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포도전정가지 추출물이 UVB에 유도된 HR-1 mice의 피부손상에 대한 광보호 효과 (Photoprotective Effect of Grape Pruning Stem Extracts on the UVB Induced HR-1 Mice Skin)

  • 김정희;김종국;김선건;정승일;장민정;김길수;김극준;곽승준
    • 생명과학회지
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    • 제27권4호
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    • pp.383-389
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    • 2017
  • 본 연구는 포도수확 후 버려지는 가지를 이용한 포도전정가지 추출물(Grape Pruning Stem Extracts, GPSE)에 함유된 polyphenol류 중 항산화, 항염증, 항암 등의 효과가 있다고 알려진 rutin, procyanidin B3, quercetin, kaempferol의 함량을 분석하고, UVB로 유도된 HR-1 mice의 손상된 피부에 대한 피부 보습, 피부 증식 억제, 항염증 등의 효과를 측정하여 기능성식품, 기능성 화장품 소재로서의 응용 가능성을 확인하고자 하였다. 포도전정가지에서 polyphenol 성분을 80% EtOH로 추출하고 여과하여 농축한 후, 동결건조하여 $-20^{\circ}C$에 보관하면서 사용하였다. GPSE의 유효성분 함량은 HPLC를 사용하여 분석하였다. 피부손상을 유도하기 위해 UVB를 실험동물에 조사하였고, GPSE의 효능을 확인하기 위하여 TEWL assay, 피부조직의 H&E staining 및 COX-2 단백 발현 측정을 위한 면역조직화학적염색(immunohistochemical stain) 등을 실시하였다. 포도전정가지 시료 53 kg에서 EtOH 분획 추출물 2.34 kg을 추출하여 4.42%의 수율 결과를 얻었다. 유효성분 분석 결과, procyanidin B3, 0.28 mg/g, rutin 12.81 mg/g, quercetin 0.51 mg/g 및 kaempferol 8.24 mg/g로 나타났다. TEWL assay 결과 대조군과 비교, GPSE와 serum base의 혼합물이 도포된 그룹(농도 2,000 mg/kg~125 mg/kg)에서 모두 보습효과가 있는 것을 확인하였다(p<0.05). GPSE의 피부증식억제를 통한 광보호 효과를 확인한 결과 epidermis에는 GPSE 농도 2,000 mg/kg의 농도에서 suncream과 유사한 결과를 얻을 수 있었고(p<0.05), dermis의 두께를 측정한 결과 GPSE 농도 2,000 mg/kg~125 mg/kg 모든 농도에서 UVB 조사한 그룹 두께 $800{\mu}m$와 비교하여 suncream 도포군이 $580{\mu}m$, GPSE 2,000 mg/kg~125 mg/kg 모든 농도에서 $600{\mu}m$이하로 나타나 UVB에 의해 손상된 HR-1 mice의 피부증식 억제를 확인할 수 있었다(p<0.05). GPSE가 UVB에 의해 손상된 HR-1 mice 피부에 항염증 정도를 확인하기 위해 COX-2 단백발현을 보기위해 immunohistochemical stain한 결과 UVB를 조사한 대조군에 비해 GPSE를 도포한 그룹 모두에서 항염증 효과를 보였지만, GPSE의 농도 1,000 mg/kg에서는 suncream 22%보다 낮은 8%에서 COX-2의 단백발현이 낮은 것으로 나타나 우수한 항염증효과를 얻을 수 있었다(p<0.05). 본 연구 결과에서, GPSE 내 rutin, kaempferol, quercetin, procyanidin B3와 같은 유효성 페놀성 화합물이 확인되었으며, GPSE는 보습효과, 피부증식억제효과, 염증발현억제효과 및 자외선 손상에 의한 피부장벽 기능 개선효과 등이 있는 것으로 확인되었다. 결론적으로 GPSE는 피부보호 효과의 가능성이 있는 기능성 물질로서 기능성 식품 및 기능성 화장품 등의 원료로 활용성이 높을 것으로 판단된다.

