This paper investigated the characteristics of a newly developed high density hollow cathode plasma (HCP) system and its application for the etching of silicon wafers. We used SF$_{6}$ and $O_2$ gases in the HCP dry etch process. Silicon etch rate of $0.5\mu\textrm{m}$/min was achieved with $SF_6$$O_2$plasma conditions having a total gas pressure of 50mTorr, and RF power of 100 W. This paper presents surface etching characteristics on a crystalline silicon wafer and large area cast type multicrystlline silicon wafer. The results of this experiment can be used for various display systems such as thin film growth and etching for TFT-LCDs, emitter tip formations for FEDs, and bright plasma discharge for PDP applications.s.
The current-voltage modeling plays an important role in characterizing photovoltaic systems. A solar cell has a nonlinear characteristic with various parameters influenced by the external environments such as the irradiance and the temperature. In order to accurately predict current-voltage characteristics at low irradiance, the artificial neural networks are applied to effectively quantify nonlinear behaviors. In this paper, a multi-layer perceptron scheme that can make accurate predictions is employed to learn complex formulas for large amounts of continuous data. The simulated results of artificial neural networks model show the accuracy improvement by using MATLAB/Simulink.
The cycle performance of closed ocean thermal energy conversion (OTEC) system with 50 kW gross power was evaluated to obtain the basic data for the optimal design of OTEC using waste heat such as solar power, discharged heat from condenser of power plant. The basic thermodynamic model for OTEC is Rankine cycle, and the surface seawater and deep seawater were used for the heat source of evaporator and condenser, respectively. The cycle performance such as efficiency, heat exchanger capacity, etc. was analyzed on the variation of temperature increase by waste heat. The cycle efficiency increased and necessary capacity of evaporator and condenser decreased under 50kW gross power with respect to the temperature increase of working fluid. Also, when the temperature increase is about $13.5^{\circ}C$, the heat which can be used is generated. By generator with 0.9 effectiveness under the simulated condition, the cycle efficiency was improved approximately 3.0% comparing with the basic cycle.
In this paper, such as battery power or solar energy and fuel cells generated from Renewable energy sources, high voltage to low voltage DC-DC Converter for converting the design of the study. System consists of low voltage ($24{\sim}28$ [VDC]) and Boosts the voltage (270 [VDC]) for a 3 [kW] DC-DC converter and control circuit is configured as, Power switch the ST Tomson's Automotive low voltage high current MOSFET switches STE250NS10S (temperature 250A) was applied to the two parallel. Also, Controller's processor used ATMEGA128, and Gate Drive applies and composed Photo Coupler TLP250. development. Input voltage (24V) and output voltage (270V) for Conversion in the H-bridge converter topology of the circuit output side power and voltage to control the implementation of the Phase shift angle control applied. And, 3kW of power to pass appropriate specification of the secondary side as interpreted by the high frequency transformer, and the experimental production and analysis of the experiment
In this paper, we analyzed the present status of the safety manager and safety assurance aspects through a complex analysis on the operational aspects, marketability and electrical safety aspects of photovoltaic power generation facilities. In the analysis of the equipment status, we analyzed the status and operated status of the installed PV system in Korea and the correlation between the safety manager and the accident. In addition, we analyzed the direction of the ESS through the analysis of the installation status of the ESS, and applied it to the interpretation part of the ESS associated with the solar power generation. The status of the electric safety manager can be used to analyze the data for selecting the electric safety manager by capacity by analyzing the accident status, the electric safety manager operation status, the safety management time by capacity, and the electric safety manager market.
스트링 인버터의 정격전력이 낮은 단점을 보완하기 위하여 전력변환장치(PCS: Power Conditioning System)를 마이크로 인버터를 사용하여 기존 PCS와 비교하여 마이크로 인버터의 필요성과 향후의 발전 방향을 고찰하고자 한다. 현재 가정용 태양광발전 시스템에서는 스트링 인버터를 사용해 왔으며 유럽을 시작으로 스트링 인버터의 단점을 보완할 수 있는 마이크로 인버터(PV-MIC)의 연구 및 보급률이 확장 되고 있는 실정이다. 그러나 국내 태양광인버터 업계에서는 태양광발전용 마이크로 인버터(PV-MIC)에 대한 정확한 기술기준 및 시험 측정 장비 및 관련 시험방법 부재가 제품 개발에 걸림돌이 되고 있다. 따라서 본 논문에서는 마이크로 인버터(PV-MIC)의 특성을 고려하여 시험측정 장비 및 관련 기술기준 연구를 통해 선진기술 변화에 뒤쳐지지 않도록 경쟁력을 갖출 수 있는데 목적을 둔다.
