Operating Characteristics of a Waveguide $CO_2$ Laser Excited by 13.56MHz and Additional Xe Effect

13.56MHz로 여기되는 도파관 $CO_2$ 레이저의 동작특성 및 Xe 첨가효과

  • Published : 1992.12.01

Abstract

A sealed-off waveguide $CO_2$ laser with a length of 50 cm and a cross-sectional area of $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$ has been designed and constructed. The laser is transversely excited by RF (13.56 MHz) discharge. Output characteristics of the laser has been investigated performing variations of total gas pressure, input rf power, and mixing ratios of gases. The maximum output power of 9.5 W was obtained under the condition of total gas pressure of 50 Torr, input rf power of 180 W, and gas mixture of 6 : 1 : 2 : 1 of $He:CO_{2}:N_{2}:Xe$.

금속과 판유리를 이용한 도파관 탄산가스 레이저를 제작하고 출력특성을 조사하였다. 도파관의 길이는 50cm, 내부 단면적은 $6\times 6\ttextrm{mm}^{2}$이며 13.56MHz의 고주파로 횡여기시키는 방식이다. 가스 밀폐형으로 동작될 때 입력전력과 가스압력 변화에 의한 레이저 출력의 측정 결과 가스 분압비 $He:CO_{2}:N_{2}:Xe= 6:1:2:1$, 전체 가스압력 50Torr, 고주파 입럭전력이 180W인 조건에서 최대출력 9.5W로 발진하고 있다.

Keywords