상수리나무 변재(邊材)와 심재(心材)의 열판건조(熱板乾燥)에 관(關)한 연구(硏究) (Study on Press-drying of Sapwood and Heartwood of Oak)

  • 정희석;이필우
    • 한국산림과학회지
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    • 제36권1호
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    • pp.26-32
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    • 1977
  • 저질재(低質材) 건조(乾燥)의 한 방안(方案)으로 상수리나무 판재(板材)를 열판건조(熱板乾燥)하였다. 열판건조조건(熱板乾燥條件)을 변재(邊材)와 심재(心材)의 두께 1.5cm판재(板材)를 열판온도(熱板溫度) $175^{\circ}C$, 압력(壓力) 35psi로 건조(乾燥)항, 건조시(乾燥時) 내부온도(內部溫度), 건조중(乾燥中) 함수율(含水率) 및 건조속도(乾燥速度)의 변화(變化), 건조시간(乾燥時間)과 말기함수율(末期含水率), 건조재(乾燥材)의 치수변화(變化), 건조손상(乾燥損傷) 등(等)을 조사(調査)한 결과(結果)를 요약(要約)하면 다음과 같다. 1. 판재(板材)의 내부온도(內部溫度)는 건조초기(乾燥初期)에 급격히 상승(上昇)하여 얼마동안 일정(一定)하게 유지된 다음 서서히 상승(上昇)하였다. plateau temperature는 심재(心材)가 변재(邊材)보다 높고 유지기간도 길었다. 2. 건조시간(乾燥時間)에 따라 건조속도(乾燥速度)는 감소(減少)하였고 변재(邊材)의 건조속도(乾燥速度)는 logy=-2.7925-0.0811x, (r=-0.976), 심재(心材)의 건조속도(乾燥速度)는 logy=-3.3382-0.0468x (r=-0.976)의 곡선(曲線)을 나타났다. 3. 소요(所要)되는 건조시간(乾燥時間)은 심재(心材)가 변재(邊材)보다 길었고, 변재(邊材)는 초기함수율(初期含水率) 59%에서 말기함수율(末期含水率) 2.5%까지 건조(乾燥)하였는데 45분(分), 심재(心材)는 초기함수율(初期含水率) 64%에서 말기함수율(末期含水率) 3.3%까지 55분(分)이 각각(各各) 소요(所要)되었다. 4. 건조재(乾燥材)의 평균(平均) 두께수축율(收縮率)은 20.4%, 평균(平均) 폭수축율(幅收縮率)은 2.5%이고, 평균(平均) 두께복원율(復元率)은 11.4% 평균(平均) 폭복원율(幅復元率)은 49.4%로서 두께는 폭(幅)보다 수축율(收縮率)은 컸으나 복원율(復元率)은 적었다. 5. 변재(邊材)는 내부할열(內部割裂) 등(等)의 건조손상(乾燥損傷)이 거의 없었으나 심재(心材)는 내부할대(內部割袋)이 심하게 나타났다.

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심폐질환 환자에서 걷기검사를 이용한 폐기능 및 운동기능의 평가 (Walking test for assessing lung function and exercise performance in patients with cardiopulmonary disease)

