Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.34
no.4
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pp.262-268
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2021
For the past several decades, various next-generation patterning methods have been developed to obtain well-designed nano-to-micro structures, such as imprint lithography, nanotransfer printing (nTP), directed self-assembly (DSA), E-beam lithography, and so on. Especially, nTP process has much attention due to its low processing cost, short processing time, and good compatibility with other patterning techniques in achieving the formation of high-resolution functional patterns. To transfer functional patterns onto desirable substrates, the use of soft materials is required for precise replication of master mold. Here, we introduce a simple and practical nTP method to create highly ordered structures using various polymeric replica materials. We found that polymethyl methacrylate (PMMA), polystyrene (PS), and polyvinylpyridine (PVP) are possible candidates for replica materials for reliable duplication of Si master mold based on systematic analysis of pattern visualization. Furthermore, we successfully obtained well-defined metal and oxide nanostructures with functionality on target substrates by using replica patterns, through deposition and transfer process. We expect that the several candidates of replica materials can be exploited for effective nanofabrication of complex electronic devices.
ZHAO , XIN-QING;PARK, KWAN-HYONG;JIN, YING-YU;LEE, IN HYUNG;YANG, YOUNG-YELL;JOO-WON SUH,
Journal of Microbiology and Biotechnology
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v.15
no.1
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pp.59-65
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2005
Poly-${\gamma}$-glutamic acid (PGA) is an unusual anionic polypeptide and has great potential as an environmentally and industrially significant biodegradable material. A new ${\gamma}$-PGA producer, Bacillus mesentericus MJM1, with high production capacity was isolated from Korean domestic Chungkuckjang bean paste. It produced ${\gamma}$-PGA at the level of 10 g/l in suitable media. The viscosities of 5% initially extracted mucin and purified ${\gamma}$-PGA solutions were 660 cps and 600 cps, respectively. The produced ${\gamma}$-PGA polymer consisted of 2,000 glutamic acid residues with even proportion of L and D types with molecular mass of about 200- 300 kDa. Bacillus mesentericus MJM1 displayed ${\gamma}$-glutamyltranspeptidase (${\gamma}$-GTP) activity that is known to play a key role in ${\gamma}$-PGA biosynthesis. The ${\gamma}$-GTP coding region was located on the plasmid of 5.8 kb. The plasmid, named pMMH1, is a rolling-circle replication (RCR) plasmid and additionally contained a replication origin and type I signal peptidase (sipP) coding region.
Proceedings of the Korean Society for Technology of Plasticity Conference
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2009.10a
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pp.45-52
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2009
The research on miniature devices based on non-silicon materials, in particular polymeric materials has been attracting more and more attention in the research field of the micro/nano fabrication in recent years. Lost of applications and many literatures have been reported. However, the study on the micro thermal imprint process of glassy polymer is still not systematic and inadequate. The aim of this research I to obtain a numerical material model for an amorphous glassy polymer, polycarbonate (PC), which can be used in finite element analysis (FEA) of the micro thermal imprint process near the glass transition temperature (Tg). An understanding of the deformation behavior of the PC specimens was acquired by performing tensile stress relaxation tests. The viscoelastic material model based on generalized Maxwell model was introduced for the material near Tg to establish the FE model based on the commercial FEA code ABAQUS/Standard with a suitable set of parameters obtained for this material model form the test data. As a result, the feasibility of the established viscoelastic model for PC near Tg was confirmed and this material model can be used in FE analysis for the prediction and improvement of the micro thermal imprint process for pattern replication.
Nath G. Yogendra;Samal Shashadhar;Park, Sang-Yoon;Murthy C.N.;Lee, Jae-Suk
Proceedings of the Polymer Society of Korea Conference
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2006.10a
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pp.334-334
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2006
Helical polymers like polyisocyanates with single screw sense are essential to exhibit sophisticated functions like molecular recognition, self-replication, chirality memory and catalytic activity. One approach that has not been explored is the effect on handedness of the polyisocyanates through end-capping with a chiral residue. Induction of chirality in poly(n-hexyl isocyanate) was studied by end-capping with chiral (R and S) 2-bromo-3-methylbutyryl chloride(R-BMBC and S-BMBC). We have shown that a control over living anionic polymerization of HIC by using a suitable initiator affords an opportunity to introduce chiral end-groups with 100% yield and in high purity. This has resulted in helicity induction through extended lengths several orders of magnitude.
