$Si/Al_2O_3/Si$ 형태의 SOI(SOS) LIGBT 구조에서의 열전도 특성 분석
(The thermal conductivity analysis of the SOI LIGBT structure using $Al_2O_3$ )
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2003년도 추계학술대회 논문집 Vol.16
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- pp.163-166
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- 2003