  • 정혜경;장중현;천선희
    • Tuberculosis and Respiratory Diseases
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    • 제43권6호
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    • pp.976-986
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    • 1996
  • 연구배경: 호흡곤란은 심폐질환 환자의 가장 흔한 증상이며 호흡 장애 결과로 인한 운동 능력저하는 일상 생활을 불가능하게 한다.(daily disability) 운동시 산소 소모량은 운동 능력 평가의 기능적 척도이며 심폐기능 정도를 반영하는 가장 좋은 지표로 얄려져왔다. 그러나 운동 부하 검사는 장비가 비싸고 복잡하며 증상이 심하거나 노령층의 환자에는 수행에 많은 제약점이 따른다. 반면 걷기검사는 일상 생할과 비슷한 운동량으로 실시하여 특별한 장비가 필요없고 재현성이 높은 좋은 방법으로 알려져 있다. 따라서 호흡 곤란을 호소하는 환자에서 걷기검사를 시행하여 동맥혈검사 및 폐기능 검사, Modified Borg Scale(MBS), 최대 산소 흡수율(maximal oxygen uptake; 이하 VO2max) 간의 상관 관계 및 6분과 12분 걷기검사간의 상관 관계를 알아보고자 본 연구를 시행하였다. 방법: 호흡곤란을 주소로 내원한 37 명의 환자를 대상으로 COPD, 심혈관질환, 기관지 천식, 운동시 호흡곤란을 호소하였으나 정상 소견을 보인 네 군으로 분류하여 각각의 환자에서 안정 상태에서 폐기능 검사와 동맥혈 가스 분석을 실시하였다. 안정 시 MBS를 이용하여 호흡곤란 지수를 기록하고, 걷기검사를 실시하였다. 증상 제한적 최대 운용 검사(Symptorn-limited maximal exercise)는 자전거 타기 검사로 시행하였다. 결과: (1) 전체 환자에서 VO2max 은 COPD 및 심혈 관질환에서 다른 두군에 비해 유의하게 낮았으며 (p<0.05), 걷기검사 역시 현저히 낮았다. (2) 전체 환자에서 12분 걷기 검사는 VO2max, PaCO2, FVC(% predicted), FEV 1 (% predicted)과 상관관계가 있었으며, COPD 환자군에서는 걷기검사와 VO2max간에만 상관 관계가 있었다. (3) COPD 환자군에서 VO2max와 FEV1, FVC간의 상관관계가 가장 컸고, VO2 max와 걷기검사간에 유의한 상관관계가 있었으나 걷기검사와 FEV1 FVC간에는 상관관계가 없었다. (4) 6분 걷기검사와 12분 걷기검사는 매우 유의한 상관관계가 있었다(r=0.92, p<0.01). 결론: 걷기검사는 심폐기능을 반영하는 운동능력 평가의 간단한 방법으로 VO2max의 간접적인 지표로 유용하였으나 최대 운동 능력과는 다른 개념인 'daily disability'를 평가할 수 있는 방법이다. 또한 6분 걷기검사는 12분 걷기검사보다 환자의 부담은 줄이면서 심폐질환자의 폐기능 및 운동 기능 평가에 비슷한 결과를 보였다.

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영남대학교 의과대학 부속병원 외래환자에 대한 약물처방 동향의 분석 (Drugs Most Frequently Used in OPD of Yeungnam University Hospital: March to August, 1985)

  • 이광윤;김원준;김승훈
    • Journal of Yeungnam Medical Science
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    • 제2권1호
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    • pp.95-102
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    • 1985
  • 대구 및 그 인접지역의 질병 발생 경향을 추정하고, 영남대학교 의과대학 부속병원의 약제수급 계획을 위한 참고자료를 얻기 위하여, 1985년 3월부터 동년 8월까지 당 병원 외래에 내원한 환자들을 위하여 내려진 약물 처방을 전산 집계하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 가장 빈번히 처방된 약물로 부터 100종의 약물을 처방빈도 순으로 나열하였던 바, diazepam, aluminum compound, acetaminophen, isoniazid, metoclopramide, $polaranine^{(R)}$, carboxymethylcystein, ephedrine, codeine, caroverine (이하생략) 등의 순으로 나타났으며, 이와 같이 선정된 100종의 약물을 임상용도별로 분류하여 총 처방회수 521,855회에 대한 백분율을 조사한 결과는 다음과 같다. 중추신경계약물 (20.57%)이 가장 많았고, 다음은 위장관 및 평활근에 작용하는 약물 (18.64%), 호흡기계약물 (16.11%), 항균제 (15.12%), 심혈관 계약물 (5.64%)의 순으로 많았으며, 그 다음은 소염제 (4.33%), 단독비타민제 (3.76%), 호르몬 및 항호르몬제 (3.29%), 감기치료제 (3.12%), 이뇨제 (2.81%), 간기능이상치료제 (2.02%), 자율신경계약물 (1.89%), 항히스타민제 (1.02%) 및 소독약 (0.74%) 등의 순으로 나타났다.

