Measurement of a Six-degree-of-freedom Dynamic Characteristics using Angle Sensor-Implemented Grating Interferometry (회절격자 간섭계를 이용한 초정밀 스테이지의 6 자유도 운동 특성 측정)
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- Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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- v.29 no.8
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- pp.906-912
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- 2012