• 제목/요약/키워드: Sublimation growth process

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승화법에 의한 AlN 결정의 성장 (Growth of AlN crystals by the sublimation process)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제18권2호
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    • pp.68-71
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    • 2008
  • 승화법에 의하여 AlN 결정을 성장하였다. 성장된 결정의 상은 미세한 단결정상이 응집된 다결정상이었으며, 약 2${\sim}$3mm의 길이와 직경 1인치의 크기로 증착되어진 성상을 얻었다. 성장된 결정의 표면에 탄소의 흡착이 관찰되었으며, 광학현미경과 SEM을 통하여 AlN 결정의 성장 거동에 대하여 고찰하여 보았다.

승화법으로 성장된 AlN 결정의 성장 양상에 관한 연구 (A study on the growth morphology of AlN crystals grown by a sublimation process)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제19권5호
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    • pp.242-245
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    • 2009
  • 종자결정을 사용하지 않고 AlN 결정을 승화법으로 성장하였으며, 결정이 성장되는 양상을 고찰하였다. AlN 결정으로 성장된 상은 다결정 상이었으며, 약 $60\sim160\;{\mu}m$의 크기를 가졌으며, $0.2\sim0.5\;{\mu}m/hr$의 성장 속도로 성장되었다. 성장된 결정구조는 AlN 결정의 결정 구조가 반영된 육방정계의 결정상으로 성장되었음을 관찰하였으며, 주상 구조(columnar structure)로 성장된 후 횡적 성장(lateral growth)하는 양상을 보이면서 대형화됨을 알 수 있었다. 성장된 결정의 표면에서는 다량의 pinhole이 관찰되었으며, 광학현미경과 SEM을 이용하여 성장 morphology의 변화과정을 고찰하였다.

승화전사(昇華轉寫) 디지털 프린팅을 활용한 우산디자인 개발 - 한국적 이미지를 활용하여 - (The Design Development for Umbrella by Sublimation Transfer Digital Textile Printing - To Utilize Korean Traditional Images -)

  • 조문희
    • 한국의상디자인학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.207-221
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    • 2010
  • This study aim to suggest how alter the korean traditional image design for umbrellas by sublimation transfer digital textile printing. Umbrellas are highly depend on design and made from polyester fiber which is proper item to utilize sublimation transfer digital textile printing. Sublimation transfer digital textile printing system can use computer system to create the delicate high dense images and one full layout through the hole umbrella. It can create distinctive style of design compare with former screen printing umbrella design. As a result of this study, Korean traditional images were adopted and recreated for umbrellas as the modern practical item. 7 of umbrella designs were developed and sample umbrellas could be produced in short period comparing with screen printing process. Through this study, as green printing process, sublimation transfer digital textile printing will be more applied to manufacture high quality textile products along with design development, thus it is expected as an alternative plan to leads growth of umbrella industries.

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열처리에 따른 AlN 단결정의 결정성에 관한 연구 (A study on the crystallinity of AlN single crystals by heat treatment)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제27권3호
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    • pp.105-109
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    • 2017
  • 고주파 유도 가열 장치를 이용하여 승화법으로 성장된 AlN 단결정을 질소 분위기 하에서 $1200^{\circ}C$$1500^{\circ}C$에서 열처리하였다. 열처리 후 단결정 시편들의 표면을 광학현미경으로 관찰하였으며, DCXRD(Double crystal X-ray Diffractometry)를 이용하여 FWHM(Full width of half maximum) 값을 측정하여 결정성의 변화를 평가하였다.

Growth rate and growth steps of 6H-SiC single crystals in the sublimation process

  • Kang, Seung-Min;Lim, Chang-Sung;Auh, Keun-Ho
    • 한국결정성장학회지
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    • 제11권4호
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    • pp.166-169
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    • 2001
  • 6H-SiC bulk crystals were grown by sublimation method with different conditions in term of gaseous pressures ad source temperatures. In order to optimize the growth rate, pressure at growth period and source and substrate temperatures were investigated as experimental variables. the results were compared with each other and finally the optimum growth conditions were discussed. Furthermore the relation of the growth steps and defects formation was evaluates in the point of reducing the micropipes. Subsequently the growth steps and defects formation was evaluated in the point of reducing the micropipes. Subsequently the growth steps were observed leading to the lower step height with the lower growth rate.

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4H-SiC(0001) Epilayer 성장 및 쇼트키 다이오드의 전기적 특성 (4H-SiC(0001) Epilayer Growth and Electrical Property of Schottky Diode)

  • 박치권;이원재;;신병철
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제19권4호
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    • pp.344-349
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    • 2006
  • A sublimation epitaxial method, referred to as the Closed Space Technique (CST) was adopted to produce thick SiC epitaxial layers for power device applications. We aimed to systematically investigate the dependence of SiC epilayer quality and growth rate during the sublimation growth using the CST method on various process parameters such as the growth temperature and working pressure. The etched surface of a SiC epitaxial layer grown with low growth rate $(30{\mu}m/h)$ exhibited low etch pit density (EPD) of ${\sim}2000/cm^2$ and a low micropipe density (MPD) of $2/cm^2$. The etched surface of a SiC epitaxial layer grown with high growth rate (above $100{\mu}m/h$) contained a high EPD of ${\sim}3500/cm^2$ and a high MPD of ${\sim}500/cm^2$, which indicates that high growth rate aids the formation of dislocations and micropipes in the epitaxial layer. We also investigated the Schottky barrier diode (SBD) characteristics including a carrier density and depletion layer for Ni/SiC structure and finally proposed a MESFET device fabricated by using selective epilayer process.

