• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
• /
• pp.215-215
• /
• 2010

평판디스플레이 산업의 성장에 따른 ITO 타겟의 수요가 급증하고 있는 것에 반해 고가의 인듐자원은 그 매장량이 매우 적어 고갈 위기에 처해 있다. 따라서 인듐을 절감하는 투명전극 연구가 활발히 진행되어 오고 있다. 본 연구에서는 IZTO($In_2O_3$:ZnO:$SnO_2$=80:10:10 wt.%)의 In량을 절감한 조성의 타겟을 제조하였다. 그리고 유리기판 위에 IZTO 박막을 펄스 DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 기판의 온도를 변화시키며 증착하였다. 기판 온도의 변화는 플렉시블디스플레이 소자에 응용이 가능한 $RT{\sim}200^{\circ}C$ 범위에서 제어하였으며, 증착한 박막은 전기적, 광학적 및 구조적 특성 등을 조사하였다. 유리기판 위에 성장된 IZTO 박막은 기판의 온도가 증가함에 따라 전기적 특성이 향상되었지만 $200^{\circ}C$ 이상에서 결정화가 되어 전기적 특성이 급격히 떨어지는 것을 알 수 있었다. 기판 온도 $150^{\circ}C$에서 비저항은 $3.87{\times}10^{-4}\;({\Omega}{\cdot}cm)$로 가장 낮게 나타났고, 이동도는 $42.11(cm^{-2}/Vs)$, 캐리어 농도는 $3.82{\times}10^{20}(cm^{-3})$를 나타내어 가장 우수한 전기적 특성을 보였다. 박막의 투과율을 측정한 결과 평균 85% (400nm~800nm)이상의 우수한 광학적 특성을 보였다. 또한 이 IZTO 박막을 이용하여 OLED 소자를 제작하여 그 특성을 조사하였다. 조사 결과 IZTO 박막은 인듐 절감효과와 $150^{\circ}C$ 미만의 공정온도 확보로 플렉시블 디스플레이에 적용이 가능한 투명전극 물질로 가능성을 보여주었다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2013년도 제45회 하계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.211.2-211.2
• /
• 2013

ITO (indium tin oxide)는 스마트폰을 비롯한 여러전자제품의 터치패널 투명전극으로 가장 많이 쓰이고 있는 물질이다. 산화 인듐(In2O3)과 산화 주석(SnO2)의 화합물로 우수한 전기적 특성과 광학적 특성을 지녀 태양전지 분야에서도 그 활용가능성이 높다. 또한 최근 고효율 태양전지인 HIT (heterojunction with intrinsic thin layer) solar cell의 경우 Si 기판의 두께가 얇고, 소자의 양면에서 태양광을 흡수하여 효율을 증가 시키데, 특히 투명 전극의 물리적 특성들과 계면의 트랩의 상태가 효율에 영향을 미친다. 본 연구에서는 HIT Si 기판의 태양전지 구조에 전극으로 쓰일 ITO 박막을 sputtering 방법으로 증착하여 물리적 특성을 연구하였다. ITO 타겟을 활용한 radio frequency magnetron sputtering 방법으로 Si 기판에 ITO 박막을 증착하였다. 50W의 방전전력과 Ar 10 sccm 분위기에서 성장시킨 ITO 박막을 Transmission Electron Microscope 로 측정하였다. X-ray Diffraction 측정으로 ITO 결정의 방향성을 확인하고 Photoluminescence 측정으로 성장된 ITO 박막의 밴드갭 에너지를 확인하였다. $100^{\circ}C$, $200^{\circ}C$, $300^{\circ}C$, $400^{\circ}C$에서 후열처리한박막의 광 투과율, 비저항, 이동도를 측정 비교하여 적절한 후열처리 온도를 찾는 연구를 진행하였다. Sputtering 방법으로 성장시킨 ITO 박막의 전기적, 광학적 특성을 측정하여 HIT solar cell에 활용될 가능성을 확인하였다.

• Bulletin of the Korean Chemical Society
• /
• 제22권7호
• /
• pp.709-715
• /
• 2001

We have been studied photosensitization mechanism's additive effect, of perylene 3,4,9,10-tetracarboxyl-diimide and X-phthalocyanine (charge generation materials), using the photochemical and photoelectrochemical approach. It was found that the photoreceptor on the excited state reacts with metal oxide, which creates the charge transfer on the interface of SnO2/electrolyte. In the electrode (X5P1) made of five X-phthalocyanine and single perylene 3,4,9,10-tetracarboxyldiimide layers, the cathodic photocurrent of X-phthalocyanine in the 400-600 nm region was increased by the addition of perylene 3,4,9,10-tetracarboxyldiimide. The maximum wavelength of fluorescence of perylene 3,4,9,10-tetracarboxyldiimide showed no dependence on the temperature. The addition of 4-dibenzylamino-2-methylbenzaldehyde diphenylhydrazone known as charge transport material was represented as decreasing photocurrent for X-phthalocyanine and perylene 3,4,9,10-tetracarboxyldiimide, respectively. In the electrode (X1P1) made of single X-phthalocyanine and single perylene 3,4,9,10-tetracarboxyldiimide layers, an anodic photocurrent of about 10.5 nA was generated by addition of hydroquinone at 550 nm. And the characteristic of photoinduced discharge was shown to decrease by a factor of 5 and the speed of dark decay was increased by a factor of 1.2.

