• 한국진공학회지
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• 제13권2호
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• pp.72-78
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• 2004

TaN막 위에 magnetron sputtering으로 증착 시킨 Cu seed 막을 Cu 전해도금을 하기에 앞서 ECR plasma 장치로 전처리 세정하였다. 이때 Cu 막을 200∼$500^{\circ}C$로 변화시키면서 알곤 또는 질소 분위기에서 RTA(rapid themal annealing) 방법으로 열처리하였다. Cu seed 막 위에 전해도금법으로 형성한 Cu 막을 열처리했을 때 미세구조와 물리적 특성변화를 XRD(x-ray diffraction), EBSD(electron back-scattered diffraction), AFM(atomic force microscopy) 분석을 이용하여 조사하였다. $400^{\circ}C$보다 높은 온도에서 재결정이 일어났으며, 열처리 온도를 증가함에 따라 Cu막의 비저항이 감소하고 (111) 우선배향성이 증가하는 경향을 나타냈다. 최소의 비저항과 부드러운 표면 및 (111) 배향성이 뛰어난 Cu막을 얻기 위한 최적의 열처리 조건은 $400^{\circ}C$의 질소분위기에서 120초간 RTA처리를 하는 것으로 판단된다. 이 조건하에서 전해도금된 Cu막의 비저항(resistivity)과 표면 거칠기(surface roughness)는 각각 1.98$\mu$O-cm 및 17.77nm였다.

• 천문학회보
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• 제36권1호
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• pp.88.2-88.2
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• 2011

The far-ultraviolet (FUV) continuum and spectral images of C IV and H2 emission lines for the region of Orion-Eridanus Superbubble (OES) are hereby presented and compared with the maps obtained in other wavelengths. While the region shows complex structures, consisting of hot gases and cold dust, a close examination reveals that the FUV emission in this region can be understood reasonably as the result of their interactions. We confirm the origin of most diffuse FUV continuum to be starlight scattered by dust, but we also find that the ionized gas also contributes 50-70% of the total FUV intensity in the regions of H_alpha arcs. We note the bright diffuse FUV continuum in the eastern part of the northern dust-rich region, and attribute it to the bright early-type stars more abundant in this region than in the west as the amount of dust itself does not seem to be much different across 'arc A' that separates the two regions. In addition, two P Cygni-type stars are identified in this eastern region and their peculiar spectral profiles around the C IV emission line are anifested in the scattered diffuse spectrum. Besides this, the C IV emission is generally enhanced at the boundaries of the hot X-ray cavities where thin dust regions are located, confirming the thermal interface nature of the origin of this cooling emission line. The morphology of the H2 emission shows a general correlation with dust extinction features but its intensity peaks are rather located in thin dust areas, off the peak dust regions. Furthermore, H2 emission is seen to be weak in the arc A region though the arc passes through the center of the dust-rich area. Hence, the H2 emission and dust features, together with those of X-ray and ion lines emissions, show stratified structure of arc A quite well, again confirming its thermal interface nature.

• 대한전자공학회논문지SP
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• 제48권3호
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• pp.30-41
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• 2011

산란선을 흡수하여 보다 선명한 x선 영상을 얻기 위하여 산란방지 그리드를 사용하여 투사영상을 얻는데, 이때 그리드로 인한 왜곡이 발생한다. 본 논문에서는 회전된 그리드를 사용하여 그리드 왜곡의 제거가 용이하도록 x선 디지털 영상을 얻는 방법에 있어서 기존의 왜곡 성분의 중심주파수를 가장자리로 보내는 경우를 보다 심도 있게 분석하여 확장된 결과를 도출하였으며, min-max 개념에서 주어진 그리드 밀도에 대하여 최적화하는 방법을 제시하였다. 또한 실질적으로 사용가능한 그리드 밀도에 대하여 적절한 그리드 각도를 제시하고 그러한 그리드를 사용하여 획득한 x선 디지털 영상에서 그리드 왜곡이 용이한 알고리듬을 제안하고 그 성능을 비교해보았는데, 원영상의 해상도를 어느 정도 유지하면서 그리드 왜곡을 줄일 수 있었다.