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Nelumbinis Semen Reverses a Decrease in $5-HT_{1A}$Receptor Binding Induced by Chronic Mild Stress, a Depression-like Symptom

  • Jang, Choon-Gon;Kang, Moon-Kyu;Cho, Jae-Han;Lee, Sun-Bok;Kim, Hyun-Taek;Park, Soon-Kwon;Lee, Jin-Woo;Park, Seong-Kyu;Hong, Moo-Chang;Shin, Min-Kyu;Shim, In-Sup;Bae , Hyun-Su
    • Archives of Pharmacal Research
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    • 제27권10호
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    • pp.1065-1072
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    • 2004
  • Depression is associated with a dysfunctional serotonin (5-hydroxytryptamine; 5-HT) system. More recently, several lines of evidence suggest that an important factor in the development of depression may be a deficit in the function and expression of $5-HT_{1A}$ receptors. The present study assessed if Nelumbinis Semen (N. s.) had an anti-depression effect through reversing a decrease in $5-HT_{1A}$receptor binding in rats with depression-like symptoms induced by chronic mild stress. Using a $5-HT_{1A}$ receptor binding assay, with a specific $5-HT_{1A}$receptor agonist, 8- OH-DPAT (8-hydroxy-2-(di-n-propylamino) tetralin), the mechanism of the anti-depression effect of N. s. on rats was investigated, and the effects compared with two well-known antidepressants, Hyperium Perforatum (St. Johns Wort) and fluoxetine (Prozac). Animals were divided into five groups: the normal (N) group without chronic mild stress (CMS), the control (C) group under CMS for 8 weeks, the Nelumbinis Semen (N. s.) treatment group under CMS for 8 weeks, the Hyperium Perforatum (H. p.) treatment group under CMS for 8 weeks and finally, the fluoxetine (F) treatment group under CMS for 8 weeks. Each treatment was administered to rats during the last 4 weeks of the 8-week CMS. A sucrose intake test was performed to test the anti-depression effect of N. s. The N. s. treatment significantly reversed the decreased sucrose intake under CMS (P<0.05 compared to control group under CMS). In the CA2 and CA3 regions of the hippocampus, both N. s. and H. p. reversed the CMS-induced decrease in $5-HT_{1A}$receptor binding. In the I to II regions of the frontal cortex, N. s. and H. p. also reversed the CMS-induced decrease in$5-HT_{1A}$receptor binding, and even showed a significant increase in $5-HT_{1A}$receptor binding compared to the F treatment group (N. s. vs. P, p<0.05, H. p. vs. P, p<0.05). However, in the hypothalamus, all treatments reversed the CMSinduced decrease in $5-HT_{1A}$receptor binding. This reversal effect of N. s. on the decrease in $5-HT_{1A}$receptor binding in the frontal cortex, hippocampus and hypothalamus of rat brains was very similar to that of H. p, but different from that of F. It is concluded that N. s. presents an anti-depression effect through enhancing $5-HT_{1A}$receptor binding.

