• Title/Summary/Keyword: Pulsed

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The Effect of Ultrasound Irradiation on the Neural Cell Adhesion Molecules(NCAM) Expression in Rat Spinal Cord after the Sciatic Nerve Crush Injury (초음파가 흰쥐의 좌골신경 압좌손상 후 척수내 Neural Cell Adhesion Molecules의 발현에 미치는 영향)

  • Kim, Hyun-Ae;Han, Jong-Man
    • The Journal of Korean Physical Therapy
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    • v.19 no.2
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    • pp.41-55
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    • 2007
  • Purpose: This study aimed to compare the effect on nerve regeneration of ultrasound irradiation in rats with peripheral nerve injury. Methods: To investigate alterations of the NCAM immunoreactivity in non-crushed part and crushed part of the spinal cord, the unilateral sciatic nerve of the rats were crushed. The expression of NCAM was used as the marked of peripheral nerve regeneration, and also plays an important role in developing nerve system. Experimental animals were sacrificed by perfusion fixation at post-injury 1, 3, 7, 14 days after ultrasound irradiation. The pulsed US was applied at a frequency of 1MHz and a spatial average-temporal average Intensity of 0.5W/of (20% pulse ratio) for 1 mins. The Luxol fast blue-cresyl violet stain were also done to observe the morphological changes. Results: Alteration of NCAM immunoreactivity in the crushed part and the non-crushed part of lower lumbar spinal cord were observed. NCAM-immunoreactivity cells were some increased in the dorsal horn lamina I, III and cell ventral horn at 1 day after unilateral sciatic nerve injury. However, there was not significant difference in the relationship between crushed part and non-crushed part. NCAM-inmmunoreactivity was remarkably increased at 3 days after unilateral sciatic nerve injuryin the gray matter and white matter. NCAM-immunoreactivity was increased in the ventral horn and post horn of experimental crushed part. Also, NCAM-immunoreactivity in large motor neurons in ventral horns lamina VIII, IX were increased at 7 days after unilateral sciatic nerve injury. At 14 days after sciatic nerve crushed injury, there was no significant difference. All group were decreased for 14 days. In the time course of NCAM expression, all groups showed a significant difference at 3day groups(p<0.05). Whereas, CC group was noted a significant difference between 3day and 7 day group respectively. In NCAM expression, there were significantly increased in all group. In the relationship between CNC group and ENC group, significant difference was detected among 3, 7, 14 day group(p<0.05). The difference between CC group and ENC group were noted in all groups(p<0.05). Conclusion: It is consequently suggested that the effects of the ultrasound irradiation may increase the NCAM immunoreactive neurons and glial cell in the spinal cord after unilateral sciatic nerve crushed injury. Therefore, the increased NCAM immunoreactivity in the spinal cord may reflect the neuronal damage and healing process induced by a ultrasound irradiation after peripheral nerve injury in rat.

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레이저 유도 형광법(Laser Induced Fluorescence)을 이용한 플라즈마 방전 표시기(Plasma Display Panel)내의 전계 측정에 관한 연구

