Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2009.10a
/
Pages.687-688
/
2009
/
2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Plasma Enhanced-Low Temperature Silicon Oxide Bonding with Self-Alignment Effect between Hydrophilic Surfaces for Multi-Chip Packaging

친수성 표면의 자가정렬 효과와 플라즈마를 이용한 MCP 용 저온 실리콘 Oxide 접합 방법

이재학 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
하태호 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
이창우 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
송준엽 (한국기계연구원 초정밀기계시스템연구실) ;
유중돈 (한국과학기술원 기계공학과)

Published : 2009.10.26

PDF

⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords