한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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pp.1176-1178
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2007
A novel integrated a-Si:H gate driver with high reliability has been designed and simulated. Since the a-Si:H TFT is easily degraded by gate bias stress, we should optimize the circuit considering the threshold voltage shift. The conventional circuit shows voltage drop at the input stage by threshold voltage of the TFT, however, the proposed circuit dose not shows voltage drop and keeps constant regardless of threshold voltage shift of the TFT.
We developed an a-Si TFT-LCD panel with integrated gate driver circuit using a standard 5-MASK process. To minimize the effect of the a-Si TFT current and LC's capacitance variation with temperature, we developed a new a-Si TFT circuit structure and minimized coupling capacitance by changing vertical architecture above gate driver circuit. Integration of gate driver circuit on glass substrate enables single chip and 3-side free panel structure in a-Si TFT-LCD of QVGA ($240{\times}320$) resolution. And using double ASG structure the dead space of TFT-LCD panel could be further decreased.
본 논문에서는 FT-IR 분광분석법을 이용하여 여러 가지 반응조건에서 기체상 silylation 반응에 의해 생성된 silylated layer의 depth를 비파괴적으로 정량하는 방법을 제안하였다. Silylated layer의 depth는 FT-IR 스펙트럼의 특성 봉우리들(Si-O-ph, Si-C, Si-H)의 흡광도를 바탕 스펙트럼 공제법으로 측정하여 SEM의 두께 측정치와 비교하여 정량하였다. FT-IR 분광분석법을 이용한 Silylated layer의 depth 분석은 비파괴적이고 정량적인 방법으로, 이 방법은 silylation process window를 설정하는 데 적합하다는 것을 알았다.
한국정보디스플레이학회 2006년도 6th International Meeting on Information Display
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pp.1649-1652
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2006
2.22-inch qVGA $(240{\times}320)$ amorphous silicon thin film transistor liquid active matrix crystal display (${\alpha}$- Si TFT-AMLCD) panel has been successfully demonstrated employing a 2.5 um fine-patterning technology by a wet etch process. Higher resolution 2.22-inch qVGA LCD panel with an aperture ratio of 58% can be fabricated because the 2.5 um fine pattern formation technique is combined with high thermal photo-resist (PR) development. In addition, a novel concept of unique ${\alpha}$-Si TFT process architecture, which is advantageous in terms of reliability, was proposed in the fabrication of 2.22-inch qVGA LCD panel. Overall results show that the 2.5 um finepatterning is a considerably significant technology to obtain higher aperture ratio for higher resolution ${\alpha}$-Si TFT-LCD panel realization.
Having Efficient Contracting Laws and Regulations is one of the critical success factors for SI (System Integration) industry growth. This paper explores problems in contracting systems for SI business. Two perspectives have been used in this analysis. One is on law itself perspective, the other is on industry growth perspective. A comprehensive survey on contracting practices has been done, and the structure of SI industry has been analysed. Also, characteristics of SI contracting processes have been analysed. A framework for efficient contracting laws and regulations for SI industry has been discussed based on the characteristics of SI business and SI industry. Future research will be needed to expand the current framework and to examine the effectiveness of the proposed framework.
Si(100) 웨이퍼를 사용하여 RTP 장비에서 $O_2$와 $N_2$O 분위기에서 8nm의 oxynitride를 제조 하였다. 기존의 로(furnace) 열산화막과 비교해서 oxynitride는 I-V, TDDB 특성이 우수하였고, flat-band voltage shift도 적었으며 $BF_2이온$ 주입에 의한 붕소 투과 억제 특성도 우수하다. 유전상수는 oxynitride가 열산화막에 비해서 크다. Oxynitride는 순수한 Si$O_2$유사하게 V 〉${\varphi}_0$ 구간에서 Fowler-Nordheim 터널링 특성을 나타낸다. SIMS, AES, 그리고 XPS 분석 결과 질소 pile-up이 Si$O_2$/Si 계면에서 나타나고, 이것은 oxynitride 산화막 특성 향상과 깊은 관련이 있다.
The CALS/EC is the world-wide accepted concept and its application domain is being expanded continuously throughout the private and public sectors. One of the essential points for realization of CALS/EC is to promote the domestic system integration(SI) industry. This paper describes the present status of the domestic SI companies and the clues to solve their facing problems. In order to evaluate the status of the current SI technology, the MBNQA(Malcom Baldridge National Quality Award) is adopted. The surveyed results show that the average levels of 14 SI companies over 7 evaluation criteria turn out to be 30% through 40% point. The major projects' activities of the SI companies on the information systems over the areas of trade, science and technology, industrial manpower, health and welfare, national security, etc are explained. Also, the competitive power of the SI companies is also discussed. As a target sample, the Korea Telecom(KT) CALS model project is described in terms of its Progresses and Problems. Furthermore, the strategic plans and detailed research items are proposed to resolve on-going issues.
한국정보디스플레이학회 2008년도 International Meeting on Information Display
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pp.250-253
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2008
A touch screen panel embedded 12.1-inch TFT LCD employing a standard a-Si:H TFT process has been successfully developed. Compared with conventional external touch screen panels, the new internal TSP exhibits a clearer image and improved touch feeling. Our new internal proposed TSP can be fabricated with low cost.
RBS와 XRD를 이용하여 C o-Nb이중층 실리사이드와 구리 배선층간의 열적안정성에 관하여 조사하였다. Cu$_{3}$Si등의 구리 실리사이드는 열처리시 40$0^{\circ}C$정도에서 처음 형성되기 시작하였는데, 이 때 형성되는 구리 실리사이드는 기판의 상부에 존재하던 준안정한 CoSi의 분해시에 발생한 Si원자와의 반응에 의한 것이다. 한편, $600^{\circ}C$에서의 열처리 후에는 CoSi$_{2}$층을 확산.통과한 Cu원자와 기판 Si와의 반응에 의하여 CoSi$_{2}$/Si계면에도 구리 실리사이드가 성장하였는데, 이렇게 구리 실리사이드가 CoSi$_{2}$/Si 계면에 형성되는 것은 Cu원자의 확산속도가 여러 중간층에서 Si 원자의 확산속도 보다 더 빠르기 때문이다. 열처리 결과 최종적으로 얻어진 층구조는 CuNbO$_{3}$/Cu$_{3}$Si/Co-Nb합금층/Nb$_{2}$O$_{5}$CoSi$_{2}$/Cu$_{3}$Si/Si이었다. 여기서 상부에 형성된 CuNbO$_{3}$는 Cu원자가 Nb$_{2}$O$_{5}$및 Co-Nb합금층과 반응하여 기지조직의 입계에 석출되어 형성된 것이다.
한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
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pp.822-824
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2007
This paper investigated a gate driver circuit with amorphous silicon for mobile TFT-LCD. In the conventional circuit, the fluctuation of the off-state voltage causes the fluctuation of gate line voltages in the panel and then image quality becomes worse. Newly designed gate driver circuit with dynamic switching inverter and carry out signal reduce the fluctuation of the off-state voltage because dynamic switching inverter is holding the off-state voltage and the delay of carry signal is reduced. The simulation results show that the proposed a-Si:H gate driver has low noise and high stability compared with the conventional one.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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