  • 김정훈;이준학;최영욱;양진호;황기웅
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 1999.07a
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    • pp.232-232
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    • 1999
  • 교류형 플라즈마 방전 표시기(AC Plasma Display Panel, AC PDP)에 사용되는 플라즈마는 그 부피가 너무 작아서 플라즈마에 변화를 일으키지 않고 그 물성을 관측하기란 쉬운일이 아니다. 그래서 주로 PDP 내의 물성을 관측하는 데 시뮬레이션에 의존하게 된다. 그 물성중에 PDP내의 전계 분포에 대한 정보는 방전의 형성 및 소멸에 대한 많은 단서를 제공하고 있다. 특히 AC PDP의 경우, 유전체에 형성되는 벽적하(wall charge)가 방전의 형성 및 PDP 구동에 중요한 역할을 하는데, 이는 PDP 내의 전계 분포를 살펴봄으로써 대략 예측할 수 있다. 본 연구에서는 시뮬레이션에 의존하지 않고, 직접 레이저 유도 형광법을 이용하여 AC PDP 내의 전계를 측정하였다. 방전 가스인 헬륨(He)의 에너지 준위는 전계의 크기에 따라 에너지 준위가 변화하여, Rydberg(n$\geq$8) 준위가 여러 개의 준위로 나누어지는 현상이 일어나는데, 이를 Stack 효과라고 한다. 따라서 전계의 세기가 커짐에 따라서 각 준위와 준위 사이 값(splitting)이 커지는데, 이를 이용하면 전계를 측정할 수 있다. 즉, 헬륨 원자를 여기시키는 레이저 파장을 변화시키면서 관측되는 레이저 유도 형광 신호를 관측하면, 준위의 splitting을 관측할 수 있다. 본 연구에서는 PDP 내의 전계의 시간적 변화를 관측하였다. 50%, 40kHz의 구형파를 PDP의 두 전극에 가하였을 때, 플라즈마가 켜진 상태뿐만 아니라 플라즈마가 꺼진 후에도 전계에 의한 Splitting 신호가 관측이 되었는데, 전계로 환산하였을 때, 그 값은 대략 수 kV/cm의 값을 갖았는데, 이는 wall charge에 의한 값으로 사료된다.결과로 생각되어진다.플라즈마의 강도값을 입력하여 플라즈마의 radiation을 검출하고, 스퍼터링 공정중 실질적인 in-situ 정보로 이용하였다. PEM을 통하여 In/Sn의 플라즈마 강도변화를 조사하였다. 초기 In/Sn의 플라즈마 강도(intensity)는 강도를 100하여, 산소를 주입한 결과, plasma intensity가 35 줄어들었고, 이때 우수한 ITO 박막을 얻을 수 있었다. Pulsed DC power를 사용하여 아크 현상을 방지하였다. PET 상에 coating 된 ITO 박막의 표면저항과 광투과도는 4-point prove와 spectrophotometer를 이용하여 분석하였고, AES로 박막의 두께에 따른 성분비를 확인하였다. ITO 박막의 광투과도는 산소의 유량과 sputter 된 In/Sn ion의 plasma emission peak에 따라 72%-92%까지 변화하였으며, 저항은 37$\Omega$/$\square$ 이상을 나타내었다. 박막의 Sn/In atomic ratio는 0.12, O/In의 비율은 In2O3의 화학양론적 비율인 1.5보다 작은 1.3을 나타내었다.로 보인다.하면 수평축과 수직축의 분산 장벽의 비에 따라 cluster의 두께비가 달라지는 성장을 볼 수 있었고, 한 축 방향으로의 팔 넓이는 fcc(100) 표면의 경우 동일한 Ed+Ep값에 대응하는 팔 넓이와 거의 동일한 결과가 나타나는 것을 볼 수 있다. 따라서 이러한 비대칭적인 모양을 가지는 성장의 경우도 cluster 밀도, cluster 모양, cluster의 양 축 방향 길이 비, 양 축 방향의 평균 팔 넓이로부터 각 축 방향의 분산 장벽을 얻어낼 수 있을 것으로 보인다. 기대할 수 있는 여러

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Copper Filling to TSV (Through-Si-Via) and Simplification of Bumping Process (비아 홀(TSV)의 Cu 충전 및 범핑 공정 단순화)

