• 제목/요약/키워드: Substrate characteristics

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Reliable and High Spatial Resolution Method to Identify the Number of MoS2 Layers Using a Scanning Electron Microscopy

  • Sharbidre, Rakesh Sadanand;Park, Se Min;Lee, Chang Jun;Park, Byong Chon;Hong, Seong-Gu;Bramhe, Sachin;Yun, Gyeong Yeol;Ryu, Jae-Kyung;Kim, Taik Nam
    • 한국재료학회지
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    • 제27권12호
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    • pp.705-709
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    • 2017
  • The electronic and optical characteristics of molybdenum disulphide ($MoS_2$) film significantly vary with its thickness, and thus a rapid and accurate estimation of the number of $MoS_2$ layers is critical in practical applications as well as in basic researches. Various existing methods are currently available for the thickness measurement, but each has drawbacks. Transmission electron microscopy allows actual counting of the $MoS_2$ layers, but is very complicated and requires destructive processing of the sample to the point where it will no longer be useable after characterization. Atomic force microscopy, particularly when operated in the tapping mode, is likewise time-consuming and suffers from certain anomalies caused by an improperly chosen set point, that is, free amplitude in air for the cantilever. Raman spectroscopy is a quick characterization method for identifying one to a few layers, but the laser irradiation causes structural degradation of the $MoS_2$. Optical microscopy works only when $MoS_2$ is on a silicon substrate covered with $SiO_2$ of 100~300 nm thickness. The last two optical methods are commonly limited in resolution to the micrometer range due to the diffraction limits of light. We report here a method of measuring the distribution of the number of $MoS_2$ layers using a low voltage field emission electron microscope with acceleration voltages no greater than 1 kV. We found a linear relationship between the FESEM contrast and the number of $MoS_2$ layers. This method can be used to characterize $MoS_2$ samples at nanometer-level spatial resolution, which is below the limits of other methods.

반사형 콜레스테릭 칼라필터의 시야각에 따른 광특성 향상에 관한 연구 (Improvement of Optical Characteristics in Viewing Directions in a Reflective Cholesteric Liquid Crystal Color Filter)

  • 김태현;임영진;황성진;이명훈;장원근;이승희
    • 폴리머
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    • 제31권2호
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    • pp.148-152
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    • 2007
  • 콜레스테릭 액정모노머를 이용하여 액정표시장치용 선택반사 칼라필터 원형을 개발하였다. 콜레스테릭 액정은 특정한 기판처리 조건에서 나선(helical twist) 구조를 갖는 액정으로서 피치와 비슷한 크기의 입사 파장을 반사시키는 독특한 선택반사의 광특성을 갖는다. 실험결과 R, G, B의 파장영역을 반사시키는 반구형으로 패턴된 콜레스테릭 반사 필름을 개발하여 그 반사파장의 피크 값을 살펴본 바, 시야각 방향 변화에 따라 적색, 녹색필름은 단파장쪽으로 반사파장 피크가 이동하였으며 청색의 경우 별다른 변화가 없었다. 포토리소그래피를 이용하여 포토레지스트(Photo-resist)를 thermal reflow방식으로 마이크로미터 크기의 반구형의 주기적인 패턴을 얻을 수 있었으며 그 위에 형성된 적색, 녹색, 청색의 필름은 패턴이 없는 경우에 비하여 시야각에 따른 반사파장의 변화가 적음을 육안을 통하여, 그리고 Lab좌표를 통해서 각각 정량적으로 확인할 수 있었다.

RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Bismuth Telluride 박막의 제조와 그 열전 특성 연구 (Preparation of Bismuth Telluride Thin Films using RF magnetron sputtering and Study on Their Thermoelectric Properties)