• 한국광학회지
• /
• 제14권3호
• /
• pp.343-348
• /
• 2003

자체 제작한 고밀도(이론 밀도의 99%) ITO(I $n_2$ $O_3$:Sn $O_2$=90 wt%) 타깃과 직류 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 산소분압 $P_{o_{2}}$ (0 $P_{o_{2}}$ $\leq$$10^{-5}$ torr)와 성장 온도 Ts(10$0^{\circ}C$ $T_{s}$$\leq$35$0^{\circ}C$)를 변화시키면서 ITO 박막을 제작하고 전기적, 광학적 특성을 조사하였다. ITO박막의 비저항은 제작 온도가 증가함에 따라 감소하다가 $T_{s}$=30$0^{\circ}C$일 때 최저 비저항값 0.30 mΩ.cm를 나타내었고 $T_{s}$>30$0^{\circ}C$ 이상에서는 약간 증가하였다. $T_{s}$=30$0^{\circ}C$에서 제작한 ITO 박막의 최대 전하 농도는 6.6$\times$$10^{20}$ /㎤이었다. $T_{s}$를 고정하고 ITO 박막 제작 시 사용한 산소분압이 증가함에 따라 전하농도, 전하유동도는 급격하게 감소하여 비저항이 크게 증가하는 것으로 나타났다 ITO박막의 최저 비저항과 최대 전하 유동도는 각각 0.3 mΩ.cm와 39.3 $\textrm{cm}^2$/V.s였다. 또한 가시광 영역 (400~700 nm)에서 ITO박막의 광투과도는 80~90%로 높게 나타났다.나타났다.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
• /
• 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
• /
• pp.313-313
• /
• 2009

OLED 소자는 직접발광, 광시야각, 그리고 빠른 응답속도 때문에 동영상에 적합하여 최근 각광받고 있는 디스플레이장치 중의 하나이다. OLED 소자의 양극재료로는 높은 광투과율과 $\sim10^{-4}{\Omega}\;cm$ 수준의 낮은 전기 비저항을 갖는 ITO (Sn-doped $In_2O_3$)가 널리 사용되고 있다. 하지만 원료 물질인 인듐의 수급량 부족으로 인한 문제점과 독성, 저온증착의 어려움, 스퍼터링시 음이온 충격에 의한 막 손상으로 저항의 증가의 문제점이 있고, 또한 액정디스플레이의 투명전극으로 사용될 경우 $400\;^{\circ}C$정도의 높은 온도와 수소 플라즈마 분위기에서 장시간 노출 시 열화로 인한 광학적 특성변화가 문제가 된다. 반면에 Al이 도핑 된 ZnO (AZO)박막은 넓은 밴드갭 (3.37eV)와 400nm에서 700nm 사이의 가시광 영역에서 80% 이상의 우수한 투과성을 지니고 있다. 특히 Al이 도핑된 ZnO는 박막의 전기적 특성이 크게 향상되어 디스플레이나 태양전지로의 응용이 가능하다. 또한 비교적 낮은 비용과 플라즈마에서의 안정성, 무독성, 그리고 전기전도성과 같은 많은 이점이 있다. 그 결과 AZO 박막은 ITO기판을 대안하는 지원물질로 활발히 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 TCO 박막의 면 저항과 표면 거칠기에 따른 OLED 소자의 특성을 분석하였다. ITO와 AZO 박막은 챔버 내 다양한 가스 분위기(Ar, Ar+$O_2$ and Ar+$H_2$)에서 R.F Magnetron Sputtering방법으로 증착하였다. TCO 박막의 구조적인 이해를 돕기 위해서 X-ray diffraction 과 FESEM으로 분석하였다. 광학적 투과도와 박막의 두께는 ultraviolet spectrophotometer (Varian, cary-500)와 surface profile measurement system으로 각각 측정하였다. 면저항 charge carrier 농도, 그리고 TCO 박막의 이동도와 같은 전기적특성은 four-point probe와 hall effect measurement(HMS-3000)로 각각 측정하였다. TCO 박막의 표면 거칠기 조절을 위해 photo lithography 공정을 사용하여 TCO 박막을 화학에칭 하였다. 미세사이즈 패턴 마스크가 사용되었으며 에칭의 깊이는 에칭시간에 따라 조절하였다. TCO 박막의 표면 형태는 FESEM과 AFM으로 관찰하였다. 투명전극으로 사용되는 ITO 및 AZO 기판 상용화를 위해 ITO 및 AZO 기판 위에 ${\alpha}$-NPB, Alq3, LiF, Al 의 순서로 증착 및 패터닝함으로써 OLED 소자를 제작하였다. 전류밀도와 전압 그리고 발광휘도와 전압과 같은 전기적 특성은 spectrometer(minolta CS-1000A)를 이용하여 측정하였다.

