• 제목/요약/키워드: Standoff distance

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EUV pellicle의 standoff 거리에 따른 이미지 전사 특성 평가 (Evaluation on the Relationship between Mask Imaging Performance and Standoff Distance of EUV Pellicle)

  • 우동곤;홍성철;김정식;조한구;안진호
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제15권1호
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    • pp.22-26
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    • 2016
  • Extreme ultraviolet (EUV) pellicle is one of the most concerned research in the field of EUV lithography (EUVL). Imaging performance of EUV mask with pellicle should be investigated prior to high volume manufacturing (HVM) of EUVL. In this paper, we analyzed the relationship between standoff distance and imaging performance of EUV mask to verify the influences of relative standoff distance on imaging performance. As a result, standoff distance of EUV pellicle has no effect on imaging performance of EUV mask such as critical dimension (CD), normalized image log slope (NILS) and image contrast. Therefore, pellicle support structure can be flexibly designed and modified in diverse ways to complement the thermal limitation of EUV pellicle membrane.

미세입자 분사가공 시 분사높이 변화에 따른 육각형 가공형상 특성 (Hexagonal Shape Characteristics according to the Change in Standoff Distance during Fine Particle Blasting)

  • 이형태;이세한;왕덕현
    • 한국기계가공학회지
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    • 제20권9호
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    • pp.76-83
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    • 2021
  • This study examines the characteristics of spraying conditions based on the change in standoff distance during fine particle spraying while measuring the surface roughness, maximum depth, and maximum width of the sprayed surface. The processing shape of the sprayed surface is analyzed to understand the effects of injection pressure, nozzle diameter, standoff distance, processing shape, processing cycle, processing speed, and injection particles, which are the main factors of fine particle injection processing. Based on the derived characteristics, we attempt to determine the interrelationships of these major factors. The standoff distance is set as a variable factor and a spray machining experiment using a hexagonal shape (from among polygons) instead of square and circular shapes is conducted. Results reveal that research on the characteristics of spraying conditions could be expanded based on changes in the shapes of workpieces.

Nanosecond Gated Raman Spectroscopy for Standoff Detection of Hazardous Materials

  • Chung, Jin Hyuk;Cho, Soo Gyeong
    • Bulletin of the Korean Chemical Society
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    • 제35권12호
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    • pp.3547-3552
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    • 2014
  • Laser Raman spectroscopy is one of the most powerful technologies for standoff detection of hazardous materials including explosives. Supported by recent development of laser and sensitive ICCD camera, the technology can identify trace amount of unknown substances in a distance. Using this concept, we built a standoff detection system, in which nanosecond pulse laser and nanosecond gating ICCD technique were delicately devised to avoid the large background noise which suppressed weak Raman signals from the target sample. In standoff detection of explosives which have large kill radius, one of the most important technical issues is the detection distance from the target. Hence, we focused to increase the detection distance up to 54 m by careful optimization of optics and laser settings. The Raman spectra of hazardous materials observed at the distance of 54 m were fully identifiable. We succeeded to detect and identify eleven hazardous materials of liquid or solid particles, which were either explosives or chemical substances used frequently in chemical plants. We also performed experiments to establish the limit of detection (LOD) of HMX at 10 m, which was estimated to be 6 mg.

Magnetic Field Strength in the Upper Solar Corona Using White-light Shock Structures Surrounding Coronal Mass Ejections

