Current Source Type Pulse Generator with Improved Output Voltage Waveform for High Voltage Capacitively Coupled Plasma System (고전압 용량성 결합 플라즈마 시스템의 개선된 전압 파형 출력을 위한 펄스 전류 발생장치 회로)
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- The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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- v.24 no.3
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- pp.153-160
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- 2019