sample. We expect that the instrument will have important applications in thin films and surfaces that have anisotropy and inhomogeneity.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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• pp.1715-1718
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• 2006

Evaluating method of the device parameters of liquid crystal display (LCD) by means of the renormalized transmission spectroscopic ellipsometry is demonstrated. Dielectric and elastic constant, threshold voltage, pretilt angle, cell gap and Anchoring strength coefficients can be evaluated from the measurement of ellipsometric parameters measured by the symmetrically oblique incidence transmission ellipsometry (SOITE). Furthermore, rapid evaluating method for rubbed polyimide film is also demonstrated.

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집
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• pp.169-173
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• 2004

Rotating Compensator Ellipsometry에 회전하는 시편 홀더를 갖추었을 때 uniaxial한 시편의 광축과 retardance를 측정하는 것이 매우 간단해진다. 이것은 Dual Rotating Compensator Transmission Ellipsometry의 self-calibration과정과 흡사하기 때문이다. 기존의 ellipsometry가 광학 부품들의 입사면에 대한 방위각을 찾는 복잡한 calibration과정과 비등방성 시편의 고속축의 방향을 찾아야 하는 수고를 필요로 하지만 rotating sample and compensator ellipsometry는 self-calibration과 자동으로 고속축의 방향을 찾기 때문에 매우 편리하다. 우리는 이 기술를 정렬된 액정display panel에 적용하여 ~$0.4^{\circ}$ 의 작은 retardance 간을 측정할 수 있었다.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
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• pp.191-194
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• 2005

Evaluating methods of the polar and/or azimuthal anchoring strength coefficients by means of the renormalized transmission spectroscopic ellipsometry are demonstrated. The Anchoring strength coefficients can be evaluated from the measurement of ellipsometric parameters measured by the oblique incident transmission ellipsometry, where the effect of multiplebeam interference is eliminated. The device parameters such as the pretilt angle and cell gap can be determined simultaneously even in the case of the twisted nematic liquid crystal sample cells.

• Journal of the Optical Society of Korea
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• 제18권2호
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• pp.156-161
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• 2014

Anisotropy profile of a rubbed polyimide film is investigated using both a modified ultra high precision transmission ellipsometer and the analysis software previously developed to determine the optic axis distribution of discotic liquid crystals in the wide view film. The distorted sinusoidal variation of the ellipsometric constants obtained at an oblique angle of incidence indicates that the optic axis varies from $14.7^{\circ}$ to $40.6^{\circ}$ from the sample plane. The magnitude and distribution of anisotropy is expressed in terms of no, ne, and the cosine-shaped tilt angle distribution of the optic axis in a rubbed polyimide film.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.63-66
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• 2004

Transparent MgO thin films were deposited on glass substrates by electron beam evaporation of MgO (99.99%) under $O_2$ atmosphere at 150-250 $^{\circ}C$. These films were characterized for their useful properties such as thickness, transmission, and refractive index using ultraviolet / visible (UV/VIS) spectrophotometer, scanning electron microscopy (SEM), and Spectroscopic Ellipsometry. The thickness of MgO films were measured by alpha step instrument and found to be 600 nm to 1000 nm and are meeting the stoichiometry. The transmission spectrum of these films shows transmittance values ${\sim}$92%..

• 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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• 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
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• pp.12-17
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• 2003

We develop Mueller-matrix spectroscopic ellipsometry based on dual compensator configuration. This technique is very powerful for measuring surface anisotropy in nano-scale, especially when materials show depolarization. Dual-rotating compensator configuration is adopted with the rotational ratio of 5:3 originally developed by Collins et al [1]. The instrument can provide 250-point spectra over the wavelength range from 230 nm to 820 nm in one irradiance waveform with minimum acquisition time of $Tc{\approx}10 s$. In this work, the results obtained in transmission modes are presented for the initial attempt. We present calibration procedures to diagnose the system from the utilize data collected in transmission mode without sample. We expect that the instrument will have important applications in thin films and surfaces that have anisotropy and inhomogeneity.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2001년도 제12회 정기총회 및 01년도 동계학술발표회
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• pp.256-259
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• 2001

Rotating-compensator type ellipsometer was developed for spectroscopic measurements. For accurate data reduction, the azimuths of transmission axises of polarizer and analyzer, and the angular position of the fast axis of compensator should be determined through calibration process. In this paper, we present various calibration methods.

• 한국광학회지
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• 제8권4호
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• pp.277-282
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• 1997

광학소자나 전자소자의 코팅에 많이 이용되고 있는 Diamond-like Carbon(DLC) 박막의 복소굴절율을 광학적 방법을 사용하여 구하였다. PECVD(Plasma enhanced CVD)법에 의해 Si(100)기판과 비정질실리카 기판위에 각각 성장시킨 DLC 박막을 분광타원해석기와 분광광도계를 이용하여 타원해석 스펙트럼과 광투과율 스펙트럼을 측정하고, Sellmeier 분산관계식과 양자역학적 진동자 모델을 이용하여 분석하였다. 비정질실리카 위에 증착된 DLC 박막의 광투과영역에서 분광타원해석분석으로 굴절률 및 박막의 유효두께를 구하고 광흡수영역에서 투과스펙트럼을 역방계산하여 소광계수를 구한 뒤, 이 소광계수 스펙트럼에 최적 근사하는 양자역학적 분산식의 계수들을 회귀분석법으로 결정하여 복소굴절율을 구하였다. 그리고 모델링방법을 타워해석 스펙트럼에 적용하여 Si기판과 비정질이산화규소 기판위에 증착된 DLC 박막의 조밀도, 표면거칠기 등 박막상수를 박막의 성장조건에 따라 분석하였다.

• 한국광학회지
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• 제20권5호
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• pp.288-293
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• 2009

두개 이상의 광학이방성 막이 중첩된 복합막의 편광특성을 분석하였다. 투과형 타원법에서 사용되는 타원상수의 표현을 이용하여 복합 위상지연막의 유효 광축과 등가 리타데이션을 결정하는 방법을 제시하였다. 막 평면 방향으로 광축은 나란하지만 위상지연의 정도가 균일하지 않은 불균일 위상지연판의 등가 리타데이션 및 유효 광축 방향을 나타내는 수학적 표현을 유도하였다. 또한 두개의 광학 이방성막이 광축이 나란하지 않게 중첩되어 있는 복합막의 등가 리타데이션 및 유효 광축 표현을 제시하고 입사광이 직선편광일 때 방위각 의존성 검토를 통해 이들을 실제로 적용할 때 마주치는 한계를 논의하였다.