• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2004년도 Asia Display / IMID 04
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• pp.495-498
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• 2004

PDP use the mixture of inert gases to generate a discharge inside display pixels. Inside of PDP, there exist highly reactive conditions in the gap between two glass panels. MgO layer and phosphor have been investigated as a function of discharge and thermal process. Impurities such as CO, $CO_2$, OH and $H_2O$ in discharge region may deteriorate the characteristics of PDP operation during life time. Change of impurity generation of various MgO and phosphor surfaces were measured by using x-ray photoelectron spectroscopy(XPS) and quadropole mass spectrometer (QMS). Carbon containing species such as C, CO and $CO_2$ were drastically increased on the surfaces during discharge and thermal treatment. Carbon impurities on the MgO and phosphor are the dominant factor for their instability.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2013년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.171-172
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• 2013

종래의 흑연 위주 연료전지 분리판 개발되어 최근 고분자 전해질 막 연료전지가 높은 전력, 낮은 배기 가스 배출, 낮은 작동 온도로 자동차 산업에서 상당한 주목을 받고 있다. 요구사항은 높은 전기 전도도, 높은 내식성, 낮은 가스 투과성, 낮은 무게, 쉬운 가공, 낮은 제조비용이다. Thin film Cr 장비로 저항가열 furnace, sputter 등이 사용된다. 연료전지 분리판의 고전도도, 내부식성 보호막의 고속 증착을 위한 새로운 증착원으로 스퍼터 - 승화형 소스의 가능성을 유도 결합 플라즈마에 금속 봉을 직류 바이어스 함으로써 시도하였다. 유도 결합 플라즈마를 이용하여 승화증착 시스템을 사용하여 OES(SQ-2000)와 QMS (CPM-300)를 사용하여 $N_2$ flow에 따른 유도 결합 플라즈마를 이용한 스퍼터-승화 증착 시스템을 사용하여도 균일한 공정을 하는 것을 확인 하였다.

• 한국진공학회지
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• 제16권2호
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• pp.91-98
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• 2007

한국표준과학연구원 진공기술센터에서 잔류기체분석기 교정장치를 개발하였으며, 이 장치를 이용하여 서로 다른 구조를 가진 두개의 사중극 질량분석기 (quadrupole mass spectrometer)의 질소, 아르곤, 헬륨에 대한 기체감도를 측정하였다. 그 결과 기체감도는 QMS 구조와 상관없이 기체의 질량이 클수록 높게 나타났고 압력에 따라서도 다른 특성을 보였으므로 정확한 사용을 위해서는 기체감도를 꼭 보정해야 함을 알 수 있었다.

• 한국경영과학회:학술대회논문집
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• 한국경영과학회 2001년도 추계학술대회 논문집
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• pp.362-365
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• 2001

Human, physical damage is happened frequently to consumer's safety accident by product defect on modern industrial society. Accordingly, advanced nation including the United States of America enforce product liability law and is protecting consumer more actively from danger of product defect. Our country(Korea) may enforce product liability law since July, 2002, and if business does not grope effective confrontation way about PL, capital strength weak smaller enterprise and venture business corporation's competitive power may affect much corporation's competitive power enfeeblement and survival. This research supplement based on induction and operating QMS in smaller enterprise essential factor that corporations must equip according to product liability law enforcement. And we present integration quality management system model of Product liability to do so that smaller enterprises may can cope effectively at force of Product liability law.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2005년도 International Meeting on Information Displayvol.II
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• pp.1199-1202
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• 2005

Inside of working PDP, there exist highly reactive conditions in the gap between two glass panels. MgO film and phosphor have been investigated as a function of discharge, also phosphor and sealing frits have been investigated as a function of temperature. Changes of impurity generation of MgO, phosphor and sealing fits were measured by using x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) and quadropole mass spectroscopy (XPS) and quadropole mass spectrometer (QMS). Impurities such as CO, $CO_2$, OH and $H_2O$ were increased during discharge and heating treatment. Gaseous impurities such as carbon compounds and water deteriorated the characteristics of PDP operation during of lifetime. So metal is used to remove the impurities of phosphor and sealing frits during hearting, the result that the quantity of the impurities such as carbon monoxide and water was reduced.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21
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• pp.73-73
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• 2008

In this work, the study on the $SiO_2$ film non-uniformity by PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) was performed. Plasma diagnostics was analyzed by a DLP(Double Langmuir Probe) and a probe-type QMS(Quadrupole Mass Spectrometer) in order to investigate the spatial distribution of the plasma species in the chamber. The relationship between the plasma species and the depositing rate of the films was examined. On the basis of this work, it was confirmed that O radical density mainly contributed to the increase in the depositing rate of the $SiO_2$ films and the electron temperature in the plasma had a main effect on the formation of the oxygen radicals.

