• Bulletin of the Korean Chemical Society
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• 제19권11호
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• pp.1172-1174
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• 1998

Spatial(radial and height) distributions of excited argon species are measured for an inductively coupled plasma under five operating conditions: 1) no carrier gas, 2) carrier gas without aerosol, 3) carrier gas with desolvated aerosol, 4) carrier gas with aerosol, 5) carrier gas with aerosol and excess lithium. A complete RF power mapping of argon excited states is obtained. The excited states of argon for a typical analytical torch rapidly diffuse towards the center in the higher region of the plasma. The presence of excess lithium makes no significant change in the excited states of argon. The increase in the RF power increases the intensity of argon excited states uniformly across the radial coordinate.

• 한국진공학회지
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• 제10권2호
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• pp.267-274
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• 2001

원격 수소 플라즈마에 의한 Si 웨이퍼 표면 위의 Cr, Ni 및 Cu불순물의 제거 효과를 조사하였다. Si 웨이퍼를 이 불순물들이 포함되어 있는 아세톤으로 집중적으로 오염시켰으며 최적 공정조건을 결정하기 위해 rf-power와 plasma노출시간을 변화시키면서 실험을 수행하였다. 리모트 수소 플라즈마 세정 후 Si 웨이퍼 표면은 Total X-ray Reflection Fluorescence(TXRF), Surface Photovoltage(SPV) 및 Atomic Forece Microscope(AFM)에 의해 분석되었다. 리모트 수소 플라즈마 세정 후 Cr, Ni 및 Cu불순물의 농도는 감소하였고 소수 전하운반자수명은 전반적으로 증가하였다. 또한 AFM 분석결과 표면 거칠기는 전반적으로 향상되었고 Si 기판에 거의 손상을 주지 않았다. TXRF 분석결과는 리모트 수소 플라즈마 세정이 적절한 공정 조건에서 이루어질 때 금속 오염물의 제거에 아주 효과적임을 보여주었다. 또한, Cr, Ni 및 Cu 불순물의 제거는 $SiO_2$가 제거될 때 $SiO_2$에 묻어 함께 제거되는 이른바 lift-off mechanism에 의한 것으로 사료된다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2003년도 춘계종합학술대회
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• pp.424-428
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• 2003

고주파 여기 방식의 슬랩 도파관 $CO_2$ 레이저를 제작하고 성능을 평가하였다. 실험에 사용된 공진기의 구조는 concave mirror 두 개로 이루어진 negative branch와 concave와 convex mirror로 이루어진 positive branch로서 불안정 공진기의 구조를 이루고 있다. 도파관의 크기는 40$\times$2$\times$400mm이며, 123MHz의 입력 주파수를 사용하였다. 혼합가스의 비율은 $CO_2$:$N_2$:He=1:1:3이다. 압력은 10에서 60 torr, RF 입력 파워는 100에서 900W까지 증가시키면서 출력을 측정하였다 실험 결과 압력이 40 torr, RF 입력파워가 900W일 경우, negative 공진기와 positive branch의 최대파워는 각각 50.7 W와 71.8 W, 효율은 6.5 %와 9.2%이다.

• 한국광학회지
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• 제14권4호
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• pp.406-412
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• 2003

고주파 여기 방식의 슬랩 도파관 $CO_2$ 레이저를 제작하고 그 특성을 조사하였다. 레이저 이득을 얻기 위한 고주파 방전구간의 크기는 2${\times}$40${\times}$400mm이고, 레이저 공진기는 볼록거울과 오목거울을 사용하여 positive branch형태의 불안정 공진기를 사용하였다. 고주파 여기 주파수는 123 MHz를 사용하였고, 가스의 혼합 비율은 $CO_2$:$N_2$:He를 각각 1:1:3으로 사용하였다. 공진기의 가스 압력이 40 ton,고주파 입력파워 900 W에서 70.8 W의 출력을 얻었으며, 이때 레이저의 효율은 9.2%이다.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 1994년도 제6회 학술발표회 논문개요집
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• pp.80-81
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• 1994

• 한국광학회지
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• 제15권4호
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• pp.337-342
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• 2004