• 대한화학회지
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• 제35권5호
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• pp.539-544
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• 1991

X-ray Compton 산란선의 강도를 측정하여 내지문처리재(Anti-fingerprint Steel)의 표면에 Coating 되어 있는 Silicone resin film의 두께를 신속하게 측정할 수 있는 새로운 분석방법을 연구하였다. Silicone resin과 같은 유기수지들은 C, H, O, Si 등과 같은 경원소들로 구성되어 있어 compton 산란선의 강도가 높게 나타나는데 이러한 성질을 이용, X-ray tube로부터 발생된 RhK$_{\alpha}$ 선을 시료표면에 조사한 후 발생된 RhK$_{\alpha}$ compton 산란선의 강도를 측정하여 silicone resin film의 두께를 구하였다. 검량곡선 작성결과 0.2 ~ 5.0 ${mu}$m 범위에서 직선성을 나타냈으며 두께측정에 대한 정확도는 0.22 ${mu}$m 이었다.

• 한국방사선학회논문지
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• 제9권1호
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• pp.17-21
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• 2015

최근 고령화 사회에 접어들고 있는 의료현장에서 치아건강에 대한 관심이 커지면서 진단을 위한 치아 방사선 검사의 횟수가 증가하고 있다. 이는 국민 전체의 방사선피폭량 또한 증가하고 있다고 볼 수 있다. 또한 치과방사선에 대한 국민들의 방사선 피폭에 대한 관심도 증가하고 있어 치과 파노라마 촬영장치에 대한 기본 데이터 확보와 이에 대한 조사 및 선량의 측정이 필요하다. 본 연구에서는 ALOKA PDM-117 선량계를 이용하여 치과파노라마장치(VATEC Pax-400)에서 발생되는 2차원적인 선량분포도를 측정하고 그 분포에 대한 평가를 환자의 방사선피폭 차원에서 확인하였다. 치과파노라마장치의 선량분포는 치아부분 이외에도 턱과 안면부위에서 높았으며 산란선의 영향까지 고려한다면 방사선에 민감한 수정체에까지 불필요한 방사선의 피폭됨을 알 수 있었다. 본 연구 결과는 다양한 크기의 검사체와 선량 측정위치에서 보다 정확한 선량평가를 하는데 매우 유용하게 이용될 것으로 사료된다.

• 천문학회지
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• 제33권3호
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• pp.165-172
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• 2000

A baffle system for an airglow photometer, which will be on board the Korea Sounding Rocket-III(KSR-III), has been designed to suppress strong solar scattered lights from the atmosphere below the earth limb. Basic principles for designing a baffle system, such as determination of baffle dimensions, arrangement of vanes inside a baffle tube, and coating of surfaces, have been reviewed from the literature. By considering the constraints of the payload size of the KSR-III and the incident angle of solar light scattered from the earth limb, we first determined dimensions of a two-stage baffle tube for the airglow photometer. We then calculated positions and heights of vanes to prohibit diffusely reflected lights inside the baffle tube from entering into the photometer. In order to evaluate performance of the designed baffle system, we have developed a ray tracing program using a Monte Carlo method. The program computed attenuation factors of the baffle system on the order of $10^{-6}$ for angles larger than $10^{\circ}$, which satisfies the requirements of the KSR-III airglow experiment. We have also measured the attenuation factors for an engineering model of the baffle system with a simple collimating beam apparatus, and confirmed the attenuation factors up to about $10^{-4}$. Limitation of the apparatus does not allow to make more accurate measurements of the attenuation factors.

• 한국방사선학회논문지
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• 제11권7호
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• pp.663-669
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• 2017

진단목적의 방사선 의료 영상의 활용의 증가에 따라 환자의 피폭 선량 증가와 의료영상의 진단적 가치 저하에 기여하는 산란선의 관리 및 저감을 위한 연구는 필수적이라 할 수 있다. 이에 본 연구에서는 관전압 증가에 따른 산란선의 증감이 영상 화질에 미치는 영향을 분석하였다. 이를 위해 ANSI 흉부 팬텀을 이용하여, 관전압 변화에 따른 산란선 발생 비율을 측정하고, 산란선의 발생에 따른 화질 영향을 RMS(Root Mean Square) 입상성 평가, RSD(Relative Standard Deviation) 및 NPS(Noise Power Spectrum) 분석을 통해 고찰하였다. 관전압 증가에 따른 산란선 발생비율은 73 kV 관전압에서 48.8%, 93 kV 관전압 인가시 80.1%로 점차 증가하는 것으로 확인되었다. 관전압 증가에 따른 산란선 증가의 화질 영향을 분석하기 위한 RMS 분석 결과, 관전압 증가에 따른 RMS 값이 증가하는 것으로 나타나 영상의 입상성이 떨어지는 결과로 도출되었다. 공간주파수 2.5 lp/mm에서의 NPS 값 또한 관전압 73 kV 인가에 비해 93kV 관전압 증가시 20% 정도 영상의 잡음이 증가하는 것으로 나타났다. 본 연구를 통하여 관전압 변화에 따른 산란선 발생이 화질에 미치는 영향을 확인할 수 있었으며, 이러한 연구 결과는 의료영상 품질 개선을 위한 연구의 기초 자료로서 활용 가능할 것으로 판단된다.

