High-k Gate Dielectric for sub-0.1$\mu\textrm{m}$ MOSFET
(차세대 sub-0.1$\mu\textrm{m}$ 급 MOSFET소자용 고유전율 게이트 박막)
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- Proceedings of the IEEK Conference
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- 2000.06b
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- pp.20-23
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- 2000