• 동력기계공학회지
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• 제14권2호
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• pp.60-64
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• 2010

This paper introduces reliability improvement and time saving in eddy current inspection by signal characteristic optimization of multi-coil eddy current array probe. In the past, Multi-coil array probe and single probe were used for the gas turbine rotor surface inspection & defect evaluation. The multi-coil array probe was used for the broad area inspection. But the signal deviations among multi-coil array probe are maximum 28% in commercial probe. This differences were considered to impedance differences among coils, so it is very difficult to evaluate exact defect size. The signal deviations among multi-coil array probe are maximum 28% in commercial probe. So, single coil inspection was used for exact defect sizing. The purpose of this study is to improve signal deviations of multi-coil array probe. The introduced new technology can improves this deviation by adjusting input voltage in each coil. At first, apply same voltage in each coil and collect signal amplitude of each coil. And calculate new input voltage based on signal amplitude of each coil. If the signal amplitude deviation is within 5% among multi-coil array probe, the signal amplitude of multi-coil array probe is reliable. The proposed technology gives 2% signal deviation among multi-coil array probe. The proposed new technology gives reliability improvement and inspection time saving in eddy current inspection.

• 한국압력기기공학회 논문집
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• 제5권1호
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• pp.25-31
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• 2009

Steam Generator(SG) tube is an important component of Nuclear Power Plant(NPP), which comprises of the pressure boundary of primary system. The integrity of SG tube has been confirmed by the eddy current test every outage. In Korea, Bobbin probe and MRPC probe have been generally used for the eddy current test. Meanwhile the usage of Array probe has gradually increased in U.S., Japan and other countries. In this study, we investigated the defect detection capability of the Array probe through its preliminary application to SG tube inspection. The Array probe has the equivalent capability in the defect detection and sizing as the conventional methods. Thus it is desirable that the Array probe is generally applied to SG tube inspection in the domestic NPPs.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2012년도 추계총회 및 학술대회 논문집
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• pp.71-71
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• 2012

Memory 반도체 Test공정에서 사용되는 Probe Card의 Probing Area가 넓어지면서 종래에 사용되던 Cantilever제품의 사용이 불가능하게 되고, MEMS공정을 사용한 새로운 형태의 Advanced제품이 시장에 출현을 하였다. MEMS형의 제품은 다수의 Micro Spring을 MLC(Multi Layer Ceramic)위에 MEMS 공정을 사용하여 생성하는 방식으로서 MLC는 좁은 지역에 다수의 Pin을 생성 할 수 있는 공간을 만들어 주며, 또 다른 이유는 전기적 특성인 임피던스를 맞추고 다수의 Pin의 압력에 의하여 생기는 하중을 Ceramic기판으로 지탱하기 위한 목적도 있다. 이에 MLC와 같은 전기적 특성을 임피던스를 맞춘 RF-CPCB를 사용하여 작은 면적에 다수의 Pin접합이 가능한 방법을 마련한 후, 이 RF-PCB를 부착하여 Pin의 하중을 받는 Wafer와 유사한 열팽창을 갖는 Substrate를 사용하여 MLC를 대체하여 다양한 온도 조건에서 사용이 가능하며, 복잡하고 공정비가 많이 드는 MEMS 공정에 의한 일괄 Micro Spring 생성 공정을 전주 도금 또는 2D방식의 도금 Pin으로 대체하였으며, Probe Card의 중요한 물리적 특성인 Pin들의 정렬도를 마련하기 위해 Photo Process를 사용한 Wafer로 만든 Wafer Pin Array Frame을 사용하여 2D 제작 Pin을 일괄 또는 부분 접합이 가능한 방법으로 Probe Array Head를 제작하여 이들을 부착하여 Probe Array Head를 이전의 MEMS공정 방법에 비해 쉽고 빠르게 만들어 probe Card를 제작 할 수 있게 되었다.

• 소성∙가공
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• 제15권1호
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• pp.21-26
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• 2006

A optical head unit for nano optical probe array was developed. The optical probe array is generated by Talbot effect. The shape and thickness of microlens array(MLA) were designed to minimize the spot size at the foci of MLA. To increase the optical efficiency of the system and obtain the large tolerance for fabrication, aperture size was theoretically optimized. Then microlens illuminated aperture array(MLIAA) as an optical head unit was fabricated using a ultra violet(UV) molding process on aluminum aperture array. In this process, Al aperture array was fabricated separately using the photolithography and reactive ion etching(RIE) process. Optical properties of the generated optical probes were measured and compared at Talbot distance from the aperture array having a diameter of $1{\mu}m$ and MLIAA.