  • Hong, Sung-Jun;Hong, Sung-Chul;Kim, Won-Joong;Jung, Jae-Pil
    • Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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    • v.17 no.3
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    • pp.79-84
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    • 2010
  • Formation of TSV (Through-Si-Via) with an Au seed layer and Cu filling to the via, simplification of bumping process for three dimensional stacking of Si dice were investigated. In order to produce the via holes, the Si wafer was etched by a DRIE (Deep Reactive Ion Etching) process using $SF_6$ and $C_4F_8$ plasmas alternately. The vias were 40 ${\mu}m$ in diameter, 80 ${\mu}m$ in depth, and were produced by etching for 1.92 ks. On the via side wall, a dielectric layer of $SiO_2$ was formed by thermal oxidation, and an adhesion layer of Ti, and a seed layer of Au were applied by sputtering. Electroplating with pulsed DC was applied to fill the via holes with Cu. The plating condition was at a forward pulse current density of 1000 mA/$dm^2$ for 5 s and a reverse pulse current density of 190 mA/$dm^2$ for 25 s. By using these parameters, sound Cu filling was obtained in the vias with a total plating time of 57.6 ks. Sn bumping was performed on the Cu plugs without lithography process. The bumps were produced on the Si die successfully by the simplified process without serious defect.

S-Band 300-W GaN HEMT Harmonic-Tuned Internally-Matched Power Amplifier (S-대역 300 W급 GaN HEMT 고조파 튜닝 내부 정합 전력증폭기)

  • Kang, Hyun-Seok;Lee, Ik-Joon;Bae, Kyung-Tae;Kim, Seil;Kim, Dong-Wook
    • The Journal of Korean Institute of Electromagnetic Engineering and Science
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    • v.29 no.4
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    • pp.290-298
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    • 2018
  • Herein, an S-band internally-matched power amplifier that shows a power capability of 300 W in a Long Term Evolution(LTE) band 7 is designed and fabricated using a CGHV40320D GaN HEMT from Wolfspeed. Based on the nonlinear model, the optimum source and load impedance are extracted from the source-pull and load-pull simulations at the fundamental and harmonic frequencies, and the harmonic impedance tuning circuits are implemented inside a ceramic package. The internally matched power amplifier, which is fabricated using a thin-film substrate with a high relative permittivity of 40 and an RF35TC PCB substrate, is measured at the pulsed condition with a pulse period of 1 ms and a duty cycle of 10%. The measured results show a maximum output power of 257~323 W, a drain efficiency of 64~71%, and a power gain of 11.5~14.0 dB at 2.62~2.69 GHz. The LTE-based measurement shows a drain efficiency of 42~49% and an ACLR of less than -30 dBc(excluding 2.62 GHz) at an average power of 79 W.

Anti-cancer Effect of Hematopoietic Stem Cell-derived Allogeneic-DC Vaccine in Melanoma Metastasis Model (마우스 동종 줄기세포 유래 수지상 세포를 이용한 백신의 흑색종 폐암 전이 모델에서의 항암 효과 및 기전 연구)

  • Kim, Myoung-Joo;Shon, Hye-Jin;Baek, So-Young;Lee, Kang-Eun;Lee, Young-Joon;Lee, Hyun-Ah
    • IMMUNE NETWORK
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    • v.6 no.3
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    • pp.154-162
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    • 2006
  • Background: Dendritic cell (DC)-based cancer immunotherapy is studied for several years. However, it is mainly derived from autologous PBMC or leukapheresis from patient, which has limitations about yield and ability of DC production according to individual status. In order to solve these problems, inquiries about allogeneic DCs are performed but there are no preclinical trial answers for effect or toxicity of allogeneic DC to use for clinical trial. In this study, we compared the anti-tumor effect of allogeneic and autologous DCs from mouse bone marrow stem cells in mouse metastatic melanoma model. Methods: B16F10 melanoma cells ($5{\times}10^4$/mouse) were injected intravenously into the C57BL/6 mouse. Therapeutic DCs were differentiated from autologous (C57BL/6: CDC) or allogeneic (B6C3F1: BDC) bone marrow stem cells with GM-CSF, SCF and IL-4 for 13days and pulsed with B16F10 tumor cell lysate (Blys) for 18hrs. DC intra-peritoneal injections began on the 8th day after the tumor cell injection by twice with one week interval. Results: Anti-tumor response was observed by DC treatment without any toxicity especially in allogeneic DC treated mice (tumor burden score: $2.667{\pm}0.184,\;2.500{\pm}0.463,\;2.000{\pm}0.286,\;1.500{\pm}0.286,\;1.667 {\pm}0.297$ for saline, CDC/unpulsed-DC: U-DC, CDC/Blys-DC, BDC/U-DC and BDC/Blys-DC, respectively). IFN-${\gamma}$ secretion was significantly increased in allogeneic DC group stimulated with B16F10 cell lysate ($2,643.3{\pm}5,89.7,\;8,561.5{\pm}2,204.9.\;6,901.2{\pm}141.1pg/1{\times}10^6$ cells for saline, BDC/U-DC and BDC/Blys-DC, respectively) with increased NK cell activity. Conclusion: Conclusively, promising data was obtained that allogeneic DC can be used for DC-based cancer immunotherapy.

