• 제목/요약/키워드: Sub-50nm

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A Design Evaluation of Strained Si-SiGe on Insulator (SSOI) Based Sub-50 nm nMOSFETs

  • Nawaz, Muhammad;Ostling, Mikael
    • JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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    • 제5권2호
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    • pp.136-147
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    • 2005
  • A theoretical design evaluation based on a hydrodynamic transport simulation of strained Si-SiGe on insulator (SSOI) type nMOSFETs is reported. Although, the net performance improvement is quite limited by the short channel effects, simulation results clearly show that the strained Si-SiGe type nMOSFETs are well-suited for gate lengths down to 20 nm. Simulation results show that the improvement in the transconductance with decreasing gate length is limited by the long-range Coulomb scattering. An influence of lateral and vertical diffusion of shallow dopants in the source/drain extension regions on the device performance (i.e., threshold voltage shift, subthreshold slope, current drivability and transconductance) is quantitatively assessed. An optimum layer thickness ($t_{si}$ of 5 and $t_{sg}$ of 10 nm) with shallow Junction depth (5-10 nm) and controlled lateral diffusion with steep doping gradient is needed to realize the sub-50 nm gate strained Si-SiGe type nMOSFETs.

부유대용융법에 의한 Yb-YAG 단결정 성장 및 광특성 (Crystal Growth of Yb:YAG by Floating Zone Method and Their Optical Properties)

  • 이성영;김병호;정석종;유영문
    • 한국결정학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.151-156
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    • 2000
  • Yb/YAG single crystals were grown from the melt composition of Y/sub 1-x/Yb/sub x/)₃Al/sub 5/O/sub 12/ where x equal to 5, 10, 15, 20, 25, 33, 50, 75 and 100 at % by floating zone method. Optimum growth parameters to get high quality single crystals were 3.5 mm/h of growth rate and 20 rpm of rotation rate under the N₂ atmosphere. After the growth, color of crystals was appeared with pale blue due to the lack of oxygen, but it was disappeared after annealing at 1450℃ for 2 hr. Absorption coefficients were linearly increased depending on the concentration of Yb/sup 3+/ ions. Broad emission band was measured in the range of 1020 to 1050 nm with the peak intensity at 1031 nm and 1051 nm because of ²F/sub 5/2/(1)→²F/sub 7/2/(3) and ²F/sub 5/2/(1)→²F/sub 7/2/(4) transition respectively. When Yb/sup 3+/ ions were substituted with high rates, there were tendency to decrease the measured fluorescent lifetime for Yb ions depending on the concentration of Yb/sup 3+/ ions.

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Zn0.95Mn0.05의 제조 및 광화학적 특성 (Preparation and Photochemical Properties of Zn0.95Mn0.05)

  • 정동운
    • 대한화학회지
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    • 제53권5호
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    • pp.560-564
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    • 2009
  • 용액침전법에 의해 ZnO 및 $Zn_{0.95}Mn_{0.05}O$를 제조하였다. Mn이 5% 치환된 ZnO 시료는 순수한 ZnO의 띠 간격인 3.37 eV (380 nm 흡광)로부터 1.50 eV (800 nm 흡광)까지 띠 간격이 줄어들게 되어 자외선 영역 뿐 아니라 가시광선 전체 영역에서도 흡광이 발생하였다. 가시광선에서의 광촉매 활성에서도 $Zn_{0.95}Mn_{0.05}O$ 시료는 P-25보다도 더 높은 활성도를 나타냈다.

