RF Magnetron 스퍼터링법으로 성장시킨 Ba($Zr_{0.2}Ti_{0.8}$ )$O_3$ 박막의 특성
(Preparation and Properties of Ba($Zr_{0.2}Ti_{0.8}$ )$O_3$ Thin Films Grown by RF Magnetron Sputtering Method)
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- 한국전기전자재료학회논문지
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- 제14권7호
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- pp.567-571
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- 2001