  • 김동호;이건환
    • 한국진공학회지
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    • 제14권4호
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    • pp.215-221
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    • 2005
  • 비스무스와 텔루리움 타겟을 co-sputtering하여 열전특성을 지닌 비스무스 텔루라이드($Bi_2Te_3$) 박막을 제조하고, 증착온도에 따른 표면형상, 결정성, 그리고 전기적 특성의 변화를 조사하였다. 표면온도가 $290^{\circ}C$ 이상일 때, 박막의 표면에서 육각형상의 결정이 뚜렷이 관찰되었으며, X선 회절분석을 통하여 높은 증착온도에서 박막의 주된 구성물질이 rhombohedral 구조의 $Bi_2Te_3$ 결정상에서 hexagonal 구조의 BiTe 결정상으로 변하는 것을 확인하였다. 높은 증착온도에서 제조된 박막의 조성이 $Bi_2Te_3$의 화학양론비에서 벗어남으로 구조적 변화와 함께 전기적 특성도 변한다는 사실을 알 수 있었다. 제조된 비스무스 텔루라이드 박막의 열전특성을 파악하기 위해 제벡계수(Seebeck coefficient)를 측정하였다. 모든 시편이 n타입의 열전박막임을 확인하였으며, 증착온도 약 $225^{\circ}C$에서 열전특성의 최적값 (제벡계수: -55 $\mu$V/$K^{2}$, 열전성능인자: $3\times10^{-4}$ W/$k^{2}$m)이 얻어졌다. 그 이상의 온도에서 나타나는 열전 특성의 저하는 텔루리움의 증발에 따른 $Bi_{2}$$Te_{3}$ 열전박막의 텔루리움 함량 부족과 그에 따른 BiTe 결정상의 발생으로 이해된다.

비파괴 판독형 메모리 소자를 위한 저유전율 강유전체 $YMnO_3$박막의 특성 연구 (Characteristics of ferroelectric $YMnO_3$ thin film with low dielectric constant for NDRO FRAM)

  • 김익수;최훈상;최인훈
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.258-262
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    • 2000
  • $YMnO_3$박막은 고주파 스퍼터를 사용하여 Si(100)과 $Y_2O_3$/si(100)기판에 증착하였다. 증착시에 산소 분압의 조건과 열처리 온도는 YMnO$_3$ 박막의 결정성과 그 메모리 윈도우의 특성에 매우 중요한 영향을 주었다. XRD 측정 결과 산소 분압 0%에서 증착후 $870^{\circ}C$에서 1시간 동안 후열처리한 $YMnO_3$ 박막은 c-축을 따라 매우 잘 배향되었음을 확인하였다. 반면 산소분압 20%에서 Si(100)과 $Y_2O_3$/Si(100) 기판위에 증착된 $YMnO_3$박막의 결정화는 XRD측정 결과 $Y_2$O$_3$ peak가 보이는 것으로 보아 YMnO$_3$박막내에 과잉의 $Y_2O_3$가 c-축으로의 배향을 억제하는 것을 알 수 있다. 특히 산소분압 0%에서 증착한 Pt/$YMnO_3/Y_2O_3$/Si 구조에서의 메모리 윈도우 특성은 c-축으로 잘 배향된 결과로 인해 인가전압 2~12V에서 0.67-3.65V이었으며 이는 $Y_2O_3$/si 기판위에 산소분압 20%에서 증착한 박막 (0.19~1.21V)보다 동일한 인가전압에서 3배 정도의 큰 메모리 윈도우 특성을 보였다.

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화학비료(化學肥料) 및 유기물(有機物) 시용시(施用時) 방선균(放線菌) Flora의 구성변화(構成變化) (Effect of Chemical Fertilizers and Organic Materials on Soil Actinomycetes Flora)

  • 홍사현;양창술
    • 한국토양비료학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.420-426
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    • 1998
  • 토양미생물(土壤微生物) 특히, 방선균(放線菌)의 수(數)는 천연유기물(天然有機物) 첨가구(添加區)가 그외 첨가물(添加物) 시용구(施用區)보다 월등히 높았으며, 또한 첨가(添加)되는 유기물(有機物)의 C/N비(比)에 따라서도 균수(菌數)의 변화(變化)가 있었다. C/N비(比)가 낮을수록 방선균수(放線菌數)의 증가(增加)는 크나 단기간에 감소(減少)하고 C/N비(比)가 높으면 지속적인 방선균수(放線菌數)유지를 보여준다. 그리고 방선균수(放線菌數)는 pH의 영향(影響)을 크게 받는다. 토양(土壤)의 pH가 배양후기(培養後期)로 접어들면서 감소(減少)하였고 토양중(土壤中) 미생물(微生物)의 균수(菌數)도 감소(減少)하였다. 방선균(放線菌)의 수(數)는 14일째 대조구(對照區)에서 4배(倍), 크로버 시용구(施用區)에서 36배(倍), 볏짚시용구(施用區)에서 20배(倍), 화학비료시용구(化學肥料施用區)에서 5배(倍), 유기질(有機質) 발효비료(醱酵肥料) 시용구(施用區)에서 4배(倍)의 증가(增加)를 보였다. 14일째의 방선균중(放線菌中) Streptomyces속(屬)의 비율(比率)은 대조구(對照區) 62%, 크로버 시용구(施用區) 60%, 볏짚 시용구(施用區) 68%, 화학비료(化學肥料) 시용구(施用區) 67%, 그리고 유기질(有機質) 발효비료(醱酵肥料) 시용구(施用區) 64%로 볏짚시용구(施用區)가 가장 높은 비율을 보였다.