화학기상응축(Chemical Vapor Condensation)공정으로 제조한 L10규칙상 Fe50Pt50 나노분말의 특성 (Characteristics of L10 Ordered Fe50Pt50 Nanoparticles Synthesized by Chemical Vapor Condensation Process)

  • 이경모;유지훈;이동원;김병기;김혁돈;장태석
    • 한국분말재료학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.281-286
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    • 2007
  • Ordered $L1_0$ to FePt nanoparticles are strong candidates for high density magnetic data storage media because the $L1_0$ phase FePt has a very high magnetocrystalline anisotropy $(K_u{\sim}6.6-10{\times}10^7erg/cm^3)$, high coercivity and chemical stability. In this study, the ordered $L1_0$ FePt nanoparticles were successfully fabricated by chemical vapor condensation process without a post-annealing process which causes severe particle growth and agglomeration. The $Fe_{50}Pt_{50}$ nanopowder was obtained when the mixing ratio of Fe(acac) and Pt(arac) was 2.5 : 1. And the synthesized FePt nanoparticles were very fine and spherical shape with a narrow size distribution. The average particle size of the powder tended to increase from 5 nm to 10 nm with increasing reaction temperature from $800^{\circ}C$ to $1000^{\circ}C$. Characterisitcs of FePt nanopowder were investigated in terms of process parameters and microstructures.

Device Coupling Effects of Monolithic 3D Inverters

  • Yu, Yun Seop;Lim, Sung Kyu
    • Journal of information and communication convergence engineering
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    • 제14권1호
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    • pp.40-44
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    • 2016
  • The device coupling between the stacked top/bottom field-effect transistors (FETs) in two types of monolithic 3D inverter (M3INV) with/without a metal layer in the bottom tier is investigated, and then the regime of the thickness TILD and dielectric constant εr of the inter-layer distance (ILD), the doping concentration Nd (Na), and length Lg of the channel, and the side-wall length LSW where the stacked FETs are coupled are studied. When Nd (Na) < 1016 cm-3 and LSW < 20 nm, the threshold voltage shift of the top FET varies almost constantly by the gate voltage of the bottom FET, but when Nd (Na) > 1016 cm-3 or LSW > 20 nm, the shift decreases and increases, respectively. M3INVs with TILD ≥ 50 nm and εr ≤ 3.9 can neglect the interaction between the stacked FETs, but when TILD or εr do not meet the above conditions, the interaction must be taken into consideration.

초음파 습식 자기분류법을 이용한 MgxNiyZn1-x-yFe2O4 나노입자 제조 (Preparation of Nano-sized MgxNiyZn1-x-yFe2O4 by Ultrasonic Wet-Magnetic Separation Method)

  • 구문선;권혁주;최용
    • 한국표면공학회지
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    • 제50권3호
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    • pp.212-218
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    • 2017
  • $Mg_xNi_yZn_{1-x-y}Fe_2O_4$ ferrite powders were prepared by self-propagating high temperature synthesis followed by classifying with an ultrasonic wet-magnetic separation unit to get high pure nano-sized particles. The $Mg_xNi_yZn_{1-x-y}Fe_2O_4$ ferrites were well formed by using several powders like iron, nickel oxide, zinc oxide and magnesium oxide at 0.1 MPa of oxygen pressure. The ultrasonic wet-magnetic separation of pre-mechanical milled ferrite powders resulted in producing the powders with average size of 800 nm. The addition of a surfactant during the wet-magnetic separation process improved productivity more than twice. The coercive force, maximum magnetization and residual magnetization of the $Mg_xNi_yZn_{1-x-y}Fe_2O_4$ nano-powders with 800 nm size were 3651 A/m, $53.92Am^2/kg$ and $4.0Am^2/kg$, respectively.

졸-겔법에 의한 나노 사이즈 Au 미립자 분산 ZrO2 박막의 특성 (Properties of Nano-sized Au Particle Doped ZrO2 Thin Film Prepared by the Sol-gel Method)

  • 이승민;문종수
    • 한국세라믹학회지
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    • 제40권12호
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    • pp.1197-1201
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    • 2003
  • 대기 중에서 침전이 생기지 않고 코팅에 적합한 나노크기 Au 미립자가 분산된 ZrO$_2$ 용액을 제조하여, 딥-코팅법으로 SiO$_2$ 유리기판 위에 박막을 제조했다. 이 박막을 열처리하여 열분석, 엑스선 회절분석, 분광분석, 원자력간 현미경, 주사전자현미경 및 투과전자현미경 관찰 등을 통하여 박막의 특성을 조사하였다. ZrO$_2$ 박막은 50$0^{\circ}C$에서 정방정상으로 결정전이가 관찰되었고, 박막의 두께는 약 100nm였다. 분산된 입자의 크기는 약 15∼40nm이며, 표면 거칠기는 0.84nm로 우수한 막질을 나타냈다. 그리고 Au 입자의 표면플라즈마 공명에 의한 흡수피크를 630∼670nm 파장범위에서 확인할 수 있었다.