항온과 변온조건에서 복숭아혹진딧물의 발육비교 및 온도 발육모형 (Comparison of Development times of Myzus persicae (Hemiptera:Aphididae) between the Constant and Variable Temperatures and its Temperature-dependent Development Models)

  • 김도익;최덕수;고숙주;강범용;박창규;김선곤;박종대;김상수
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제51권4호
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    • pp.431-438
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    • 2012
  • 복숭아혹진딧물(Myzus persicae)의 온도에 따른 발육시험을 실내 15, 18, 21, 24, 27, $30^{\circ}C$의 6개 항온, 광주기 14L:10D, 상대습도 50~60% 조건과 고추 비닐하우스에서 3월 23일부터 8월 20일까지 6회 접종하여 수행하였다. 실내사망률은 저온에서는 1~2령충의 사망률이 높았고 온도가 증가할수록 3~4령충의 사망률이 높았으며 고온에서는 66.7%까지 높아졌다. 실내와 포장조건 모두 온도가 증가할수록 발육기간이 짧아지는 경향을 보였으며 포장조건 8월 접종에서 6.03일로 가장 짧았다. 온도와 발육률과의 관계를 보기 위해 선형 및 3개의 비선형 모형(Briere 1, Lactin 2, Logan 6)을 이용하여 분석한 결과, 선형모형을 이용하여 전체약충의 발육영점온도는 $3.0^{\circ}C$였으며 발육유효적산온도는 111.1DD 였다. 3가지 비선형 모형중 Logan-6 모형이 전약충, 후약충 전체약충 단계에서 AIC와 BIC 값이 가장 적어 온도와 발육율과의 관계를 잘 설명하였으며, 발육단계별 발육완료분포는 3-parameter Weibull 함수를 사용하였으며 전약충, 후약충, 전체약충에서 $r^2$ 값이 0.95~0.97로 높은 값을 보여 양호한 모형 적합성을 보였으며 정식시기별 성충 발생 예측치와 포장 조사치가 일치하여 방제적기 추정에 유용하게 사용할 수 있을 것이다.

실내 항온과 온실 변온조건에서 목화진딧물의 온도 발육비교 (Comparison of Temperature-dependent Development Model of Aphis gossypii (Hemiptera: Aphididae) under Constant Temperature and Fluctuating Temperature)

  • 김도익;고숙주;최덕수;강범용;박창규;김선곤;박종대;김상수
    • 한국응용곤충학회지
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    • 제51권4호
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    • pp.421-429
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    • 2012
  • 목화진딧물 (Aphis gossypii)의 온도에 따른 발육시험을 실내 15, 18, 21, 24, 27, $30^{\circ}C$의 6개 항온, 광주기 14L:10D, 상대습도 50~60% 조건과 오이 비닐하우스에서 3월 23일부터 8월 20일까지 6회 접종하여 수행하였다. 실내사망률은 저온에서는 2~3령충의 사망률이 높았고 온도가 증가할수록 3~4령충의 사망률이 높았으며 고온에서 전체 사망률이 높았다. 전체 약충의 발육기간은 실내에서 $15^{\circ}C$에서 12.2일로 가장 짧았으며 변온의 $28.5^{\circ}C$에서 4.09일로 가장 짧았다. 온도와 발육율과의 관계를 보기위해 선형 및 3개의 비선형 모형(Briere 1, Lactin 2, Logan 6)을 이용하여 분석한 결과, 선형모형을 이용하여 전체약충의 발육영점온도는 $6.8^{\circ}C$였으며 발육유효적산온도는 각각 111.1DD였다. 3가지 비선형 모형중 Logan-6 모형이 전약충, 후약충 전체약충 단계에서 AIC와 BIC 값이 가장 적어 온도와 발육율과의 관계를 잘 설명하였으며, 발육단계별 발육완료분포는 3-parameter Weibull 함수를 사용하였으며 전약충, 후약충, 전체약충에서 $r^2$값이 0.88~0.91로 높은 값을 보여 양호한 모형 적합성을 보였으며 정식시기별 성충 발생 예측치와 포장 조사치가 일치하여 방제적기 추정에 유용하게 사용할 수 있을 것이다.

