• 제목/요약/키워드: Stacking Faults

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0.15%C-6%Mn강의 잔류오스테나이트 생성에 미치는 역변태 열처리의 영향 (Effect of Reverse Transformation Treatment on the Formation of Retained Austenite in 01.5%C-6%Mn Steels)

  • 홍호;이오연;이규복
    • 열처리공학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.35-45
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    • 1998
  • The effects of alloying elements and the conditions of reverse transformation studied treatment on the formation of retained austenite in 0.15C-6%Mn-(Ti, Nb) steels has been studied. The addition of Ti and Nb to 0.15C-6%Mn steel shows no effect on the formation of retained austenite. In case of reverse transformation treatment at various temperatures, the shape of retained austenite was lath type, growing toward the longitudinal and thickness direction with increasing the heat treatment temperatures. The retained austenite formed by the reverse transformation treatment at higher temperature has a lot of stacking faults induced by the internal stress. The retained austenite was stabilized chemically by enrichment of C and Mn in the vicinity of a untransformed austenite and the chemical stability of retained austenite was decreased with increasing the heat treatment temperature and the holding time. It was effective to heat treat at $650^{\circ}C$ in order to obtain over 30vol.% of retained austenite, but more desirable to heat treat at $625^{\circ}C$ for a long time, considering the amount and quality of retained austenite.

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Bonded SOI wafer의 top Si과 buried oxide layer의 결함에 대한 연구 (Characteristic Study for Defect of Top Si and Buried Oxide Layer on the Bonded SOI Wafer)

  • 김석구;백운규;박재근
    • 한국재료학회지
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    • 제14권6호
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    • pp.413-419
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    • 2004
  • Recently, Silicon On Insulator (SOI) devices emerged to achieve better device characteristics such as higher operation speed, lower power consumption and latch-up immunity. Nevertheless, there are many detrimental defects in SOI wafers such as hydrofluoric-acid (HF)-defects, pinhole, islands, threading dislocations (TD), pyramid stacking faults (PSF), and surface roughness originating from quality of buried oxide film layer. Although the number of defects in SOI wafers has been greatly reduced over the past decade, the turn over of high-speed microprocessors using SOI wafers has been delayed because of unknown defects in SOI wafers. A new characterization method is proposed to investigate the crystalline quality, the buried oxide integrity and some electrical parameters of bonded SOI wafers. In this study, major surface defects in bonded SOI are reviewed using HF dipping, Secco etching, Cu-decoration followed by focused ion beam (FIB) and transmission electron microscope (TEM).

마스크 오정렬 및 결정 결함이 PN 접합 아이솔레이션의 항복 특성에 미치는 영향 (Effects of Mask Misalignment and Crystal Defects on the Breakdown characteristics in the PN Junction Isolation)

  • 조경익;백문철;송성해
    • 대한전자공학회논문지
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    • 제21권2호
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    • pp.47-53
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    • 1984
  • PN 접합 아이솔레이션의 항복 특성, 특히 소프트 항복 현상에 대해, 아이솔레이tus 마스크를 오정렬시킨 정도와 공정중 생성된 결함들의 영향을 고찰하였다. 그 결과, 아이솔레이션 마스크를 인위적으로 오정렬시킴으로써, 매입층과 아이솔레이션 사이의 간격을 변화시켰을 때, 이것은 항복 전압에만 영향을 줄 뿐 소프트 항복 현상과는 무관하였다. 소프트 항복 현상, 즉 항복 전압 이하에서 역방향 누설 전류가 크게 증가하는 것은 소자 제조 공정중 생성된 산화 적층 결함(OSF)에 의한 것으로 나타났다.

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대구경 규소 Czochralski 단결정 속의 결정 결함 규명 (Characterization of the grown - in defects in the large diameter silicon crystal grown by Czochralski method)

  • 이보영;김영관
    • 한국결정성장학회지
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    • 제6권1호
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    • pp.11-18
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    • 1996
  • Czochralski법으로 성장된 대구경(8인치 이상) 규소 단결정속에 폰재하는 결정 결 함을 규명하였다. Ring형 산화 적충 결함(Oxidation Induced Stacking Faults, 일명 OISF)의 발생 형태를 조사하였다. Minority life time을 mappmg하여 본 결과, rmg형 OISF의 폰재는 재료의 전기적 성질에 영향을 미칠 가능성이 높은 것으로 확인되었다. OISF의 핵 생성에 미치는 냉각 속도의 영향을 조사한 결과 homogeneous적 핵 생성 및 성장 현상을 확인할 수 있었다. 또한 COP(Crystal Originated Particle)의 주원인인 FPD(Flow Pattern Defects)의 발생은 용 체의 응고 속도에 크게 화우됨을 발견하였다. 이들 결함의 상반된 발생 현상의 제어를 위하여 는 인상 속도는 느리게, 또한 $950^{\circ}C$ 근처에서의 냉각속도는 빠르게 하는 것이 바람직한 것으로 결함 발생 제어 모델이 제시되었다.

