Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2009.02a
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- Pages.459-460
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- 2009
Optical Measurement of SAW Filter Using Reflection Mode NSOM
반사 모드 방식의 근접장 주사 광학 현미경을 이용한 표면 탄성파 필터의 영상 측정
- Park, Gyeong-Deok ;
- Jeong, Sang-Cheol ;
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Kim, Dae-Chan
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- Ji, Won-Su ;
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O, Beom-Hwan
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Park, Se-Geun
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Lee, Il-Hang
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Lee, Seung-Geol
- 박경덕 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 정상철 (삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
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김대찬
(삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
- 지원수 (삼성전기 생산기술 연구소) ;
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오범환
(삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC)) ;
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박세근
(집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
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이일항
(집적형 광자기술 연구센터(OPERA)) ;
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이승걸
(삼성전기-인하대 초정밀검사계측연구센터(PIMC))
- Published : 2009.02.12
Abstract
In this study, surface structure and near-field distribution of a surface acoustic wave filter were measured with both reflection mode and collection mode near-field scanning optical microscopes, and there results were compared with each other.
Keywords