• 한국산학기술학회논문지
• /
• 제18권7호
• /
• pp.92-101
• /
• 2017

소셜 네트워크 사이트는 전자상거래에서 사용자 그룹의 특성을 이용하며, 사이트를 기반으로 사용자에게 더 많은 가치를 창출할 수 있다. 그러므로 본 연구는 중국에서 회원 수가 가장 많은 소셜 네트워크 사이트인 웨이보(Weibo) 사용자를 대상으로 한다. 중국 소셜 네트워크 서비스(SNS; Social Network Service)의 발전 현황을 통해 소비자 구매의도에 영향을 미치는 SNS 정보요인을 도출해 보고자 한다. 본 연구는 댓글 수, 소비자 관여도, 소비자 소구방식 정도가 각각 소비자 구매의도에 유의한 차이가 있는지와 댓글수와 소구 방식이 서로 교호 작용하는 바탕에서 소비자 구매의도에 차이가 있는지에 대해 연구했다. 이를 위해 SNS를 이용하는 사용자를 대상으로 온라인 설문조사를 통해 400명의 샘플을 확보하였다. 응답자들에 대해 SPSS21 통계패키지를 이용하여 신뢰성 분석, 타당성 분석, 그리고 독립표본 t-검정, 이원배치 분산분석을 수행했다. 연구결과, 댓글 수 정도와 이성적인 소구방식은 소비자 구매의도에 대해서 유의한 차이가 있었다. 소비자들은 구매 관여도의 조절에 따라 댓글 수 정도가 구매의도에 차이가 있음을 보여 주었고, 정보 소구방식은 차이가 없다는 것을 발견했다.

• 한국조리학회지
• /
• 제22권2호
• /
• pp.252-269
• /
• 2016

본 연구는 대형할인점내 푸드코트 방문고객을 대상으로 푸드코트의 서비스 품질이 고객 만족 및 재방문의도에 어떠한 영향을 미치는 지를 살펴보고, 실제적인 고객만족과 재방문을 높일 수 있는 마케팅적 전략을 제시하고자 하였다. 총 400부의 설문지를 배포하여 350부가 분석에 이용되었고, SPSS 21.0 프로그램을 이용하여 기술통계, 요인분석, 신뢰도분석, 회귀분석을 실시하였다. 먼저 조사대상자의 대형할인점 푸드코트 이용행태를 살펴보면, 푸드코트 이용횟수는 월 2회 이상 이용이 70.4%나 되었고, 푸드코트의 개선사항으로는 할인혜택과 정보에 대한 개선을 요구하는 사람이 20.9%로 가장 많았다. 둘째, 대형할인점내 푸드코트 서비스 품질중 유형성(${\beta}=.456$), 공감성(${\beta}=.211$), 신뢰성(${\beta}=.183$)이 고객만족에 정(+)의 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 이 중 ${\beta}$계수 값이 0.456으로 크게 나타난 유형성이 가장 영향력이 큰 항목이었다. 셋째, 대형할인점내 푸드코트 서비스 품질중 유형성(${\beta}=.258$), 보장성(${\beta}=.148$), 공감성(${\beta}=.383$), 신뢰성(${\beta}=.201$)이 고객만족에 정(+)의 영향을 미치는 것으로 나타났으며, 이 중 ${\beta}$계수 값이 0.383으로 크게 나타난 공감성이 가장 영향력이 큰 항목이었다. 넷째, 대형 할인점내 푸드코트에 대한 고객 만족은 재방문의도에 유의한 정(+)의 영향을 미치는 것으로 나타났다. 이상의 연구 결과를 통해 대형할인점내 푸드코트 운영자들은 특히 가정 내로 보내는 정보지나 인터넷, SNS를 활용한 다양한 할인혜택 정보제공과 홍보를 강화할 필요성 있고, 다양한 메뉴개발로 인한 신메뉴 출시와 메뉴 교육, 서비스 교육, 위생교육을 통하여 고객이 안심하고 편안하게 서비스를 받을 수 있는 환경을 만들어 주어 가족 외식과 모임을 할 수 있는 시스템을 확보가 필요할 것이다.