기판후면 온도 모니터링을 이용한 CIGS박막 하향 증착시스템 개발 및 그 소자로서의 특성 연구

  • Kim, Eun-Do;Cha, Su-Yeong;Mun, Il-Gwon;Hwang, Do-Won;Jo, Seong-Jin;Kim, Chung-Gi;Kim, Jong-Pil;Yun, Jae-Ho
    • Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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    • 2014.02a
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    • pp.443-443
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    • 2014
  • CIS 박막을 제조하기 위한 방법으로 셀렌화(selenization)방식, MOCVD방식, 동시진공증발(co-evaporation)방식, 전착(electrodeposition)방식 등이 있으나, 이러한 방식을 이용하여 CuInSe2 박막을 제조하는 경우 어떤 방법으로든 다원화합물의 조성 및 결정성을 조절하기가 매우 어려운 단점이 있었다. 기판의 온도를 일정 온도로 유지하도록 하고, 증발원을 가열하여 이에 내포된 물질(이원화합물 또는 단일원소)을 증발시켜 기판에 증착이 이루어지도록 하거나, 기판의 온도를 승온시키고 구리 이원화합물을 내포한 증발원을 가열해 물질을 증발시켜 기판에 증착이 이루어지도록 하는 방법으로 기판에 박막이 형성되도록 한다. 기판의 대면적화로 인해 균일한 박막의 형성이 어려워지고 있으며, 이중 15% 이상의 고효율을 보인 방법은 3-stage process를 이용한 동시진공증발방식으로, Cu, In, Ga, Se 등의 각 원소를 동시에 진공 증발시키면서 조성을 조절하여 태양전지에 적절한 전기적, 광학적 특성을 가지는 Cu(In,Ga)Se2 (CIGS)박막을 증착시키는 방법이다. 일반적으로, 실험실에서 연구되고 있는 장비의 구조는 증발원이 아래에 장착되어서 상향 증착되는 방식이다. 본 연구에서 사용된 장비는 하향 증발원이 측면에 장착되어서 하향 증착되는 방식으로 구성하였다. 증착되는 면방향으로, 적외선온도계(pyrometer)가 설치된 시창(viewport)의 오염 등으로 인하여, 지속적인 공정이 이루어지기 힘든 점을 개선하여 증착기판의 후면에 적외선 온도계를 설치하여 기판의 온도변화를 감지하여 공정에 반영할 수 있도록 하였다. 본 연구에서는 하향식 진공 증발원, 기판후면 온도모니터링모듈 등을 개발 장착하여, CIGS 박막을 제조하였으며, 버퍼층은 moving 스퍼터링법으로 ZnS를 증착하였고, 투명전극층은 PLD(Pulsed Laser Deposition)를 이용하여 제조하였다. 가장 높은 광변환효율을 보인 Al/ZnO/CdS/Mo/SLG박막시료는 유효면적 $0.45cm^2$에 광변환효율 15.65 %, Jsc : $33.59mA/cm^2$, Voc : 0.64 V, FF : 73.09 %를 얻을 수 있었으며, CdS를 ZnS로 대체한 Al/ZnO/ZnS/Mo/SLG박막시료는 유효면적 $0.45cm^2$에 광변환효율 12.45 %, Jsc : $33.62mA/cm^2$, Voc : 0.59 V, FF : 62.35 %를 얻을 수 있었다.

