To investigate the possibility of ceria abrasive-added slurry for the oxide-chemical mechanical polishing (oxide-CMP) application, two kinds of retreated methods were introduced as follows: First, the characteristics of mixed abrasive slurry (MAS) using $CeO_2$ powder as an abrasive added within diluted silica slurry (DSS) were evaluated to achieve the improvement of removal rates and non-uniformity. Second, the control of pH level due to the dilution of slurry was examined. And then, we have discussed the CMP characteristics as a function of abrasive dispersion time.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
/
2006.06a
/
pp.49-50
/
2006
The studies on Cu CMP have focused on material removal and its mechanisms. Although many studies have been conducted on the mechanism of Cu CMP, a study on uniformity in Cu CMP is still unknown. Since the aim of CMP is global and local planarization, the approach to uniformity in Cu CMP is essential to elucidate the Cu CMP mechanism as well. The main purpose of the experiment reported here was to investigate the roles of slurry components in the formation of the uniformity in Cu CMP. All the results of in this study showed that the uniformity in Cu CMP could be controlled by the contents of slurry components.
Proceedings of the Membrane Society of Korea Conference
/
1998.10a
/
pp.156-158
/
1998
원자력 발전소에서 사용하는 1차 냉각수에 대해 살펴보면, 일차냉각수의 pH는 5~8 범위이며, 수질기준은 염소이온과 불소이온이 0.15 ppm, 현탁고형물 이 0.2 ppm이나 실제 농도는 기준치보다 훨씬 낮은 매우 순수한 상태로 유지된다. 다만, 핵분열 반응도를 제어하기 위해 주입되는 붕소가 수백 ppm정도, pH를 조절하기 위해 부가되는 리튬의 1 ppm정도 포함되며, 그밖에 1ppm 정도의 실리카가 포함될 수 있다. 붕산으로 포화 운전되는 이온교환 수지탑 내에서는 붕산보다 이온선택도가 낮은 실리카는 이온교환수지에 흡착되지 않기 때문에 발전소의 가동년수의 증가에 ㄷ아라 원자로 냉각제의 실리카 농도는 점차 증가하게 되었다.
The regeneration of wastc piddlng acid from ironmaking industry produces Iron oxides as by products which are used for pigments and raw matcrial of ferrite. Thc impurilies level of iron axides for ferrile arc strictly regalated. Filtrat~on, adsorption medw technique, Fe leaching and ncutralizaiion wcre tried in order to remove silica impurities in the wasb pickling acid solution.
Chmielewska, Dagmara;Siwek, Malgorzata;Wawszczak, Danuta;Henczka, Marek;Sartowska, Bozena;Starosta, Wojciech;Dudek, Jakub
Journal of Industrial and Engineering Chemistry
/
v.67
/
pp.407-416
/
2018
This study presents a novel complete solution starting with a synthesis of silica modified with potassium-nickel hexacyanoferrate and ethanolamine (SiEA-KNiFe) sorbent through radiocesium sorption in different process configurations and moving on to the vitrification of the spent sorbent, using the sol-gel method. The experimental data for deionized water solution, as well as seawater solution, correlates strongly with the Langmuir isotherm model. Moreover, the study also presents a method for spent sorbent solidification in the glass matrix. The cesium leaching test confirmed that spent sorbent can be stably bound in the glass matrix after radionuclide removal.
In this study, the photocatalytic reactor system equipped with photocatalyst-carrying-silica-media cartridges [photocatalytic reactor system (1)] was used to perform the treatment of waste air containing malodor and volatile organic compound (VOC). The result of its performance was evaluated and compared with that of the photocatalytic reactor system equipped with commercial photocatalyst-carrying-nonwoven filter-media cartridges [photocatalytic reactor system (2)]. In case of photocatalytic reactor system (1), at the 1st stage of run the removal efficiencies of ethanol and toluene continued to be 80% and 20%, respectively. However, unlike toluene, the removal efficiency of ethanol dropped to 40% at the end of the 1st stage of run. The removal efficiency of hydrogen sulfide decreased from 100% to 90%. At the 2nd stage of its run the removal efficiency of ethanol decreased to 10% while the removal efficiencies of hydrogen sulfide and toluene remained as same as 90% and 20%, respectively, even though the inlet load of toluene increased by factor of four. In the 3rd stage of its run, as the result of application of aluminium-coated reflector film to the inner wall of photocatalytic reactor system, the removal efficiencies of ethanol and toluene increased by 5% to be 15% and 25%, respectively. In case of photocatalytic reactor system (2), at the 1st stage of its run, the removal efficiencies of ethanol, hydrogen sulfide and toluene continued to be 10%, 97% and 100%, respectively. However, at 2nd stage of its run their removal efficiencies became 5%, 95% and 2~3%, respectively, which showed that the removal efficiencies of ethanol and hydrogen sulfide decreased insignificantly while the removal efficiency of toluene dropped significantly from the perfect elimination. Moreover, the reflector film did not affect the performance of photocatalytic reactor system (2) at all. Therefore the removal of ethanol, hydrogen sulfide and toluene by photocatalytic reactor system (2) was mainly attributed to hydrophobic adsorption of its nonwoven filter media and its extent of photocatalytic removal turned out to be negligible, compared to that of photocatalytic reactor system (1).