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다층 성장한 InAs/InAlGaAs 양자점의 광학적 특성 (Optical Characteristics of Multi-Stacked InAs/InAlGaAs Quantum Dots)

  • 오재원;권세라;류미이;조병구;김진수
    • 한국진공학회지
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    • 제20권6호
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    • pp.442-448
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    • 2011
  • 자발형성법으로 InP (001) 기판에 성장한 InAs/InAlGaAs 양자점(QDs, quantum dots)의 광학적 특성을 PL (photoluminescence)과 TRPL (time-resolved PL)을 이용하여 분석하였다. InAs 양자점 시료는 single layer InAs/InAlGaAs QDs (QD1)과 7-stacked InAs/InAlGaAs QDs (QD2)를 사용하였다. 저온(10 K)에서 QD1과 QD2 모두 1,320 nm에서 PL 피크가 나타났으며, 온도를 300 K까지 증가하였을 때 각각 178 nm와 264 nm의 적색편이(red-shift)를 보였다. QD1의 PL 소멸시간은 PL 피크인 1,320 nm에서 1.49 ns이고, PL 피크를 중심으로 장파장과 단파장으로 이동하면서 점차 짧아졌다. 그러나 QD2의 PL 소멸시간은 발광파장이 1,130 nm에서 1,600 nm까지 증가할 때 1.83 ns에서 1.22 ns로 점진적으로 짧아졌다. 이러한 QD2의 PL과 TRPL 결과는 평균 양자점의 크기가 InAs/InAlGaAs 층이 증가함에 따라 점차 증가하기 때문으로 single layer인 QD1에 비해 양자점 크기의 변화가 더 크기 때문으로 설명된다.

SiNx 박막을 이용한 Si Nanodot의 형성 (Formation of Si Nanodot by Using SiNx Thin Films)

  • 이장우;박익현;신별;정지원
    • 공업화학
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    • 제16권6호
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    • pp.768-771
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    • 2005
  • Silicon nitride ($SiN_x$) 박막이 상온에서 $SiO_2/Si$ 기판 위에 반응성 직류 마그네트론 스퍼터링 방법에 의하여 증착되었다. 증착된 $SiN_x$ 박막의 조성은 x-ray photoelectron spectroscopy를 이용하여 분석되었으며 Si가 풍부한 $SiN_x$ 박막이 증착되었음을 확인할 수 있었다. 증착된 $SiN_x$ 박막은 annealing 온도와 시간을 변화하여 annealing 되었다. X-ray diffraction (XRD) 분석이 $SiN_x$ 박막 내에 Si의 결정화를 조사하기 위해서 수행되었고, 박막의 광학적 특성과 전기적 특성들이 Si nanodot의 형성을 확인하기 위하여 측정되었다. 그 결과로써, XRD 분석에서 Si으로 예상되어지는 peak을 관찰할 수 있었으며 annealing 시간과 온도가 증가함에 따라서 $SiN_x$ 박막의 photoluminescence intensity는 점진적으로 증가하는 것이 관찰되었다. Annealing 전과 후에 측정된 $SiN_x$ 박막의 capacitance-voltage 특성으로부터 $SiN_x$ 박막 내에 존재하는 Si nanodot에 의하여 electron이나 hole의 trap 효과가 나타남을 예상할 수 있었다.

나트륨염에 의한 비양론적 인회석의 특성 및 SaOS-2 세포반응에 미치는 영향에 관한 연구 (Variation of Characteristics of Nonstoichiometric Apatite Induced by Sodium Salt)