본 연구에서는 opto-Hertzian 효과를 이용하여 고주파 여기식 슬랩형 $CO_2$ 레이저의 출력을 안정화하였다. 슬랩레이저 공진기속의 복사선 세기가 변화할 때 opto-Hertzian 효과에 의해서 공진기의 방전 임피던스도 함께 변화한다. 이에 따라 공진기로 입사 또는 반사되는 고주파 에너지 값도 변화한다. 이 같은 변화를 결합 루프를 통해 검출하여 고주파 성분을 제거한 후 록인 안정기에서 발생시킨 오차신호를 기준신호로 사용하여 슬랩 레이저의 출력을 안정화하였다. 본 방법으로 안정화된 레이저의 출력 변동률이 0.2%로 개선됨을 확인하였다.

• Investigative Magnetic Resonance Imaging
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• 제3권1호
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• pp.13-19
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• 1999

MRI imaging provides many benefits such as noninvasive, 3-dimensional imaging capabilities. But it has relatively serious drawback that is the long data collection time, compared with other imaging modality. Many studies have been performed for fast MR imaging. But EPI and SEPI (4-6) are required to expensive hardware. In this paper, we introduce to Burst imaging technique. It can reduce imaging time by use of a mulitple RF excitation technique. Further it is easily implemented to the normal MRI system. But a pixel profile in the conventional burst sequence is so poor that excited area by burst sequence is a small portion of a pixel. This causes poor signal to noise ratio in burst image. therefore frequency sweeping of RF pulse for burst imaging sequence is proposed to improve pixel profile. A burst pulse train is shaped by liner or nonlinear frequency sweeping function so that all the spins within a pixel are excited, thereby improving the signal to noise ratio. It also shows that the pixel profiles are dependent on how frequency sweep is made. Computer simulations with Bloch equation and experimental results obtained using a 1.0 T NMR imaging system are presented.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.I
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• pp.513-514
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• 2005

In plasma processing reactors, it is common practice to control plasma density and ion bombardment energy by manipulating excitation voltage and frequency. In this paper, a dually excited capacitively coupled rf plasma reactor is self-consistently simulated with a three moment model. Effects of phase differences between primary and secondary voltage waves, simultaneously modulated at various combination of commensurate frequencies, on plasma properties are investigated. The simulation results show that plasma potential and density as well as primary self-dc bias are nearly unaffected by the phase lag between the primary and the secondary voltage waves. The results also show that, with the secondary frequency substantially lower than the primary frequency, secondary self-dc bias remains constant regardless of the phase lag. As the secondary frequency approaches to the primary frequency, however, the secondary self-dc bias becomes greatly altered by the phase lag, and so does the ion bombardment energy at the secondary electrode. These results demonstrate that ion bombardment energy can be more carefully controlled through plasma simulation.

• 한국광학회지
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• 제3권4호
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• pp.234-238
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• 1992

금속과 판유리를 이용한 도파관 탄산가스 레이저를 제작하고 출력특성을 조사하였다. 도파관의 길이는 50cm, 내부 단면적은 $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$이며 13.56MHz의 고주파로 횡여기시키는 방식이다. 가스 밀폐형으로 동작될 때 입력전력과 가스압력 변화에 의한 레이저 출력의 측정 결과 가스 분압비 $He:CO_{2}:N_{2}:Xe= 6:1:2:1$, 전체 가스압력 50Torr, 고주파 입럭전력이 180W인 조건에서 최대출력 9.5W로 발진하고 있다.

• 한국광학회:학술대회논문집
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• 한국광학회 2003년도 하계학술발표회
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• pp.270-271
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• 2003

링 레이저 자이로스코프는 회전각을 검출하는 센서로서 광학식이 가지는 정밀함과 견고성으로 관성항법을 비롯한 운동 제어를 필요로 하는 여러 분야에서 기존의 기계식 자이로스코프를 대체해 오고 있다. 링 레이저 자이로는 세 개 또는 네 개의 반사경으로 밀폐된 고리형 공진기를 구성하고 He-Ne 기체를 봉입하여 방전시킴으로써 서로 반대 방향으로 진행하는 레이저를 동시에 발진시키면 Sagnac 효과에 의해 공진기의 회전각에 비례하여 두 레이저의 주파수 차이가 발생하는 원리를 이용한다. (중략)