• 한국방사선학회논문지
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• 제14권4호
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• pp.367-373
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• 2020

물체와 X선의 상호작용로 발생하는 산란선으로 야기되는 공간 산란선량은 대부분이 저에너지 영역의 전자기파로 인체에 비교적 쉽게 흡수되어 방사선 피폭정도가 증가하게 된다. 이러한 공간 산란 선량은 방사선작업 종사자 및 환자의 방사선 피폭 정도 지표로도 사용되고 있으며 간접적으로 발생하는 공간 산란 선량을 줄여 피폭을 저감화하기 위한 방안의 필요성이 마련될 필요성이 있다. 이에 본 연구에서는 공간산란 선량을 저감화 방안으로 무납 방사선 차폐 시트를 제시하였고 가슴 X선 촬영검사를 기준으로 몬테카를로(MC; Monte Carlo) 시뮬레이션을 수행하여 거리 변화에 따른 갑상샘과 생식선 위치에서 흡수되는 산란선의 흡수선량을 산출하였고 실측치와 차폐율을 비교 평가하였다.

• 보존과학회지
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• 제34권6호
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• pp.539-548
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• 2018

본 연구는 문화재 방사선 조사에서 고려하지 않았던 산란 방사선의 영향을 확인하기 위해 관전압 (kVp)과 필름-바닥 거리(film-floor-distance: FFD) 납스크린 배치를 달리하여 평가하였다. 연구결과, 실험시편의 투과농도와 산란 방사선의 투과 농도는 관전압에 따라 증가되었다. 실험시편의 투과농도는 평균 1.4 D의 편차를 보이며, 60 kVp에서 0.17 D, 160 kVp에서 1.54 D, 220 kVp에서 2.97 D로 확인되었다. 산란 방사선의 평균 투과농도는 60 kVp에서 0.10 D, 160 kVp에서 0.40 D, 220 kVp에서 0.46 D로 확인되었다. FFD 거리가 바닥면과 멀어질수록 관전압(60 kVp-160 kVp)구간의 경우 투과농도 (D)가 커지는 경향을 보였으나, 고전압(160 kVp-220 kVp)구간은 FFD 거리 증가에 따른 투과농도 변화가 확인되지 않았다. 납스크린 없는 조건과 바닥면(floor)을 납스크린으로 대체한 경우는 FFD 50 mm, 100 mm, 200 mm 거리에서 산란 방사선이 확인되었고, FFD 0 mm 거리는 확인되지 않았다. 식별률은 관전압 160 kVp에서 FFD에 따라 2.08~2.67% 범위이며, 관전압 220 kVp에서는 2.67~3.33% 범위로 측정되었다.

• 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
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• 제37권3호
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• pp.195-201
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• 2014

본 연구에서는 구내 촬영시 방사선작업종사자와 X선관 사이 거리의 증가에 따라 방사선작업종사자의 안면부 피폭선량 감소의 변화를 측정하고자 하였다. 우선 인체조직과 유사한 안면부 Phantom을 제작하였다. 구내 촬영 장치를 이용하여 촬영조건을 성인 상악 대구치부 노출조건 (60kVp, 10mA. 50msec)과 소아 상악 대구치부 노출조건 (60kVp, 10mA, 20msec)으로 설정 하고 방사선작업종사의 안면부의 위치에 Chamber를 고정시켰다. X선 관구와 Phantom을 Chamber로 부터 10cm, 15cm, 20cm, 25cm, 30cm, 35cm, 40cm 위치시킨 후 각 검사조건으로 Phantom을 20회 조사한 후 평균 산란선량을 측정 하였다. 연구 결과 성인 조건으로 조사한 후 감소율은 10cm에서 조사한 산란선량을 기준으로 하였을 때 40cm 에서는 감소율이 7.43%로 약 92.6%가 감소가 되었다. 또한 소아 조건으로 조사한 후 감소율은 10 cm에서 조사한 산란선량을 기준으로 하였을 때 40 cm 에서는 감소율이 2.58 %로 약 97.6%가 감소가 되었다. 결론적으로 치과 방사선 검사 시 방사선 피폭에 대한 방호가 필요할 것으로 사료된다.