• 한국결정성장학회지
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• 제27권1호
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• pp.22-27
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• 2017

상온진공과립분사에 의해 slide glass 기판 위에 $1{\sim}30{\mu}m$의 두께를 가진 $TiO_2$ 코팅층을 제조하였다. $TiO_2$ granule 과립분말은 $1.5{\mu}m$의 평균 입도를 가진 Rutile 형태로 $600^{\circ}C$에서 4시간 하소 과정을 거쳤다. 공정변수로서는 반복횟수, 가스유량속도 및 과립투입속도로 하여 코팅층을 제조하였다. 반복횟수가 증가할수록 코팅층의 두께는 비례적으로 증가하였다. 이는 반복횟수의 증가에도 코팅층이 형성될 수 있는 적절한 운동에너지가 작용한 것을 알 수 있다. 가스유량속도에 따라 코팅층의 두께도 증가하였으나 1.7 V의 분말공급량에서는 25 LPM의 유량까지는 코팅층의 두께가 증가했지만, 35 LPM(L/min)의 유량에서는 두께가 감소하였다. 15 LPM의 낮은 유량속도에서는 분말공급량이 충분하더라도 성막에 필요한 운동에너지의 부족으로 코팅 층의 두께가 비례적으로 증가하지 않았다. $TiO_2$ 코팅층의 미세구조는 주사전자현미경 및 고성능 투과전자현미경을 이용하여 분석하였다.

• 한국표면공학회지
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• 제29권1호
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• pp.45-59
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• 1996

Ultrafine powders(UFPs) of aluminum nitride(AlN) have been synthesized by chemical reactions in the nitrogen atmosphere and the gaseous aluminum evaporated from Al powders in thermal plasmas produced by a DC plasma torch. A synthesis system consisting of a plasma torch, a finely-controllable powder feeder, a reaction chamber, and a quenching-collection chamber have been designed and manufactured, and a filter for gathering AlN UFPs produced by the quenching process subsequent to the synthesis is set up. The synthesis process is interpreted by numerical analyses of the plasma-particle interaction and the chemical equilibrium state, respectively, and a fully-saturated fractional factorial test is used to find the optimum process conditions. The degrees and ultrafineness of synthesis are evaluated by means of SEM, TEM, XRD, and ESCA analyses. AlN UFPs synthesized in the optimum process conditions have polygonal shapes of the size of 5-100 nm, and their purities differ depending on collecting positions and filter types, and the maximum purity obtained is 72 wt% at the filter.

• 한국세라믹학회지
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• 제53권6호
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• pp.597-603
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• 2016

Tantalum carbide, which is one of the ultra-high temperature ceramics, was deposited on graphite by low pressure chemical vapor deposition from a $TaCl_5-C_3H_6-Ar-H_2$ mixture. To maintain a constant $TaCl_5/C_3H_6$ ratio during the deposition process, $TaCl_5$ powders were continuously fed into the sublimation chamber using a screw-driven feeder. Sublimation behavior of $TaCl_5$ powder was measured by thermogravimetric analysis. TaC coatings have various phases such as $Ta+{\alpha}-Ta_2C$, ${\alpha}-Ta_2C+TaC_{1-x}$, and $TaC_{1-x}$ depending on the powder feeding methods, the $C_3H_6/TaCl_5$ ratio, and the deposition temperatures. Near-stoichiometric TaC was obtained by optimizing the deposition parameters. Phase compositions were analyzed by XRD, XPS, and Raman analysis.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2013년도 제44회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.491-491
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• 2013

A novel plasma system has been developed for 3-dimensional modification of the carbon nano-powders. Improvement of dispersion of these nano materials are studied by plasma discharge, not using chemical modification. The plasma process is considered to great advantages over wet chemical process due to environmental, economic viewpoint, and uniformity over the treated volume. The uniform dispersion is a critical factor for these material's nano composite applications. Using this plasma system, graphene, carbon black, and CNT was treated and functionalized. Several key discharge conditions such as Ar/H2/O2 or Ar/H2/NH3 gas ratio, treatment time, power, feeder's vibration frequency are investigated. Hydrophobic of graphene has turned some more into hydrophilic by reaction test with water, electrophoresis, surface contact angle test, and turbidity analysis. The oxygen content ratio in the plasma treated CNT has increased about 3.7 times than the untreatedone. In the case of graphene and carbon black, the oxygen- and nitrogen- content has been enhanced average 10%. O-H (N-H) peak, C-O (C-N) peak, and C=O (C=N) peak data have been detected by FTIR measurement and intensified compared to before-plasma treatment due to O2 or NH3 content.

• 대한환경공학회지
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• 제33권1호
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• pp.39-46
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• 2011

$250{\sim}400^{\circ}C$ 범위에서 $NO_x$ 제거를 위해 운영되는 선택적 촉매 환원법의 반응 온도를 $200^{\circ}C$ 이하로 낮추기 위해서는 NO를 $NO_2$로 산화시키는 전처리 공정을 필요로 한다. 이번 연구에서는 분말 $NaClO_2(s)$를 이용하여 NO를 $NO_2$로 산화시킨 후, 탄소 분산형 촉매를 이용한 저온에서의 $NO_x$, $SO_2$ 동시 제거에 관한 실험실 규모 실험과 제철소 소결 공장에서 실제 배기가스를 이용하는 bench 규모 실험을 진행하였다. 실험실 규모 실험에서는 반응기에 $NaClO_2(s)$ (2.4~3.6 g)를 충진 하여 $NO_x$ 200 ppm, $SO_2$ 75 ppm, $H_2O$ 10%, $O_2$ 15%의 모사가스(2.6 L/min)를 통과시켰으며, $NaClO_2(s)$와 반응 후의 모사가스를 탄소 분산형 촉매가 충진 된 반응기(공간 속도 = $2,000hr^{-1}$)로 주입하였다. bench 규모 실험에서는 $50Nm^3/hr$의 배기가스 유량에 screw feeder로 $NaClO_2(s)$ 분말을 주입하여 NO를 $NO_2$로 산화 시킨 후, $1,000hr^{-1}$ 탄소 분산형 촉매를 통과하여 $NO_x$ 제거 가능성을 확인하였다. 실험실 규모와 bench 규모 실험 모두 $SO_2$를 측정하며 $NO_x$, $SO_2$ 동시 제거 가능성을 확인하였다. 그 결과 실험실 규모와 bench 규모 실험 모두 $NaClO_2(s)$에 의하여 NO가 $NO_2$로 산화되었고, 이를 결합한 탄소 분산형 촉매에서 90% 이상의 $NO_x$, $SO_2$ 제거 효율을 나타내는 것을 확인하였다. 이상의 실험 결과로부터 $NaClO_2(s)$와 탄소 분산형 촉매의 결합은 저온에서 $NO_x$와 $SO_2$를 동시에 제거할 수 있음을 알 수 있었다.