  • 정재영;한주연;최선미;이우걸
    • 공업화학
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    • 제19권3호
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    • pp.326-331
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    • 2008
  • 본 연구의 목표는 고체기질 표면에 Na 이온이 포함된 비양론적 인회석 코팅을 형성하는 기술을 개발하는 것이다. 나트륨염 농도가 다른 조건에서 형성된 인회석 코팅은 Na 이온이 존재하는 경우 표면 morphology, 화학적 상태 그리고 Ca/P 비율 등에 상당한 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이러한 성질들의 변화는 Na 이온의 농도가 0.01 mM로 증가될 때까지 지속되었다. 칼슘과 인의 비율은 2.18에서 2.03 정도까지 변화되었으며, 이는 합성된 비양론적 인회석이 칼슘이 풍부한 조성을 가지고 있음을 나타내고 있다. 모든 시료들의 구조는 저결정성 구조를 갖는 것으로 나타났다. 인회석 코팅층 내에 Na 이온이 존재하는 경우, 인간 조골세포의 세포주인 SaOS-2 세포의 부착이 상당히 증가하였다. 그러나 이 세포들의 증식은 Na 이온 농도가 증가함에 따라 감소하는 것으로 나타났다. 이러한 상반된 세포반응은 SaOS-2 세포와 인회석 표면간의 작용이 세포신호전달을 포함한 세포내 기전에 상당한 변화를 초래했기 때문일 것으로 사료된다.

활성탄 혼합 비율에 따른 상토의 이화학성 변화와 참외(Cucumis melo L.)묘의 생육 (Changes in the Physico-Chemical Properties of Growing Media and the Growth of Oriental Melon Seedlings(Cucumis melo L.) by Charcoal Application)

  • 김갑철;엄미정;문영훈;최영근
    • 생물환경조절학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.61-66
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    • 2004
  • 활성탄 혼합비율을 달리하여 육모상토의 이화학성 변화 및 참외묘의 생육에 미치는 효과를 검토하였다. 활성탄의 혼합비율이 많을수록 상토내의 pH는 높아졌으며 육묘기일이 경과될수록 초기에 비해 높아지는 경향으로 활성탄을 20% 혼합한 상토에서의 pH는 5.2${\sim}$5.8로 참외생육에 적합한 pH가 유지되었다. 무기성분 또한 활성탄의 혼합비율에 의하여 성분에 차이가 있었으며 육모기간이 경과함에 따라 낮아지는 경향으로 Ca는 5.4${\sim}$6.5$cmol^+\;{\cdot}\;kg^{-1}$ Mg는 7.6${\sim}$12.3$cmol^+\;{\cdot}\;kg^{-1}$, K는 37.8${\sim}$55.3$cmol^+\;{\cdot}\;kg^{-1}$이었다. 참외묘의 생육 또한 활성탄의 혼합비율에 의하여 차이를 보였는데, 활성탄을 20% 혼합한 상토의 참외묘는 엽장, 엽폭, 초장, 엽면적에서 생육이 좋았다. 상토에 활성탄을 혼합하는 비율에 따라 용적밀도, 수분보유력, pH, 무기성분 등의 함량에 변화가 있었으며, 생육에도 차이가 있었다.

사과(Ralls Janet) Polyphenol Oxidase의 효소학적(酵素學的) 성질(性質) (Enzymatic Characteristics of Polyphenol Oxidase from Apple (Ralls Janet))

  • 정기택;서승교;송형익
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.316-322
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    • 1983
  • 사과 및 그 가공품의 효소적갈변(酵素的褐變)에 대한 기초적(基礎的) 자료(資料)를 얻고 나아가서 그 방지책(防止策)을 조사(調査)하는 목적으로 국광으로 부터 polyphenol oxidase(EC 1.10.3.1)를 추출(抽出)하여 그 일반적(一般的) 성질(性質)을 검토(檢討)하였다. 국광 polyphenol oxidase의 반응최적(最適) pH는 6.0이었으며 최적(最適) 반응온도(反應溫度)는 $30^{\circ}C$였다. 본효소(本酵素) pH 4.0에서 가장 안정성(安定性)이 높았으며, pH 5.0~9.0에서도 80% 이상(以上)의 활성(活性)을 나타내었다. 열(熱)에 대한 안정성(安定性)은 $40^{\circ}C$ 1시간(時間) 처리(處理)조건에서도 극히 안정(安定)하였으며 $60^{\circ}C$에서 30분(分) 처리(處理)로 효소(酵素) 활성(活性)이 50% 감소(減少)되었다. $Cu^{2+}$, $Fe^{3+}$, $Mg^{2+}$, $Mn^{2+}$의 첨가(添加)로 활성(活性)이 저해(沮害)되었다. 본효소(本酵素)에 대한 가장 효과적(效果的)인 저해제(沮害劑)는 cysteine, sodium, metabisulfite, ascorbate인 것으로 나타났다. 국광 polyphenol oxidase는 o-diphenol인 chlorogenic acid와 catechol을 크게 산화(酸化)시키는 것으로 보아 o-diphenol화합물(化合物)이 주(主) 기질(基質)인 것으로 생각되었다.

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