  • 김록순;;문용재;조경석
    • 천문학회보
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    • 제37권2호
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    • pp.114.1-114.1
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    • 2012
  • To measure the magnetic field strength in the solar corona, we examined 10 fast (>1000 km/s) limb coronal mass ejections (CMEs) that show clear shock structures in Solar and Heliospheric Observatory/Large Angle and Spectrometric Coronagraph images. By applying the piston-shock relationship to the observed CME's standoff distance and electron density compression ratio, we estimated the Mach number, Alfven speed, and magnetic field strength in the height range 3-15 solar radii (Rs). The main results from this study are as follows: (1) the standoff distance observed in the solar corona is consistent with those from a magnetohydrodynamic model and near-Earth observations; (2) the Mach number as a shock strength is in the range 1.49-3.43 from the standoff distance ratio, but when we use the density compression ratio, the Mach number is in the range 1.47-1.90, implying that the measured density compression ratio is likely to be underestimated owing to observational limits; (3) the Alfven speed ranges from 259 to 982 km/s and the magnetic field strength is in the range 6-105 mG when the standoff distance is used; (4) if we multiply the density compression ratio by a factor of two, the Alfven speeds and the magnetic field strengths are consistent in both methods; and (5) the magnetic field strengths derived from the shock parameters are similar to those of empirical models and previous estimates.

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미소중력 환경내의 벽면 근방 확산 화염 특성에 관한 수치 해석 (Numerical Simulation on Characteristics of Laminar Diffusion Flame Placed Near Wall in Microgravity Environment)

  • 최재혁;후지타 오사무
    • Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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    • 제30권1호
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    • pp.140-149
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    • 2006
  • Characteristics of a laminar diffusion flame placed near wall in microgravity have been numerically analyzed in a two-dimension. The fuel for the flame is $C_2H_4$. The flame is initiated by imposing a high temperature ignition source. The flow field, temperature field, and flame shape in microgravity diffusion flame are detailed. Especially, effects of surrounding air velocity and fuel injection velocity on the microgravity diffusion flame have been discussed accounting for standoff distance. And, the effect of curvature rate has been also studied. The results showed that velocities in a diffusion flame were overshoot because of volumetric expansion and distribution of temperature showed regularity by free-buoyancy This means that the diffusion flame in microgravity is very stable, while the flame in normal gravity is not regular and unstable due to buoyancy. Standoff distance decreases with increase in surrounding air velocity and with decrease in fuel injection velocity. With increasing curvature rate, the position of reaction rate moves away the wall.

연마재 워터젯 변수가 암석제거에 미치는 영향 (Effect of abrasive waterjet parameters on rock removal)

  • 오태민;조계춘
    • 한국터널지하공간학회 논문집
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    • 제14권4호
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    • pp.421-435
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    • 2012
  • 연마재 워터젯을 이용하여 다양한 영향변수에 따라 암석시편에 굴착(제거)실험을 수행하였다. 현장암반굴착 가능성을 판단하기 위해 신선한 경암(화강암) 시편을 기준으로 수압, 노출시간, 그리고 이격거리에 따라 굴착성능 및 굴착형상을 분석하였다. 특히 이격거리는 현장에서 요구하는 높은 수준의 조건에서 실험을 실시였다. 추가적으로 암석에 따른 굴착성능을 비교하기 위해, 실제 굴착현장에서 획득한 암석시편을 대상으로 P파 속도를 측정하여 동일한 조건에서 워터젯 실험을 수행하였다. 획득된 실험결과로부터 워터젯 변수가 암반제거에 미치는 영향을 분석하였다.

방폭설계의 이해 및 일반하중에 대해 설계된 건축물의 방폭성능 평가 (Understanding of Blast Resistant Design and Performance Evaluation of a Building designed for Conventional Loads)

  • 홍종국
    • 한국구조물진단유지관리공학회 논문집
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    • 제22권4호
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    • pp.83-90
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    • 2018
  • 전 세계적으로 테러의 위협이 가중되고 일반 상업건축에 대한 방폭설계의 요구가 증가하고 있는 현실을 직시하여, 본 연구에서는 기본적인 방폭설계의 개념을 정립하고 실제 설계사례를 통하여 방폭성능을 평가하는데 목표를 두고 있다. 비록 지진하중과 폭파하중에는 많은 차이점이 있지만, 그 설계법은 구조물의 소성거동을 허용하고 연성을 갖도록 설계한다는 점에서 유사하다. 본 연구에서 제시된 대상 건물에 대한 방폭성능 평가를 통하여, 일반하중에 대하여 잘 설계된 건물은 어느 정도 수준의 방폭성능을 확보하는 것으로 나타났다. 그러나 구조물에 작용하는 폭파하중은 무기의 종류, 등가의 TNT량, 폭발점에서 목표물까지의 최단거리인 촛점거리 등에 따라 달라지기 때문에 일반화하기에는 무리가 있다. 희생구조물을 배치하거나 예상되는 폭발점에서 주요 구조부재까지의 촛점거리를 일정수준 이상으로 유지하는 건축 계획적인 노력은 건물의 방폭성능을 향상시킬 수 있는 쉽고 효과적인 방법이다.