자연에너지인 태양열을 동력원으로 하여 구동되는 물펌프는 물이 많이 필요한 여름철에 과 열원인 태양에너지가 강하므로 매우 이상적인 장치라 할 수 있다. 본 연구에서는 태양열 물펌프의 자동화운전을 실현하고자 작동물질의 압력변화를 감지하여 자동 운전되도록 하였으며, 이에 필요한 제어논리를 개발하고 회로론 구성하였다. 실험에서는 장치를 제작. 실험, 분석하였고 분석항목은 양수량과 효율, 압력, 온도를 분석하였다. 또한 자동화에 필수적인 응축기 진공을 위한 응축기의 최소 전열면적을 설계하였으며, 그 결과를 정리하면 다음과 같다. 1. 복사에너지를 동력으로 변환하여 물을 양수할 수 있었고, 자동화 제어회로에 의해 사이클을 반복할 수 있었다. 2 양수는 60분 동안에 13사이클을 수행하였으며, 사이클 당 소요시간은 약 4.9분이었다. 총 양수량은 69,200cc, 사이클 당 평균 5,320cc를 양수하였다. 이 과정동안 장치의 열효율은 $0.030\%$로 나타났다. 3. 실험과정에서 기액 분리탱크 내의 작동물질 증기의 온도는 물탱크로 증기를 배출하기 전후에 따라 약 $41\~49^{\circ}C$ 범위에 있었으며, 상당히 균일하게 변동하고 있었다. 물탱크와 공기탱크내의 온도는 약 $30^{\circ}C$ 정도 부근에서 유지되고 있었으며, 응축기 냉각수공급온도는 실험기간 중 $10\~13^{\circ}C$ 범위를 나타내었다. 응축기 출구온도는 $14\~17^{\circ}C$ 정도로서 응축기 냉각수의 입출구 온도차는 실험초기를 제외하면 약 $4^{\circ}C$ 전후로 나타났다 4. 기액 분리탱크 내의 압력은 자동화 프로그램 된 범위인 150$\~$450hPa(gauge)를 매우 정확하게 유지하였으며, 공기탱크내의 압력은 약 1200hPa로 나타났다. 응축기내의 압력은 약 600hPa로서 진공을 잘 유지함으로서 사이클을 반복하는데 문제가 없었다. 5. 한국의 전국 하루 평균 3.488kWh/($m^2{\cdot}day$)의 태양에너지를 기준으로 장치의 열효율이 $0.1\%$를 적용하고 전 양정을 10m로 보면 태양열복사 단위면적 $m^2$ 당 약 128kg의 물을 양수할 수 있을 것으로 예상된다.
Due to environmental issues such as global warming, the reduction of greenhouse gas emissions has become an inevitable measure to be taken. Among others, the building sector accounts for 50% of total carbon dioxide emissions, which is significantly high. Therefore, in order to reduce carbon dioxide emissions of the buildings, improving the energy efficiency by utilizing wind power among renewable energy sources is recommended. In case of buildings in the planning stage, it is possible to take the load of wind power generation systems into consideration when determining installed capacity. Already completed buildings, however, should be connected to small wind electric systems according to the live loads of the buildings based on the architectural design criteria. In order to connect to a building that has already been completed, it is necessary to consider the load of the small wind electric system as well as the live load of building. In addition, we need to generate the maximum electricity possible by determining the maximum installed capacity in a small area. In this paper, we propose the method for determining maximum capacity for building integrated small wind electric systems, which takes into account the considerations associated with connecting small wind electric systems to completed buildings. This can be developed into a system linked to solar power, which makes it possible to improve the energy independence of the building. In addition, carbon dioxide reduction by improving energy efficiency is expected.
This paper presents the configuration and characteristic analysis of the protection system to improve the safety of the building integrated photovoltaic(BIPV) system. BIPV is a solar power system installed in buildings. Since the BIPV system is installed in buildings, there is a high risk of electric shock and fire accidents. Therefore, in order to improve the safety of BIPV, a protective system is required to block or quickly detect risk factors. In this paper, as a protection system to improve the safety of the BIPV system, it is composed of a rapid shutdown (RSD) that can quickly separate the PV system to prevent fire and electric shock accidents and a system to detect Arc faults that cause PV system fires. RSD and Arc Fault Detector analyzed the operating characteristics according to each condition and confirmed that the safety of the BIPV system can be improved through this.
In this paper, the thermodynamic performance of OTEC cycle was examined. Computer simulation programs were developed for simple Rankine cycle, regenerative Rankine cycle, Kalina cycle, open cycle and hybrid cycle. For the simple Rankine cycle, the results show that newly developed fluids such as R410A and R32 that do not cause stratospheric ozone layer depletion perform as well as R22 and ammonia. Also, simple Rankine cycle OTEC power plant can practically generate electricity when the difference in warm and cold sea water inlet temperatures are greater than $14^{\circ}C$. The regenerative Rankine cycle showed a 1.5 to 2% increase in energy efficiency compared to the simple Rankine cycle while the Kalina cycle employing ammonia/water mixture showed a 2-to-3% increase in energy efficiency, and the overall cycle efficiencies of hybrid cycle and open cycle were 3.35% and 4.86%, respectively.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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