• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2007.10a
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• pp.393-394
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• 2007

In this study, to minimize the above effect Zinc Oxide(ZnO) thin films on Si(100) substrate were deposited by RF magnetron sputter with changing sputtering conditions such as Ar/$O_2$ gas ratios, RF power, substrate temperature, chamber prsssure and target-substrate distance. To analyze a crystallographic properties of the films, ${\Theta}/2{\Theta}$ mode X-ray diffraction, rocking curve and Alpha-step were performed. SAW filters were fabricated to evaluate the feasibility of ZnO thin film as a piezoelectrical materials and the processes of ZnO SAW filters using etch and lift-off were compared.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.15 no.9
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• pp.798-807
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• 2002

ZnO thin films on Si wafer were deposited by RF magnetron reactive sputter with various RF power, chamber pressure, argon/oxygen gas ratios ana substrate temperatures. Crystallinities, surface morphologies, and electrical properties of the films were investigated by XRD, AFM, RBS, and electrometer(keithley 617). ZnO films showed a strong c-axis preferred orientation. Surface roughness and resistivity were changed by the argon/oxygen gas ratio. The minimum surface roughness of 12${\AA}$ and maximum resistivity of $10^8\Omega cm$ were achieved at Ar/O$O_2$=0/100.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2009.02a
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• pp.459-460
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• 2009

In this study, surface structure and near-field distribution of a surface acoustic wave filter were measured with both reflection mode and collection mode near-field scanning optical microscopes, and there results were compared with each other.

• 전기의세계
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• v.53 no.8
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• pp.31-38
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• 2004

최근 CDMA 방식에 기반을 둔 이동통신 시스템과 GPS, WLAN 등의 통신 시스템 시장은 전 세계적으로 급격히 팽창하고 있으며, 그 발전가능성은 무궁 무진하다. 특히, 개인 휴대 이동통신의 경우, 초기 아날로그 방식을 이용한 음성서비스에서 출발하여, 디지털 방식으로의 성능개선을 통해 가입자의 폭발적인 증가에 대응하고 다양한 콘텐츠를 제공하기 위한 대용량, 고속 신호처리를 실현하였다. 현재 무선 인터넷 및 멀티미디어 기능, GPS 기능을 탑재한 컬러 디스플레이 단말기가 전세계적으로 일반화되는 추세이며, 블루투스 시스템과의 연동을 통해 다양한 서비스를 제공할 수 있도록 연구가 진행 중이다. (중략)

• The Journal of the Acoustical Society of Korea
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• v.4 no.2
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• pp.48-55
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• 1985

포물선형 혼 도파관을 사용하여 입사파의 음향전력밀도를 증대시킴으로써 압전물질의 압전비선 형성을 이용한 평판형 구조의 탄성 음향파 콘벌버를 제작하고 스펙트럼 확산 통신방식에서 S/N 비가 S 높으며 프로그램이 가능한 자기상관정합 필터로 사용될 수있음을 실험적으로 제시하였다. 본 실험에서 는 포물선형 혼 도파관을 사용한 탄성 음향파 콘벌버를 압전 재료인 YZ-LiNbO\sub 3\ 위에 중심 주파 수 100MHz 압축비 11:1, 적분시간 6인 IDT, 포물선형 혼 도파관 및 출력단자를 설계한 후 이를 포토리 토그라피 바업으로 제작하여 100 MHz 로 펄스 변조된 신호를 탄성 음향파 콘벌버의 양 입력에 인가하 여 자기상관 출력을 얻음으로써 신호 처리 이득이 18dB인 정합필터를 구현하였다.

• Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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• 2001.02a
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• pp.154-155
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• 2001

파장가변 광 필터는 WDM 광전송 시스템에 필요로 하는 핵심 부품중의 하나이다. 특히 LiNbO$_3$의 음향광학효과를 이용하는 AOTF(Acousto-Optic Tunable Filter)는 150nm 이상의 파장 가변 범위, 1.5nm 이하의 파장 통과대역폭, 수 $\mu\textrm{s}$ 정도의 비교적 빠른 스위칭 속도, 그리고 여러 파장 채널을 동시에 선택할 수 있는 장점들을 보유하고 있음에도 불구하고 표면 음향파(SAW： SurFace Acoustic Wave) 구동에 필요한 RF 파워와 부 모드(sidelobe)가 비교적 크다는 단점 때문에 실용화에 많은 제약을 받아왔다. (중략)