상온진공 과립분사에 의한 지르코니아 필름의 코팅거동 (Coating behavior of zirconia film fabricated by granule spray in vacuum)

  • ;강영림;박운익;박동수;박찬
    • 한국결정성장학회지
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    • 제32권5호
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    • pp.205-211
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    • 2022
  • GSV (Granule Spray in Vacuum)는 상온의 진공하에서 나노 크기의 치밀한 세라믹 코팅층을 형성하는 방법이다. 일반적으로, 단사정의 지르코니아는 1150℃에서 정방정으로 변태하며, 이때 6.5 %의 체적변화를 일으켜 치밀한 단사정의 지르코니아를 만들기 어렵다. 본 연구에서는 코팅 효율에 대한 두 가지 처리 변수의 효과를 조사하는 데 중점을 두었다. 아울러, 특별한 가열과정 없이 형성된 필름의 미세구조에 관찰하였다. 샘플 기판에 증착된 지르코니아 필름에 대한 X-ray diffractometer (XRD) 분석은 단사정 지르코니아 필름이 성공적으로 증착되었음을 보여주었다.

지상 목표물 추적을 위한 다수 무인항공기의 협력제어 (Cooperative Control of Multiple Unmanned Aircraft for Standoff Tracking of a Moving Target)

  • 윤승호;김유단
    • 한국항공우주학회지
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    • 제39권2호
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    • pp.114-120
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    • 2011
  • 본 논문에서는 다수의 무인항공기가 저속으로 이동하는 지상 목표물을 추적하기 위한 협력제어 기법을 제안한다. 유도명령을 생성하기 위하여 르야프노프 안정성 이론을 이용한 벡터필드를 설계한다. 목표물과 일정한 거리를 유지하며 선회하기 위한 롤각 명령을 생성한다. 이와 동시에 목표물에 대한 항공기의 위상각을 조절하기 위한 속도 명령과 기수각 명령을 생성하고, 항공기 간 충돌방지를 고려한 기법을 제시한다. 다수의 무인항공기를 이용한 수치 시뮬레이션을 수행하여 제안된 제어기법의 성능을 검증하였다.

밀도검층 이격 보정을 위한 기준선과 이격선의 특성 연구 (A Study on Spine and Rib Properties for Standoff Compensation, Density Log)

  • 김영화;김종만
    • 지구물리와물리탐사
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    • 제15권4호
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    • pp.190-198
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    • 2012
  • 밀도가 알려진 4개의 모형시험공에서 이격실험을 하고 얻어진 비이격 및 이격 측정 자료를 분석함으로서 기준선과 이격선의 특성을 파악할 수 있었다. 특히 선원을 출발하여 검출기에 도달하기까지의 감마선 경로의 형태, 기준선과 이격선의 궤적 특성, 궤적에 미치는 밀도 및 검출기 조합의 영향을 추적할 수 있었으며 이격보정을 위한 최적의 검출기 조합까지 확인할 수 있었다. 기준선과 이격선의 기울기 모두 검출기 조합별 긴거리와 짧은거리 간의 선원-검출기 거리비에 비례하는 함수의 형태로 표시될 수 있음을 확인하였다. 이 연구는 기준선 및 이격선의 기울기에 대한 기본 개념 이해에도 효과적으로 적용되었다.