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Annealed effect on the Optical and Electrical characteristic of a-IGZO thin films transistor.

  • Kim, Jong-U;Choe, Won-Guk;Ju, Byeong-Gwon;Lee, Jeon-Guk
    • Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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    • 2010.05a
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    • pp.53.2-53.2
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    • 2010
  • 지금까지 능동 구동 디스플레이의 TFT backplane에 사용하고 있는 채널 물질로는 수소화된 비정질 실리콘(a-Si:H)과 저온 폴리실리콘(low temperature poly-Si)이 대표적이다. 수소화된 비정질 실리콘은 TFT-LCD 제조에 주로 사용되는 물질로 제조 공정이 비교적 간단하고 안정적이며, 생산 비용이 낮고, 소자 간 특성이 균일하여 대면적 디스플레이 제조에 유리하다. 그러나 a-Si:H TFT의 이동도(mobility)가 1 cm2/Vs이하로 낮아 Full HD 이상의 대화면, 고해상도, 고속 동작을 요구하는 UD(ultra definition)급 디스플레이를 개발하는데 있어 한계 상황에 다다르고 있다. 또한 광 누설 전류(photo leakage current)의 발생을 억제하기 위해서 화소의 개구율(aperture ratio)을 감소시켜야하므로 패널의 투과율이 저하되고, 게이트 전극에 지속적으로 바이어스를 인가 시 TFT의 문턱전압(threshold voltage)이 열화되는 문제점을 가지고 있다. 문제점을 극복하기 위한 대안으로 근래 투명 산화물 반도체(transparent oxide semiconductor)가 많은 관심을 얻고 있다. 투명 산화물 반도체는 3 eV 이상의 높은 밴드갭(band-gap)을 가지고 있어 광 흡수도가 낮아 투명하고, 광 누설 전류의 영향이 작아 화소 설계시 유리하다. 최근 다양한 조성의 산화물 반도체들이 TFT 채널 층으로의 적용을 목적으로 활발하게 연구되고 있으며 ZnO, SnO2, In2O3, IGO(indium-gallium oxide), a-ZTO(amorphous zinc-tin-oxide), a-IZO (amorphous indium-zinc oxide), a-IGZO(amorphous indium-galliumzinc oxide) 등이 그 예이다. 이들은 상온 또는 $200^{\circ}C$ 이하의 낮은 온도에서 PLD(pulsed laser deposition)나 스퍼터링(sputtering)과 같은 물리적 기상 증착법(physical vapor deposition)으로 손쉽게 증착이 가능하다. 특히 이중에서도 a-IGZO는 비정질임에도 불구하고 이동도가 $10\;cm2/V{\cdot}s$ 정도로 a-Si:H에 비해 월등히 높은 이동도를 나타낸다. 이와 같이 a-IGZO는 비정질이 가지는 균일한 특성과 양호한 이동도로 인하여 대화면, 고속, 고화질의 평판 디스플레이용 TFT 제작에 적합하고, 뿐만 아니라 공정 온도가 낮은 장점으로 인해 플렉시블 디스플레이(flexible display)의 backplane 소재로서도 연구되고 있다. 본 실험에서는 rf sputtering을 이용하여 증착한 a-IGZO 박막에 대하여 열처리 조건 변화에 따른 a-IGZO 박막들의 광학적, 전기적 특성변화를 살펴보았고, 이와 더불어 a-IGZO 박막을 TFT에 적용하여 소자의 특성을 분석함으로써, 열처리에 따른 Transfer Curve에서의 우리가 요구하는 Threshold Voltage(Vth)의 변화를 관찰하였다.