• 감성과학
• /
• 제26권1호
• /
• pp.87-100
• /
• 2023

본 연구는 초기 성인의 조건부 자아존중감이 열등감에 미치는 영향에서 SNS 상향비교와 SNS 이용동기가 어떠한 역할을 하는지 탐색하고자 하였다. 선행연구를 토대로 각 변인들의 관계에 대한 연구모형을 설정하여, 조절된 매개 효과를 검증하고자 하였다. 이를 위하여 온라인 설문지를 구성한 후, SNS를 이용하는 초기 성인 400명을 대상으로 설문조사를 실시하였으며, 최종적으로 총 351부를 분석에 활용하였다. 본 연구의 주요 결과는 다음과 같다. 첫째, 조건부 자아존중감, SNS 상향비교, SNS 이용동기, 그리고 열등감은 모두 정적 상관을 나타내었다. 둘째, 조건부 자아존중감이 열등감에 영향을 미쳤으며 SNS 상향비교는 완전 매개하였다. 셋째, SNS 상향비교와 열등감의 관계에서 SNS 이용동기의 조절을 확인하였다. 마지막으로, 조건부자아존중감이 SNS 상향비교를 매개로 열등감에 미치는 간접효과를 SNS 이용동기의 영향으로 조절하는 것을 확인하였다. 본 연구 결과를 바탕으로 초기 성인이 열등감을 경험하는 것과 관련하여 심리적이고 정서적인 함의를 제시하였다.

• 열처리공학회지
• /
• 제24권2호
• /
• pp.87-91
• /
• 2011

Single layer Sn doped $In_2O_3$ (ITO) films and ITO 50 nm / Au 10 nm / ITO 40 nm (IAI) multilayer films were prepared with electron beam assisted magnetron sputtering on glass substrates. The effects of the Au interlayer, post-deposition atmosphere annealing and intense electron irradiation on the methanol gas sensitivity were investigated at room temperature. As deposited ITO films did not show any diffraction peaks in the XRD pattern, while the IAI films showed the diffraction peak for $In_2O_3$ (400). In this study, the gas sensitivity of ITO and IAI films increased proportionally with the methanol vapor concentration and an intense electron beam irradiated IAI film shows the higher sensitivity than the others film. From the XRD pattern, it is supposed that increased crystallization promotes the gas sensitivity. This approach is promising in gaining improvement in the performance of IAI gas sensors used for the detection of methanol vapor at room temperature.

• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2012년도 제43회 하계 정기 학술대회 초록집
• /
• pp.245-245
• /
• 2012

차세대 디스플레이로 각광받고 있는 AMOLED에 대한 관심이 높아짐에 따라 구동 소자의 연구가 활발히 이루어지고 있다. 산화물 반도체 박막 트랜지스터는 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에 비해 100 $cm^2$/Vs 이하의 높은 이동도와 우수한 전기적 특성으로 AMOLED 구동 소자로서 학계에서 입증되어왔고, 현재 여러 기업에서 산화물 반도체를 이용한 박막 트랜지스터 제작 연구가 활발히 이루어지고 있다. 본 연구는 열처리 조건을 가변하여 제작한 산화물 반도체 박막 트랜지스터의 전기적 특성 분석을 목적으로 한다. 실리콘 기판에 oxidation 공정을 이용하여 SiO2 100 nm, DC스퍼터링을 이용하여 ITZO (Indium-Tin-Zinc Oxide) 산화물 반도체 박막 50 nm, 증착된 산화물 반도체 박막의 열처리 후, evaporation을 이용하여 source/drain 전극 Ag 150 nm 증착하여 박막 트랜지스터를 제작하였다. 12 sccm의 산소유량, 1시간의 열처리 시간에서 열처리 온도 $400^{\circ}C$, $200^{\circ}C$의 샘플은 각각 이동도 $29.52cm^2/V{\cdot}s$, $16.15cm^2/V{\cdot}s$, 문턱전압 2.61 V, 6.14 V, $S{\cdot}S$ 0.37 V/decade, 0.85 V/decade, on-off ratio 5.21 E+07, 1.10 E+07이었다. 30 sccm의 산소유량, 열처리 온도 $200^{\circ}C$에서 열처리 시간 1시간, 1시간 30분 샘플은 각각 이동도 $12.27cm^2/V{\cdot}s$, $10.15cm^2/V{\cdot}s$, 문턱전압 8.07 V, 4.21 V, $S{\cdot}S$ 0.89 V/decade, 0.71 V/decade, on-off ratio 4.31 E+06, 1.05 E+07이었다. 산화물 반도체의 열처리 효과 분석을 통하여 높은 열처리 온도, 적은 산소의 유량, 열처리 시간이 길수록 이동도, 문턱전압, $S{\cdot}S$의 산화물 박막 트랜지스터 소자의 전기적 특성이 개선되었다.