Abstract
We have developed the RF discharge Excited slab Waveguide $CO_2$ laser and measured the output power. We make used of concave and concave mirror, concave and convex mirror that negative branch and positive branch unstable resonator, respectively. The resonator active dimension is 2$\times$40$\times$400 mm and ratio frequency is 123 MHz. The gas mixing ratio is $CO_2$: $N_2$ : He=1 : 1 : 3. The pressure in resonator is from 10 to 60 torr and RF input power increased from 100 to 900 W. so that We obtained laser maximum output power of negative branch and positive branch resonator 50.9 W and 70.8 W and efficiency is 6.5 % and 9.2 %, respectively.
고주파 여기 방식의 슬랩 도파관 $CO_2$ 레이저를 제작하고 성능을 평가하였다. 실험에 사용된 공진기의 구조는 concave mirror 두 개로 이루어진 negative branch와 concave와 convex mirror로 이루어진 positive branch로서 불안정 공진기의 구조를 이루고 있다. 도파관의 크기는 40$\times$2$\times$400mm이며, 123MHz의 입력 주파수를 사용하였다. 혼합가스의 비율은 $CO_2$:$N_2$:He=1:1:3이다. 압력은 10에서 60 torr, RF 입력 파워는 100에서 900W까지 증가시키면서 출력을 측정하였다 실험 결과 압력이 40 torr, RF 입력파워가 900W일 경우, negative 공진기와 positive branch의 최대파워는 각각 50.7 W와 71.8 W, 효율은 6.5 %와 9.2%이다.