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합금원소와 소성변형이 22Cr 마이크로 듀플렉스 스테인리스강의 미세조직에 미치는 영향 (Effect of Alloying Composition and Plastic Deformation on the Microstructure of 22Cr Micro-Duplex Stainless Steel)

  • 박준영;안용식
    • 대한금속재료학회지
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    • 제50권11호
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    • pp.793-800
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    • 2012
  • The effect of cold rolling on the microstructural evolution in 22Cr-0.2N micro-duplex stainless steel was investigated. The 22Cr-xNi-yMn-0.2N duplex stainless steel plates with various Ni and Mn contents were fabricated. The steels were vacuum induction melted and hot rolled, followed by annealing treatment at the temperature range of $1000-1100^{\circ}C$, in which both the austenite and ferrite phases were stable. The volume fraction of the ferrite phase depending on the alloy compositions of Ni and Mn increased with an increase in the annealing temperature. Grain growth in the ferrite phase occurred markedly after cold rolling followed by annealing, while fine recrystallised grains were still found in the austenite phase. A large number of martensite laths was found in the microstructure of cold rolled steels, which should be formed by strain-induced martensite from the austenite phase. The intersections of stacking faults were revealed by TEM observation. The volume fraction of the martensite phase increased with an increase of the reduction ratio by cold rolling.

Ag 필름/ Cu기판의 나노인덴테이션 거동 해석 (Nanoindentation behaviours of silver film/copper substrate)

  • 트란딘롱;김엄기;전성식
    • Composites Research
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    • 제22권3호
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    • pp.9-17
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    • 2009
  • 본 논문에서는 분자동력학 방법을 이용하여 Ag 필름/Cu기판에 대한 나노인덴테이션 특성을 파악하였다. 필름의 강성과 경도는 필름의 두께에 관계되어있으며, 임계범위 내에서, 그래인 크기가 증기하면 강성과 경도도 증가하는 것을 확인하였다. 5nm 두께 이하의 Ag필름/Cu기판의 강성과 경도는 벌크 Ag의 경우에 비해 낮은 값을 나타내었다. 특히 4nm 두께 이하의 Ag필름/Cu기판의 인덴테이션에 있어서, 전위 집적과 불일치 전위사이의 상호작용에 의해 계면상에서 꽃모양의 전위 루프가 발생 하였다. 이는 인덴테이션 하중과 변위 커브에서 하중이 저하되는 것과 관계있는 것으로 사료되고 있다.

탄성파 자료 고해상도 재처리를 통한 동해해역의 제4기 단층 및 천부 가스 인지 (Identification of Quaternary Faults and shallow gas pockets through high-resolution reprocessing in the East Sea, Korea)

  • 정미숙;김기영;허식;김한준
    • 지구물리
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    • 제2권1호
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    • pp.39-44
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    • 1999
  • 심부 지층구조 연구를 위해 획득된 다중채널 반사파 자료를 재처리하여 제4기 단층 및 해저면 부근 천연 가스층 탐지를 위한 고해상도 단면도를 작성하였다. 사용된 자료는 한국해양연구소에서 동해해역 퇴적분지 지각구조 연구를 목적으로 1994년부터 1997년까지 기록한 총 1900 km의 다중채널 반사파 자료 중 근거리 12채널 자료이다. 고해상도용 재처리과정은 자료복사 및 자료편집, 참진폭 회수, 공심점 분류, 초기 뮤트, 중합전 디컨볼루션, 대역필터, 중합, 고주파 통과필터, 중합후 디컨볼루션, 구조보정, 자동이득조절 등의 순서로 이루어지며, 이 중 예측 디컨볼루션, 고주파 통과필터, 짧은 창길이의 자동이득조절 적용 등이 해상도를 높이는데 가장 중요한 처리단계이다. 해저면 하부 약 1초 정도까지의 지층을 대상으로 처리된 중합 및 구조보정 단면상에는 총 200개 이상의 제4기 단층이 인지되며, 이들 대부분은 대륙사면과 울릉분지 경계부에 밀집되어 나타나지만 분지 내에도 상당수 존재한다. 이들 단층중 상당수는 기반암과 제3기 퇴적층에 발달된 단층의 재활성화와 화산활동을 포함한 지구조 운동에 의해 형성된 것으로 추정되며 동해가 구조적으로 다소 불안정된 상태에 놓여 있을 가능성을 지시한다. 또한 3개소 이상에서 발견된 천부 가스층의 존재는 시추나 해저 케이블 및 파이프라인 등 해양구조물 설치시 반드시 경계해야 할 위험 요소가 존재하고 있음을 보여준다. 이러한 천부 가스층의 발견은 최근 관심이 고조되고 있는 가스수화물의 근원 물질이 동해에 존재한다는 긍정적인 면이 있으나, 해저면에 평행한 반사면 등 가스수화물의 전형적인 탄성파 특징은 울릉분지 서부 대륙사면 및 중앙부의 재처리 단면상에서는 발견되지 않는다.