Double Gate MOSFET의 전기적 특성 분석 (Analysis of Electrical Characteristics for Double Gate MOSFET)

  • 김근호;김재홍;고석웅;정학기
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2002년도 춘계종합학술대회
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    • pp.261-263
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    • 2002
  • CMOS 소자들은 고속 동자 및 고집적을 위해 50nm이하로 작아지고 있다. 소자 scaling에서 중요한 것은 스케일 되지 않은 문턱 전압($V^{th}$ ), 고 전계, 기생 소스/드레인 저항과 임의의 dopant 분배에 의한 $V^{th}$ 변화율이다. 이런 일반적인 소자의 scaling down 문제들을 해결하기 위해 새로운 소자의 구조가 제안된다. 본 논문에서는 이런 문제들을 해결하기 위해 main-gate와 side-gates를 갖는 double-gate MOSFET에 대해 조사하였다.

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Permalloy/Cu 다층막 자화반전의 미세 구조 (Fine Structure in Magnetization Reversal of Permalloy/Cu Multilayer)

  • 이긍원;염민수;장인우;변상진;이제형;박병기
    • 한국자기학회지
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    • 제11권5호
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    • pp.179-183
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    • 2001
  • Glass/Ni$_{83}$Fe$_{17}$(2 nm)/[Cu(2 nm)Ni$_{83}$Fe$_{17}$(20 nm)]$_{50}$ 다층박막의 평면 홀 효과를 측정하였다. 평면 홀 효과에서 반복된 톱니모양의 홀 효과 신호가 관측되었다. 그 원인으로 갑작스러운 자벽의 이동이 홀 효과로 관측된 것이라는 가설을 세울 수 있다. 이러한 톱니모양의 평면 홀 효과는 모든 측정방향에서 관측되었다. 각 자성층의 전체 자화만이 자기저항을 결정하므로 자기저항의 특성곡선에서는 이러한 톱니모양에 해당하는 신호가 관측되지 않았다. 톱니모양의 근본 원인에 대한 연구는 더욱 수행되어야할 것이다.것이다.

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O2 플라즈마 처리에 따른 ITZO 박막의 표면 및 광학적 특성 연구

  • 김상섭;최병덕
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2015년도 제49회 하계 정기학술대회 초록집
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    • pp.217.2-217.2
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    • 2015
  • 본 연구에서는 ITZO를 용액으로 제작하여, $O_2$ 플라즈마 처리를 통해 표면 및 광학적 특성을 분석하였다. 열처리 전 처리시간(0초~70초)을 가변하여 $O_2$ 플라즈마 처리하였다. 박막의 표면 상태를 RMS (Root Mean Square)로 비교하였다. 처리 전 표면의 거칠기는 1.38 nm이고, 50초에서 0.67nm로 표면의 상태가 좋아지며, 이후에는 RMS가 증가하여 표면 상태가 안 좋아짐을 확인하였다. 50초까지는 $O_2$ 플라즈마 처리를 통해 표면 상태의 개선된 효과를 얻을 수 있지만, 70초 이후에는 표면이 에칭되어 저하된 특성을 보이는 것을 확인하였다. 광학적 특성은 투과도와 밴드갭으로 차이를 확인하였다. 가시광선 영역 (380 nm~770 nm)에서의 투과도는 92%에서 90%로 감소하였고, 밴드갭은 3.64eV에서 3.57eV로 줄어들었다. $O_2$ 플라즈마 처리 시간에 따라 개선효과를 얻을 수 있지만, 70초 이후에는 표면에 결함을 야기하여 표면 및 광학적 특성의 저하를 보였다.

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