• 한국정보처리학회:학술대회논문집
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• 한국정보처리학회 2005년도 춘계학술발표대회
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• pp.679-682
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• 2005

지식정보사회에서 정보 품질에 관한 문제는 국가 경쟁력을 좌우하는 요소로 자리 잡고 있다. 이러한 인식을 바탕으로 정보를 연구하는 많은 학문 분야에서도 정보 품질 향상에 관한 연구를 지속적으로 수행하고 있다. 특히 ISO 9001:2000 품질경영시스템의 도입을 통한 정보 품질 향상을 위한 노력은 단순히 연구의 수준을 넘어 실제적으로 업무에 적용되고 있다. 본 연구는 실제적으로 수행되고 있는 정보 품질 향상을 위한 ISO 9001:2000 품질경영시스템의 도입 실례들을 살펴보고 이를 효율적으로 수행하기 위한 전산시스템의 구축에 관하여 살펴보고자 한다.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제55권4호
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• pp.204-208
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• 2006

In this study, we investigated the ion energy distributions in a chlorine based inductively coupled plasma by quadrupole mass spectrometer with an electrostatic ion energy analyzer. Ion energy distributions are presented for various plasma parameters such as $BCl_3/Ar$ gas mixing ratio, RF power, and process pressure. As the $BCl_3/Ar$ gas mixing ratio and process pressure decreases, and RF power increases, the saddle-shaped structures is enhanced. The reason is that there are ionized energy difference between $BCl_3$ and Ar, change of plasma potential, alteration of mean free path. and variety of ion collision in the sheath.

• 품질경영학회지
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• 제37권2호
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• pp.12-21
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• 2009

Organizations worldwide have implemented quality management system, ISO 9001:2000 and environmental management system, ISO 14001:2004. Researches have been conducted regarding occupational health and safety management system, integration of these management systems, and extension to corporate social responsibility and sustain ability management system, ISO 26000. This paper examines quality and environment management systems for machinery and metal companies using audit results. We perform statistical tests to see if there are any significant differences of minor nonconformities for requirements of ISO 9001:2000 and ISO 14001:2004 based on implementation motive, operating periods, and organization's size. We also present causes and reasons for statistical differences and minor nonconformities to use as references for implementing efficiently quality management system and environment management system.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2010년도 제39회 하계학술대회 초록집
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• pp.133-133
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• 2010

중성입자빔 입사장치(neutral beam injection, NBI)의 중성빔 에너지 효율은 이온원의 수소 이온밀도 분율이 결정한다. 이온원에서 만들어진 $H^+$, $H_2^+$ 그리고 ${H_3}^+$는 중성화 과정(neutralization) 중 해리(dissociation) 때문에 각각 입사 에너지의 1, 1/2 그리고 1/3을 가진 중성입자가 된다. 중성빔 에너지 효율 제고하기 위해서는 이온원의 전체 이온 중 단원자 수소 이온 밀도 증가가 필요하다. 유도결합형 수소 플라즈마 이온원에서 RF 안테나 주파수에 따른 플라즈마 밀도와 단원자 수소 이온 밀도 비율 변화를 관찰하였다. RF 플라즈마에서 가스 압력이 결정하는 전자의 운동량 전달 충돌 주파수 대비 높은 RF 안테나 주파수(13.56 MHz)와 낮은 RF 안테나 주파수(수백 kHz)의 전력을 인가하였으며, Langmuir 탐침, 안테나 V-I 측정기 그리고 QMS(quadrupole mass spectrometer)을 이용하여 플라즈마 특성을 진단하였다. 플라즈마 밀도와 수소 이온 밀도 분율은 플라즈마 가열 메커니즘과 수소 플라즈마 내 반응 메커니즘에 의해 결정된다. 플라즈마 가열 메커니즘에 따른 실험 결과에 대한 RF 안테나 주파수 효과는 플라즈마 트랜스포머 회로 모델을 통해 해석하였으며, 수소 플라즈마 내 반응은 0-D 정상 상태의 입자 및 전력 평형 방정식 결과로 해석하였다.