MCM-41 (Mobil Composition of Matter) and SBA-15 (Santa Barbara Amorphous) were used as a supported catalyst for ethylene polymerization due to their combination of large surface area and wide range of pore size distribution. The morphology of supports was used to control the morphology of the resulting polymer. Different molar ratios of Al/Ti were used for ethylene polymerization at $60^{\circ}C$ under atmospheric pressure. The effect of different mass ratios of MCM-41/SBA-15 and 1-hexene concentration on polymerization activity and polymer properties was investigated. The catalytic activity and the crystallinity reached the highest value at Al/Ti of 480. Upon incorporation of MCM-41 and SBA-15 into $MgCl_2/TiCl_4$ catalyst, the molecular weight and crystallinity of polyethylene were enhanced. The obtained polyethylene showed melting temperature between 130 and $135^{\circ}C$. The polyethylene with replication structure of support and bimodal MWD was expected.
Porous hydroxyapatite (HAp) scaffolds have been prepared by using the slurry including HAp and magnesia based on the replication of polymer sponge substrate. The influence of MgO content in slurry on the pore morphology and size, density, porosity, and mechanical strength of porous HAp scaffolds was investigated. The obtained scaffolds with average pore sizes ranging 150 to 300 mm had open, relatively uniform, and interconnected porous structure regardless of MgO content. As the MgO content increased, the pore network frame of scaffolds became to be relatively stronger, even though the pore size was not much changed. The compressive strength of the scaffolds increased rapidly with the increase of MgO content because of increasing the pore wall thickness and density of the scaffolds. As a result, the porosity, density, and compressive strength of the porous HAp scaffolds prepared by the sponge method were significantly affected by the addition of MgO.
Kim, Dong-Hyun;Park, Hyun-Chul;Lee, Kun-Hong;Hwang, Woon-Bong
Composites Research
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v.20
no.2
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pp.17-20
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2007
Superhydrophobic polytetrafluoroethylene ($Teflon^{(R)}$, Dupont) sub-micro and nanostructures were fabricated by the dipping method, based on anodization process in oxalic acid. The polymer sticking phenomenon during the replication creates the sub-microstructures on the negative polytetrafluoroethylene nanostructure replica. This process gives a hierarchical structure with nanostructures on sub-microstructures, which looks like the same structures as lotus leaf and enables commercialization. The diameter and the height of the replicated nano pillars were 40 nm and 40 um respectively. The aspect ratio is approximately 1000. The fabricated surface has a semi-permanent superhydrophobicity, the apparent contact angle of the polytetrafluoroethylene sub-micro and nanostructures is about $160^{\circ}$, and the sliding angle is less than $1^{\circ}$.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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v.31
no.12
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pp.1194-1199
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2007
A unique fabrication method for a copper micromesh is proposed and demonstrated. A PDMS mold was fabricated using a microcasting process and then used as a flexible mold in copper electroplating. The fabricated copper micromesh was well formed and connected without any cracks within the entire mold area. The experimental results verified that the fabricated features of the copper micromesh accurately followed the shape of the microstructures of the PDMS mold. This unique fabrication method provides an easy yet precise means of producing three-dimensional metal microstructures.
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
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v.23
no.4
s.181
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pp.162-167
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2006
Hot embossing lithography(HEL) has the production advantage of comparatively few process step, simple operation, a relatively low cost for embossing tools(Si), and high replication accuracy for small features. In this paper, we considered the nano-molding characteristic according to molding parameters(temperature, pressure, times, etc) and induced a optimal molding condition using HEL. High precision nano-patter master with various shapes were designed and manufactured using the DRIE(Deep Reactive ion Etching), LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition) and thermal oxidation process, and we investigated the molding characteristic of DVD and Blu-ray nickel stamp. We induced flow behaviors of polymer, rheology by shapes and sizes of the pattern through various molding experiments. Finally, with achieving nano-structure molding with high aspect ratio, we will secure a basic technology about the molding of large-area nano-pattern media.
We have fabricated a polymeric waveguide by using a hot embossing technique and have investigated its propagation loss. The replication of waveguide channels through the use of a hot embossing technique is of interest as a single-step process that could deliver surface roughnesses far smaller than the wavelength. We have evaluated experimentally that the sidewall roughness has a dominant effect on insertion losses of the multimode polymeric waveguide. The propagation loss of the waveguide decreased dramatically upon decreasing the sidewall roughness of the channel. We have confirmed that the preparation of waveguides having nanometer-scale sidewall roughness and 0.1 dB/cm propagation loss is possible when using the hot embossing technique.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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