Park, Jong-Hwi;Yang, Woo-Sung;Jung, Jung-Young;Lee, Sang-Il;Park, Mi-Seon;Lee, Won-Jae;Kim, Jae-Yuk;Lee, Sang-Don;Kim, Ji-Hye
Journal of the Korean Ceramic Society
/
v.48
no.4
/
pp.312-315
/
2011
The effect of slurry composition and wafer flatness on a material removal rate (MRR) and resulting surface roughness which are evaluation parameters to determine the CMP characteristics of the on-axis 6H-SiC substrate were systematically investigated. 2-inch SiC wafers were fabricated from the ingot grown by a conventional physical vapor transport (PVT) method were used for this study. The SiC substrate after the CMP process using slurry added oxidizers into slurry consisted of KOH-based colloidal silica and nano-size diamond particle exhibited the significant MRR value and a fine surface without any surface damages. SiC wafers with high bow value after the CMP process exhibited large variation in surface roughness value compared to wafer with low bow value. The CMPprocessed SiC wafer having a low bow value of 1im was observed to result in the Root-mean-square height (RMS) value of 2.747 A and the mean height (Ra) value of 2.147 A.
Antioxidative activity of c비ture of Streptomyces sp. BH-405 was investigated. After removal of pellets of Streptomyces sp. B BH-405, antioxidative substances were is미ated and suc$\infty$sively purified from culture of Streptomyces sp. BH-405 by by thin | layer chromatography $\pi$LC) or silica gel column chromatography. The fraction 3 obtained from ethylether fractionation of the C culture appeared highest level of anti oxidative activity as determined by thiocyanate method. Band 2 obtained by further P purification of this fraction showed higher anti oxidation level than that of same concentration of dl- $\alpha$ -tocopherol, butylated h hydroxy anisole (BHA). The band 2 showed higher rate of 1, 1.diphenyl 2-picrylhydrazyl (DPPH) decolorization than dl-$\alpha$-tocopherol. In the rat liver microsomes, band 2 rapidly inhibited lipid peroxidation which was initiated enzymatically by r reduced nicotinamide adenine dinucleotide phosphate (NADPH) or non-enzymatically by Fenton’s reagent. Band 2 inhibited on | lipid peroxidation of mitochondria or the linoleic acid hydro peroxide induced peroxidation system. It is concluded that band 2 obtained by fractionation of Streptomyces sp. BH-405 cultivation contained antioxidants with the capacity to inhibit oxidative m modification.
Journal of the Korea institute for structural maintenance and inspection
/
v.22
no.5
/
pp.47-54
/
2018
Concrete undergoes various deterioration on surface. Impregnant with silicate is usually applied to concrete surface and forms insoluble hydrates, which can provide many engineering advantages. In the work, concrete impregnated with colloidal silicate is used for durability enhancement in surface and self-clearing performance is evaluated with photocatalyst-$TiO_2$ spraying. For the work, various tests are performed both for strength evaluation and durability evaluation such as absorption ratio, drying shrinkage, chloride penetration, sulfate resistance, and freezing/ thawing action. Furthermore, removal and self-clearing performance are evaluated with Acetaldehyde decomposition and Methylene blue decolorization. Through silicate impregnation and photocatalyst spraying, the impregnated concrete can have not only durability enhance but also self-clearing performance.
In a study of the optimum operational condition for a melting decontamination, the effects of the basicity, slag type and slag composition on the distribution of depleted uranium were investigated for radioactively contaminated metallic wastes of iron-based metals such as stainless steel (SUS 304L) in a direct current graphite arc furnace. Most of the depleted uranium was easily moved into the slag from the radioactive metal waste. The partitioning ratio of the depleted uranium was influenced by the amount of added slag former and the slag basicity. The composition of the slag former used to capture contaminants such as depleted uranium during the melt decontamination process generally consists of silica ($SiO_2$), calcium oxide (CaO) and aluminum oxide ($Al_2O_3$). Furthermore, calcium fluoride ($CaF_2$), magnesium oxide (MgO), and ferric oxide ($Fe_2O_3$) were added to increase the slag fluidity and oxidative potential. The partitioning ratio of the depleted uranium was increased as the amount of slag former was increased. Up to 97% of the depleted uranium was captured between the ingot phase and the slag phase. The partitioning ratio of the uranium was considerably dependent on the basicity and composition of the slag. The optimum condition for the removal of the depleted uranium was a basicity level of about 1.5. The partitioning ratio of uranium was high, exceeding $5.5{\times}10^3$. The slag formers containing calcium fluoride ($CaF_2$) and a high amount of silica proved to be more effective for a melt decontamination of stainless steel wastes contaminated with depleted uranium.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.