• 한국소성가공학회:학술대회논문집
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• 한국소성가공학회 2005년도 금형가공,미세가공,플라스틱가공 공동 심포지엄
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• pp.29-34
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• 2005

A optical head unit for nano optical probe away was developed. The optical probe array is generated by Talbot effect. The shape and thickness of microlens array(MLA) were designed to minimize the spot size at the foci of MLA. To increase the optical efficiency of the system and obtain the large tolerance for fabrication, aperture size was theoretically optimized. Then microlens illuminated aperture array(MLIAA) as an optical head unit was fabricated using a ultra violet(UV) molding process on aluminum aperture array. In this process, Al aperture array was fabricated separately using the photolithography and reactive ion etching(RIE) process. Optical properties of the generated optical probes were measured and compared at Talbot distance from the aperture array having a diameter of $1{\mu}m$ and MLIAA.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2008년도 제39회 하계학술대회
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• pp.772-773
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• 2008

본 논문에서는 ECT Array Probe를 이용한 원자력 발전소의 SG세관의 결함 신호를 해석하였다. 프로브의 전자기적 특성을 해석하기 위하여 맥스웰 방정식을 이용하여 지배방정식을 유도하였고, 3차원 유한요소법을 이용하여 전자기 수치 해석을 수행하였다. 신호해석을 위해 사용된 결함의 종류는 FBH결함이며, 결함의 깊이는 세관 두께의 40[%] 및 100[%]로 하였다. 시험주파수는 300[kHz], 400[kHz]를 사용하였으며, 각각의 시험주파수에 대한 결과를 비교 분석하였다. 해석결과 결함부위에서 신호의 증가를 확인할 수 있었으며, 주파수 시험변화시 300[kHz]보다 400[kHz]일때 결함 신호가 증가하는 것을 확인할 수 있었다. 또한 획득한 신호를 ASME 표준 시험편을 이용한 ECT Array Probe의 와전류탐상 실험신호와 비교하였다. 본 논문의 결과는 ECT Array Probe를 이용하여 원전 SG세관 검사시 결함신호해석에 도움이 될 것으로 사료된다.

• 비파괴검사학회지
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• 제26권1호
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• pp.25-29
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• 2006

In this paper, the eddy current signals come from a pair oi transmit-receive (T/R) pancake coil on ECT array Probe are analyzed with the variations of the lift-of and of the distance between transmit and receive coils. To obtain the electromagnetic characteristics of the probes, the governing equation describing the eddy current problems is derived from Maxwell's equation and is solved using three-dimensional finite element method. Eddy current signals from T/R coils on ECT array probe have quite different characteristics compared with ones from impedance coil on rotating pancake coil probe. The results in this paper ran be helpful when the field eddy current signals from ECT array probe are evaluated.

• 정보저장시스템학회논문집
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• 제2권1호
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• pp.1-6
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• 2006

An optical ROM card system which using an optical probe array generated by Talbot effect was proposed as new robust storage solution. To improve the optical density and to decrease the power consumption of the system, it is very important to make the spot sizes of optical probes smaller as well as to increase the optical efficiency from the light source to optical probes. In this study, a microlens illuminated aperture array for generating high efficiency optical probe away with small beam spot was designed and fabricated using monolithic lithography integration method. The maximum intensity of optical probes of microlens illuminated aperture array increased about 12 times of that of aperture array, and the full width half maximum of the optical probe at Talbot plane generated by microlens illuminated aperture array was $0.77{\mu}m$.

• 한국음향학회지
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• 제29권6호
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• pp.355-364
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• 2010

초음파 진단장치의 음향출력 특성은 전기음향 변환 장치인 배열 탐침자의 성능에 크게 영향을 받으며, 생물학적안전 측면에서 매우 중요하다. 본 논문에서는 초음파 진단장치용 배열 탐침자로부터 방사되는 음향파워를 소자별로 측정할 수 있는 자동화 시스템을 구성하였으며, 곡선형 탐침자의 경우 각 소자의 지향성이 측정에 미치는 영향을 확인하고 이를 보정하는 기법을 개발하였다. 선형, 위상형, 곡선형 배열 탐침자를 대상으로 음향파워 측정결과, 본 논문에서 제시하는 측정기법은 배열 탐침자의 음향파워 특성을 평가하는데 적합함을 확인하였다.

• 한국전자파학회:학술대회논문집
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• 한국전자파학회 2002년도 종합학술발표회 논문집 Vol.12 No.1
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• pp.285-289
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• 2002

본 논문에서는 중심주파수가 5.8㎓에서 동작하는 마이크로스트립 라인-프로브 급전구조를 갖는 마이크로스트립 패치 배열 안테나를 설계 및 제작하였다. 마이크로스트립 라인-프로브 급전구조는 안테나의 광대역 특성과 배열 구조를 가능하게 하여 이득을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 대역폭은 17.6%(VSWR<2)이며, 안테나 이득은 8㏈i 를 얻었다.