토양입자분포 프랙탈차원을 활용한 논토양 쟁기바닥층 물이동 추정 (Water Transport Characteristics of Paddy Plow Pan Soils as Estimated by Particle Size Distribution Fractal Dimension)

  • 한경화;조현준;허승오;하상건;조희래;전상호
    • 한국토양비료학회지
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    • 제43권1호
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    • pp.1-7
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    • 2010
  • 본 연구는 논토양 쟁기바닥층을 대상으로 특성을 파악하고 토양입자분포를 프랙탈차원화하여 물이동을 추정하고자 수행하였다. 모내기전 비담수기에 보통논과 사질논 12지점을 각각 선정하였다. 선정지점에서 깊이별 관입경도를 측정하여 쟁기바닥층 출현깊이와 두께를 도출하였다. 표토와 쟁기바닥층에서 토양입자분포, 유기물함량, 산중식 경도를, 쟁기바닥층에서 2인치 코아시료를 채취한 후 변수위법으로 포화수리전도도를 측정하였다. 토양입자분포의 프랙탈 차원화는 측정한 입자분포자료, 0-0.002, 0.002-0.053, 0.053-0.1, 0.1-0.25, 0.25-0.5, 0.5-1.0, 1.0-2.0 mm의 함량을 활용하여 Tyler와 Wheatcraft (1992)의 방법을 따랐다. 조사한 연구지점의 쟁기바닥층 출현깊이는 5-30 cm, 두께는 5-17 cm로 분포하였으며 보통논이 사질논보다 평균적으로 출현깊이가 깊고 두께는 얇은 것으로 나타났다. 또한 보통논은 점토함량이 18%이상으로 상대적으로 세립질 토성을, 사질논은 18%이하로 조립질 토성을 나타내었다. 토양입자분포의 프랙탈차원 ($D_m$)은 세립질 토성일수록 높은 값을 나타내었으며 조립질토양에서 더 높은 프랙탈성을 나타내었다. 포화수리전도도는 0.5-1420 mm $day^{-1}$로 분포하였으며 사력질 사질논에서 가장 높은 값을 나타내었다. 포화수리전도도는 점토함량과 $D_m$이 증가함에 따라 감소하는 경향이 나타났으며 멱함수의 형태를 나타내었다. 점토함량보다 $D_m$을 독립변수로 사용했을시, 적합된 멱함수의 결정계수가 높았으며 특히 사질논이 보통논보다 결정계수가 높게 나타났다. 따라서 본 연구는 토양입자분포를 프랙탈 차원화를 통해 단일 값으로 표현하여 포화수리전도도 등의 물이동 특성 추정에 활용할 수 있다고 보여준다 할 수 있다. 특히 조립질 토성을 가진 논토양의 물이동 추정에 유용할 것으로 판단할 수 있었다.

Continuous rotary system과 single file system의 만곡 근관 형태 유지능에 대한 비교 연구 (Comparative Study on the Ability of Instruments to Maintain Original Canal Curvature of Continuous rotary System and Single File System)