• The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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• v.27 no.3C
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• pp.248-255
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• 2002

An RF module in compliance with the IEEE 802.11a standard has been designed and its performance has been measured. Conventional heterodyne architecture with 580MHz intermediate frequency has been realized. Measurement results show that the receiver has a low Noise Figure of 5dB, the maximum gain of 70dB, and dynamic range as wide as 61dB. Also, the SAW filter used for channel selection in the IF section allowed minimum inter-channel interference. in addition to satisfying the RF output power requirement, the transmitter features its output P1dB as high as 34dBm so that the high peak-to-average ratio of the Orthogonal Frequency Division Multiplexing (OFDM) modulation scheme can be handled with minimum nonlinear distortion. The output P1dB of 34dBm of the transmitter corresponds to back-off powers of 18dB and 11dB with respect to the output power for the low and the middle frequency bands, respectively.

• Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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• v.18 no.10
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• pp.909-916
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• 2005

The structural and electrical property of RF magnetron sputtered ZnO thin film have been studied as a function of RF power, substrate temperature, oxygen/argon gas ratio and film thickness at constant sputtering power, sputtering working pressure and target-substrate distance. To analyze a crystallo-graphic properties of the films, $\theta$/2$\theta$ mode X-ray diffraction, SEM, and AFM analyses. C-axis preferred orientation, resistivity and surface roughness highly depended on oxygen/argon gas ratio. The resistivity of ZnO thin film(6000 ${\AA}$) rapidly increased with increasing oxygen ratio and the resistivity value of $9 {\ast} 10^7 {\Omega}cm$ was obtained at a working pressure of 10 mTorr with the same oxygen/argon gas ratio. The surface roughness was also improved with increasing oxygen ratio and the ZnO films deposited with the same oxygen/argon gas ratio showed the excellent roughness value of 28.7 ${\AA}$. With increase of the substrate temperature, The C-axis preferred orientation of ZnO thin film increases and the resistivity decreases due to deviation from the stoichiometric ZnO due to oxygen deficiency.

• Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea SD
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• v.39 no.1
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• pp.58-66
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• 2002

Acousto-optical wavelength tunable optical filters in LiNbO$_3$ have been demonstrated using taperd directional weighted coupling acoustic waveguides and Ti double diffusion technique. Conversion efficiency in excess of 61%, 86% and sidelobe intensity of -14.29㏈, -14.99㏈ were measured at a wavelength of 1551.1nm RF frequency of 173.58MHz and RF power of 35㎽ for both TE and TM input polarizations, respectivelv. A spectral width of ~l.8nm and linear tuning late of 8.6nm/MHz were demonstrated. A 2.82$mutextrm{s}$ switching time has been measured. With two channels with 2.5nmseparation, channel cross-talk was lower than -l4㏈ for single wavelength filtering due to sidelobe.

• Proceedings of the KIEE Conference
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• 2011.07a
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• pp.1660-1661
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• 2011

본 논문에서는 7중 대역 (GSM850, GSM900, DCS1800, PCS1900, UMTS850, UMTS1900, UMTS2100) 을 지원하는 LPF 내장형 LTCC 프런트 엔드 모듈 (FEM) 을 설계, 제작 및 측정하였다. 제작된 FEM은 효과적인 고조파 제거를 위해 수동소자를 LTCC 기판에 내장하여 저역 통과 필터(LPF)를 구현하였다. 본 논문에서 제안하는 FEM은 송수신 신호를 선택하기 위한 flip-chip 형태의 CMOS RF SP9T switch, Rx 신호의 수신을 위한 dual type의 SAW filter, 매칭 및 ESD 보호 회로를 위한 0603 크기의 칩소자가 부품 외부에 실장되어 구현된다. 전체 크기는 $4.5{\times}3.2{\times}1.2\;mm^3$의 초소형으로 내부 GND 2개 층을 포함하여 총 16층으로 구성된다. 측정결과는 송신단과 수신단의 삽입손실이 각각 1.7 dB, 3.6 dB 이하의 우수한 특성을 보였다.