R-F magnetron sputtering 법으로 제조된 SrBi$_2$ Ta$_2$ O$_9$ 강유전성 박막의 미세구조 특성 및 전기적 특성
(Microstructure and Electrical Properties of SrBi$_2$ Ta$_2$ O$_9$ Ferroelectric Thin Films Prepared by RF Magnetron Sputtering Method)
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- 마이크로전자및패키징학회지
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- 제6권2호
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- pp.51-61
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- 1999