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Characterization of Antimicrobial Resistance Patterns and Integrons of Nontyphoid Salmonella Isolates from Infants in Seoul (서울지역 소아에서 분리된 Nontyphoid Salmonella의 항생제 내성과 Integron의 특징)

  • Jin, Young-Hee;Kim, Jin-Ah;Jung, Ji-Hun;Jeon, Soo-Jin;Lee, Jae-Kyoo;Oh, Young-Hee;Han, Ki-Young;Lee, Young-Ki
    • Korean Journal of Microbiology
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    • v.46 no.4
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    • pp.326-333
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    • 2010
  • A total of 105 nontyphoid Salmonella isolated from infants in Seoul from 2003 to 2009 was investigated for their serotype, antimicrobial resistance, characterization of integron, and the patterns of Pulsed-field gel electrophoresis (PFGE). Eighteen serotypes were detected in 105 isolates, and the two most common serotypes were S. Enteritidis (47.6%) and Montevideo (15.2%). Among the Salmonella serovars, a high level of antimicrobial resistance was found to ampicilin (60%), tetracycline (46.7%), streptomycin (35.2%) and nalidixic acid (28.6%). In the multi-drug resistance patterns, the predominant patterns were only nalidixic acid (15.7%), ampicillin-ampicillin/sulbactam-tetracycline (14.5%), and ampicillin-streptomycin-chloramphenicol-tetracycline (10.8%). PCR and DNA sequencing analysis revealed the presence of class 1 integron in 20 isolates (19%). Of the class 1 integron positive isolates 20% harboured the integron-associated gene cassettes : aadA2, blaP1, dfr17-aadA5, dfrA12-aadA2, and aadA7. PFGE was carried out to examine the genetic relatedness among S. Enteritidis isolates. Except for three strains, fifty strains were divided by three pulsotypes.

The Effect of the Addition of BZO Nanopowder in the YBCO PLD Targets on the Flux Pinning Properties of BZO-YBCO Thin Film (YBCO PLD 타겟에 BZO 나노분말 첨가에 따른 PLD-YBCO 박막의 자속고정 효과)

  • Song, K.J.;Ko, R.K.;Lee, Y.S.;Park, Y.M.;Yang, J.S.;Kim, H.S.;Ha, H.S.;Ha, D.W.;Kim, S.W.;Oh, S.S.;Kim, D.J.;Park, C.;Yoo, S.I.
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2005.11a
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    • pp.20-21
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    • 2005
  • [ $BaZrO_3$ ], nanopowder was added to YBCO powder to make ($BazrO_3)_x(YBCO)_{(100-x)mol.-%}$ ($BZO_x$-YBCO) ($0{\leq}x{\leq}10$) composite targets fur pulsed laser deposition of superconducting layer in order to investigate the effect of the addition of BZO nanopowder in the YBCO target on the flux pinning properties of $BZO_x$-YBCO thin films. All the $BZO_x$-YBCO thin films were grown on single crystal STO substrate under similar conditions in the PLD chamber. The effect of YBCO targets doped with BZO on the flux pinning properties of $BZO_x$-YBCO thin films has been investigated comparatively. The isothermal magnetizations M(H) of the films were measured at temperatures between 5 and 80 K in fields up to 5 T, employing a PPMS. The optimal amount of BZO nanopowders in $BZO_x$-YBCO thin films to obtain the strongest flux pinning effects at high magnetic fields is about 6 mol.-%.