  • 박상희;김덕중;송용범;이혜윤;김형선;이광원;유미경
    • 구강회복응용과학지
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    • 제28권4호
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    • pp.371-383
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    • 2012
  • 성공적인 근관치료를 위하여 원래 근관 형태를 따르는 근관 성형 과정이 중요하다. 그러나 대부분의 근관은 만곡되어 있고, 근관 성형 기구는 직선의 금속을 기본으로 만들어지기 때문에 근관 성형 후 만곡 근관이 원래 근관 형태를 벗어나는 오류가 나타날 수 있다. 이런 오류들로 인하여 근관 치료가 실패할 수 있으므로 근관 성형시 원래 만곡형태를 유지할 수 있는 다양한 기술과 방법들이 소개되고 있다. 본 연구의 목적은 만곡 근관 형태의 레진 모형을 이용하여 기구의 형태와 사용방법이 다른 세 가지 Ni-Ti 파일을 사용하여 Ni-Ti 파일 종류에 따른 만곡 근관에 대한 성형 후 형태 유지능을 비교하는 것이다. 직경과 경사도가 ISO 15, 0.02인 30개의 레진모형을 사용하였다. 그룹 1은 Profile을 이용하여 #20/.06까지 근관 성형하였고, 그룹 2는 Mtwo를 이용하여 #35/.04까지 근관 성형하였으며, 그룹 3은 PathFile을 이용하여 glide path를 만들어준 다음 WaveOne 파일 중 Primary을 사용하여 근관 성형하였다. 기구 사용 전과 후의 레진모형을 스캔하여 디지털 이미지로 만들었다. 각 이미지를 중첩시킨 다음 Matlab r2010b 소프트웨어를 이용하여 곡률반경의 비(CRr)를 계산하였다. 이를 바탕으로 Ni-Ti file 간 성형 후 형태 유지능을 비교하기 위하여 1-way ANOVA를 이용하여 세 그룹의 CRr의 차이에 대한 유의성 검정을 시행하였다.(P<.05) 또한 continuous rotary system과 single file system간의 형태 유지능을 비교하기 위하여 independent t-test를 이용하였다.(P<.05) 곡률반경의 비(CRr)를 이용하여 Ni-Ti 파일 종류에 따른 만곡 근관의 형태 유지능을 비교한 결과 Ni-Ti file 간에는 통계적으로 유의한 차이가 있었다.(P<0.05) ProFile과 WaveOne은 Mtwo에 비해서 만곡 근관에서의 형태 유지능이 우수하게 나타났다.Ni-Ti 기구 사용 방법에 따른 만곡 근관 형태 유지능을 비교한 결과 continuous rotary system과 single file system 간에는 통계적으로 유의한 차이를 보이지 않았다.(P>0.05) 본 연구결과에 따르면, ProFile과 WaveOne은 Mtwo에 비하여 만곡 근관에서의 형태 유지능이 통계적으로 유의하게 높게 나타났으므로, ProFile과 WaveOne이 만곡근관에 대한 형태 유지능이 우수하다고 할 수 있다. 만곡근관에서의 형태 유지능에 있어서 continuous rotary system과 single file system은 만곡근관에서의 형태 유지능에 차이가 없다.

RTCVD에 의한 다결정 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 증착 (Deposition of Poly-$Si_{1-x}Ge_x$ Thin Film by RTCVD)

  • 김재중;이승호;소명기
    • 한국재료학회지
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    • 제5권6호
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    • pp.690-698
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    • 1995
  • Oxidized Si wafer 위에 반응가스로 Si $H_4$과 Ge $H_4$을 사용하여 RTCVD(rapid thermal chemical vapor deposition)법으로 증착온도 450~5$50^{\circ}C$에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 증착하였다. 증착된 S $i_{1-x}$, G $e_{x}$ 박막은 증착온도와 Ge $H_4$Si $H_4$입력비 변화에 따른 Ge몰분율 변화와 증착속도에 대해 고찰하였으며, XRD와 AFM(atomic force microscopy)등을 이용하여 결정상과 표면거칠기 등을 조사하였다. 실험결과, 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 32~37 Kcal/mole의 활성화에너지 값을 가졌으며 증착속도는 증착온도와 입력비 중가에 따라 증가하였다. 또한 조성분석으로부터 입력비 감소와 증착온도 증가에 따라 Ge몰분율이 감소함을 알 수 있었다. 증착된 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막은 450, 475$^{\circ}C$에서 임력비가 0.05일때 비정질 형태로 존재하였으며 그 이외의 실험영역에서는 다결정 형태로 존재하였다. 기존의 다결정 Si 중착온도($600^{\circ}C$이상)와 비교하여 Ge $H_4$을 첨가함으로써 비교적 낮은온도(5$50^{\circ}C$이하) 영역에서 다결정 S $i_{1-x}$G $e_{x}$ 박막을 얻을 수 있었다. 또한 증착층의 표면거칠기를 측정한 결과, 증착온도와 입력비가 증가함에 따라 표면 거칠기( $R_{i}$ )가 증가함을 알 수 있었다.을 알 수 있었다.

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