6H - SiC bulk 단결정 성장 양상과 micropipe에 관한 연구 (A study on micropipes and the growth morphology in 6H- SiC bulk crystal)

  • 강승민;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.44-49
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    • 1995
  • 6H - SiC를 승화법(Sublimation Process)으로 성장하였으며, 성장 결정의 표면에서 나타난 양상에 대하여 광학 현미경을 이용하여 관찰하였다. 6H-SiC는 측면방향(Hexagonal system에서 a축 방향)으로 성장하는 속도가 seed 방향인 c축 방향보다 빠르고, 따라서 많은 성장 step을 관찰할 수 있었다. 또한, SiC 결정의 주된 결함인 micropipe는 성장 후 결정의 표면까지도 형성되고 있어, 거대한 void로 관찰되어졌다. 이것은 pore와는 다르게 구별되며, 완전한 구형의 단면을 가진다. 본 연구에서는 micropipe 및 면결함, 그리고 결정성장시의 step 형성등의 현상에 대하여 광학 현미경으로 조사형 그 결과를 보고하기로 한다.

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동시 스퍼터법으로 제작한 Bi 초전도 박막의 성장 모델 (Growth Model of Bi-Superconducting Thin Film Fabricated by Co-sputtering Method)

  • Chun, Min-Woo;Park, Yong-Pil
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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    • pp.796-799
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    • 2002
  • BSCCO thin films are fabricated via a co-deposition process at an ultra-low growth rate using ion beam sputtering. The sticking coefficient of Bi element exhibits a characteristic temperature dependence. This temperature dependence of the sticking coefficient was explained consistently on the basis of the evaporation and sublimation processes of Bi$_2$O$_3$.

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저항가열 방식을 적용한 승화법에 의한 SiC 결정 성장에 대한 연구 (A study on SiC crystal growth by sublimation process using resistance heating method)

  • 강승민
    • 한국결정성장학회지
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    • 제25권3호
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    • pp.85-92
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    • 2015
  • SiC 결정은 전력반도체 소자용 소재로서 지금까지 외국은 물론 국내에서도 많은 연구가 이루어지고 있으며, 지금까지 고주파 유도가열 방식을 이용한 승화법으로 성장되어 왔다. 그러나, SiC 단결정은 결정 성장 계면에서의 온도 안정성에 따라 쉽게 다른 다형으로 성장하기 때문에, 고품질의 결정을 얻기 위해서는 결정성장 계면에서의 안정적인 온도 구배가 필요하다. 본 논문에서는 저항가열 방식을 이용한 승화법 성장 장치를 이용하여 종자결정을 사용하지 않은 상태에서 SIC 다결정상을 성장하여 보고, 성장 양상에 대하여 고찰하고자 하였다. SiC 다결정상은 성장속도 0.02~0.5 mm/hr로 성장되었으며, 성장된 SiC 다결정상의 두께는 0.25 mm~0.5 mm이고, 이 때 도가니 하부의 온도는 $2100{\sim}2300^{\circ}C$, 성장 압력은 10~760 torr의 범위에서 조절되었다. 성장된 다결정상 결정은 광학현미경으로 관찰하여, 성장 거동을 고찰하였다.

승화법에 의한 SiC 단결정 육성 (6H - SiC single crystal growth by sublimation process)

  • 강승민;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제5권1호
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    • pp.50-59
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    • 1995
  • 자체 제작된 승화법에 의한 결정성장 장치를 이용하여, 6H-SiC 단결정을 성장하였다. Acheson 법으로 얻어진 6H 결정을 seed substrate로 사용하였으며, SiC source 로부터 분해된 승화 증기가 seed상에서 육성되도록 흑연 도가니내의 온도구배 및 성장온도와 압력을 유기적으로 조절하였다. 성장 전 graphite 도가니 구성부와 SiC 원료에 대한 purification을 행함으로써 성장결정 내부로의 불순물 혼입이 억제되도록 하엿다. 결정 성장시의 육성조건으로 도가니 바닥의 온도는 $2300~2400^{\circ}C$였으며, 성장로 내부의 분위기 압력은 200~400 torr에서 양질의 단결정을 얻을 수 있었다. 성장된 결정을 두께 1.5 mm의 wafer로 제작하여 XRD와 optical microscope로 관찰하였고, FT-IR spectrum으로 분석하였다.

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