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Wear and corrosion coatings by MO-PACVD and dual plasma processes (MO-PACVD 및 복합 플라즈마 공정에 의한 내마모 내식성 코팅)

  • 김선규
    • Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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    • 1999.10a
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    • pp.3-4
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    • 1999
  • 최근 산업이 고속도화, 고능률화 및 고정멸화의 추세로 발전함에 따라 우수한 내마모성, 인성, 고온 안정성 및 내구성을 갖는 공구 및 금형을 요구하게 되었다. 그러나 이와같은 성질들은 어떤 단일 재료에서는 얻을 수 없으며 적당한 기판공구나 금혈위에 내마모성 보호피막을 coating함으로 비교적 저렴하게 얻을 수 있다. 화학증착법으로 TiC, TiN등을 증착시킬때에는 $1000^{\circ}C$정도의 반응온도가 필요하며 이러한 증착온도는 모재가 초경합금일때는 문제가 안되나 강재일 경우 모재의 연화와 칫수변화의 문제를 야기시킨다. 최근에는 플라즈마를 사용하여 증착반응온도를 $550^{\circ}C$ 이하로 낮추는 플라즈마 화학 증착볍(PACVD)이 대두되고 있다. 그러나 이 방법어서 는 뚱착하려는 금속원소가 TiCl4의 형태로 공급되고 있으므로 생성된 층이 염소를 포함하고 있다. 이 층에 잔존하는 염소는 층의 기계적 성질을 저하시키고 층내의 stress를 유발시킨다. 또한 HCI개스의 생성으로 인하여 펌프 및 장비의 부식이 촉진 된다 이러한 결점을 극복하기 위하여 금속유기화합물 전구체(metallo-organic precursor)로 $TiCl_4$를 대체하고자 하는 연구가 활발하게 진행되고 있으며 본 연구실에서 이에 대하여 연구한 결과를 소개하고자 한다. diethylamino titanium을 전구체로 사용하여 $H_2,\;N_2,\;Ar$분위기하에서 pulsed d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 $150~250^{\circ}C$의 저온에서 Al 2024 기판에 TiCN층 형 성을 하였다. 전구체 증발온도는 $74~78^{\circ}C$의 온도범위어야 하며 고경도의 코탱층은 54% duty, 14.2kHz, 450V의 조건에서 얻어졌으며 duty, 주파수, 전압이 증가함에 따라 경도는 저하되었다. 이때의 표면 morphology를 SEM으로 조사한바 dome structure가 크게 발달되었음을 알 수 있었다. 본 실험의 온도 범위내에서 얻은 TiCN 증착반응의 활성화에너지는 7.5Kcal/mol이었다. 증착된 TiCN층은 우수한 내마모섣을 나타내었으며 스크래치테스트 결과 17N의 엄계하중을 나타내었다. 본 연구에서 변화 시킨 duty, 주파수, 전압의 범위에서는 층의 밀착력은 크게 변화하지 않았다. titanium isopropoxide를 전구체로 사용하여 Hz, Nz 분위기하에서 d.c.를 사용하는 MO-PACVD에 의하여 Ti(NCO) 코팅층을 SKDll, SKD61, SKH9 공구강에 형성시키는 공정을 개발하였다. 최적의 Ti(NCO) 코탱층을 얻기 위해 유입전구체 부피%의 양은 향착압력의 5%를 넘지 않아야 되고 수소와 젤소 가스비가 1:1일 때 가장 높은 코팅층의 경도값을 나타내었다. 수소와 질소 가스비가 3:7일 때 TiFeCr(NCO)의 복화합물 코팅층이 형성됨을 알 수 있었고 500t의 증착온도에서 얻은 Ti(NCO) 코팅층이 높은 경도값과 좋은 내식성을 나타내었다. 또한 이와같은 Ti(NCO) 코팅공정과 본 실험실에서 개발한 확산층만 형성시키는 plsma nitriding 공정을 결합하여 복합코탱층을 형성하였는데 이 복합코팅층은 고경도와 우수한 내마모성, 내식성 뿐만 아니라 10)N 이상의 뛰어난 밀착력을 나타내었다. 현재 많이 사용되고 있는 PVD법은 step coverage가 좋지 않은 점과 cost intensive p process라는 단점이 있다. MO-PACVD법은 이러한 문제를 해결할 수 있는 방법으로서 앞으로 지속적인 도전이 요구되는 분야이다.

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