친수성 표면의 자가정렬 효과와 플라즈마를 이용한 MCP 용 저온 실리콘 Oxide 접합 방법 (Plasma Enhanced-Low Temperature Silicon Oxide Bonding with Self-Alignment Effect between Hydrophilic Surfaces for Multi-Chip Packaging)
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- 한국정밀공학회:학술대회논문집
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- 한국정밀공학회 2009년도 추계학술대회 논문집
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- pp.687-688
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- 2009