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RAMBE를 사용하여 Si 기판 위에 성장된 AIN 박막의 결정성 분석 (Microstructural ananalysis of AlN thin films on Si substrate grown by plasma assisted molecular beam epitaxy)

  • 홍성의;한기평;백문철;조경익;윤순길
    • 한국진공학회지
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    • 제10권1호
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    • pp.22-26
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    • 2001
  • Plasma assisted molecular beam epitaxy(PAMBE)를 사용하여 Si 기판위에 성장시킨 AlN 박막에 대하여 성장온도 및 기판의 방향성에 따른 박막의 결정성 변화를 분석하였다. Reflection high energy electron diffraction(RHEED) 패턴을 이용하여 성장 중의 결정성을 관찰하였고, 성장 후에는 X-ray diffraction(XRD), double crystal X-ray diffraction(DCXD), transmission electron microscopy/diffraction(TEM/TED)분석을 하였다. $850^{\circ}C$이상의 온도에서 Si(100)위에 성장된 AlN박막은 육방정계의 c축 방향으로 우선 배향되어 있음을 확인하였으며 Si(111)위에 성장된 AlN박막의 경우 AlN(0001)/Si(111), AlN(1100)/Si(110), AlN(1120)/Si(112)의 결정방위를 가지고 성장하였음을 확인하였다. 또한 Si(111) 기판 위에서는 전위와 적층결함 등 많은 결정결함에 의해 DCD패턴의 반치폭이 2$\theta$=$36.2^{\circ}$에서 약 3000arcsec에 이르는 등 결정성은 좋지 않았으나 AlN박막이 단결정으로 성장된 것으로 나타났다.

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SPE법을 통해 형성된 $Ge_xSi_{1-x}/Si$이종접합 화합물 반도체의 결정분석 (Structural properties of GeSi/Si heterojunction compound semiconductor films by using SPE)

  • 안병열;서정훈
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제4권3호
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    • pp.713-719
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    • 2000
  • 고체상 켜쌓기법(solid phase epitaxy)으로$Ge_xSi_{1-x}/Si$(111) 이종접합을 형성하기 위해 Si(111) 기판위에 먼저 Au를 1000A 증착하고 그 위에 Ge을 1000A 증착시켜 a-Ge/Au/Si(111)구조를 형성하고 이를 고진공 조건에서 이단계 열처리 하였다. 열처리 후 Auger 전자분광분석(AES), X-ray 회절(XRD), 고분해 투과전자현미경(HRTEM) 등을 통해 Au와 Ge의 거동과 형성된 $Ge_xSi_{1-x}$막의 특성을 열처리 조건에 따라 분석하였다. a-Ge/Au/Si(111)구조는 열처리에 의해 Au/GeSi/Si(111)의 구조로 변했으며 형성된$Ge_xSi_{1-x}/$((111)층은 Si(111) 기판의 면 방향과 잘 일치하였다. 그러나 $Ge_xSi_{1-x}/Si$((111)층 내부에 적층결함, 전이, 쌍정, planar defect 등이 주로 (111)면 방향으로 형성되어 있음을 알 수 있었다.

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Cd-free 태양전지를 위한 ZnS/CIGS 이종접합 특성 향상 연구 (Study of ZnS/CIGS Hetero-interface for Cd-free CIGS Solar Cells)

  • 신동협;김지혜;고영민;윤재호;안병태
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.106.1-106.1
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    • 2011
  • The Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) thin film solar cells have been achieved until almost 20% efficiency by NREL. These solar cells include chemically deposited CdS as buffer layer between CIGS absorber layer and ZnO window layer. Although CIGS solar cells with CdS buffer layer show excellent performance, the short wavelength response of CIGS solar cell is limited by narrow CdS band gap of about 2.42 eV. Taking into consideration the environmental aspect, the toxic Cd element should be replaced by a different material. Among Cd-free candidate materials, the CIGS thin film solar cells with ZnS buffer layer seem to be promising with 17.2%(module by showa shell K.K.), 18.6%(small area by NREL). However, ZnS/CIGS solar cells still show lower performance than CdS/CIGS solar cells. There are several reported reasons to reduce the efficiency of ZnS/CIGS solar cells. Nakada reported ZnS thin film had many defects such as stacking faults, pin-holes, so that crytallinity of ZnS thin film is poor, compared to CdS thin film. Additionally, it was known that the hetero-interface between ZnS and CIGS layer made unfavorable band alignment. The unfavorable band alignment hinders electron transport at the heteo-interface. In this study, we focused on growing defect-free ZnS thin film and for favorable band alignment of ZnS/CIGS, bandgap of ZnS and CIGS, valece band structure of ZnS/CIGS were modified. Finally, we verified the photovoltaic properties of ZnS/CIGS solar cells.

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