• 제목/요약/키워드: Poly-IC

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Halogen-based Inductive Coupled Plasma에서의 W 식각시 첨가 가스의 효과에 관한 연구

  • 박상덕;이영준;염근영;김상갑;최희환;홍문표
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2003년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.41-41
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    • 2003
  • 텅스텐(W)은 높은 thermal stability 와 process compatibility 및 우수한 corrosion r resistance 둥으로 integrated circuit (IC)의 gate 및 interconnection 둥으로의 활용이 대두되고 있으며, 차세대 thin film transistor liquid crystal display (TFT-LCD)의 gate 및 interconnection m materials 둥으로 사용되고 았다. 그러나, 이러한 장점을 가지고 있는 팅스텐 박막이 실제 공정상에 적용되가 위해서는 건식 식각이 주로 사용되는데, 이는 wet chemical 을 이용한 습식 식각을 사용할 경우 낮은 etch rate, line width 의 감소 및 postetch residue 잔류 동의 문제가 발생하기 때문이다. 또한 W interconnection etching 을 하기 위해서는 높은 텅스텐 박막의 etch rate 과 하부 layer ( (amorphous silicon 또는 poly-SD와의 높은 etch selectivity 가 필수적 이 라 할 수 있다. 그러 나, 지금까지 연구되어온 결과에 따르면 텅스탠과 하부 layer 와의 etch selectivity 는 2 이하로 매우 낮게 관찰되고 았으며, 텅스텐의 etch rate 또한 150nm/min 이하로 낮은 값을 나타내고 있다. 따라서 본 연구에서는 halogen-based inductively coupled plasma 를 이용하여 텅스텐 박막 식각시 여러 가지 첨가 가스에 따른 높은 텅스탠 박막의 etch rate 과 하부 layer 와의 높은 etch s selectivity 를 얻고자 하였으며, 그에 따른 식각 메커니즘에 대하여 알아보고자 하였다. $CF_4/Cl_2$ gas chemistry 에 첨 가 가스로 $N_2$와 Ar을 첨 가할 경 우 텅 스텐 박막과 하부 layer 간의 etch selectivity 증가는 관찰되지 않았으며, 반면에 첨가 가스로 $O_2$를 사용할 경우, $O_2$의 첨가량이 증가함에 따라 etch s selectivity 는 계속적으로 증가렴을 관찰할 수 있었다. 이는 $O_2$ 첨가에 따라 형성되는 WOF4 에 의한 텅스텐의 etch rates 의 감소에 비하여, $Si0_2$ 등의 형성에 의한 poly-Si etch rates 이 더욱 크게 감소하였기 때문으로 사료된다. W 과 poly-Si 의 식각 특성을 이해하기 위하여 X -ray photoelectron spectroscopy (XPS)를 사용하였으며, 식각 전후의 etch depth 를 측정하기 위하여 stylus p pmfilometeT 를 이용하였다.

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Rengyolone Inhibits Apoptosis via Etoposide-Induced Caspase Downregulation

  • Kim, Jin-Hee;Lee, Choong-Hwan
    • Journal of Microbiology and Biotechnology
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    • 제19권3호
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    • pp.286-290
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    • 2009
  • In the course of screening for substances inhibiting apoptosis of U937 human leukemia cells induced by etoposide ($10\;{\mu}g/ml$), Forsythiae fructus, which showed a high level of inhibition, was selected. The regulating compounds were purified from the ethyl acetate extract by silica gel column chromatography and HPLC. The active substance was purified and identified as rengyolone by spectroscopic methods. This compound showed inhibitory activity on caspase-3 induction, a major protease of the apoptosis cascade, with an $IC_{50}$ value of $38.96\;{\mu}M$ after 8 h of etoposide treatment in U937 cells. The expression level of caspase-3 and poly(ADP-ribose) polymerase (PARP) were dose-dependently inhibited by the compound, suggesting that rengyolone inhibits etoposide-induced apoptosis via downregulation of caspases.

CMOS 집적회로의 테스팅을 위한 새로운 내장형 전류감지 회로의 설계 (Design of a Built-In Current Sensor for CMOS IC Testing)

  • 홍승호;김정범
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2003년도 학술회의 논문집 정보 및 제어부문 A
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    • pp.271-274
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    • 2003
  • This paper presents a Built-in Current Sensor that detect defects in CMOS integrated circuits using the current testing technique. This scheme employs a cross-coupled connected PMOS transistors, it is used as a current comparator. Our proposed scheme is a negligible impart on the performance of the circuit undo. test (CUT). In addition, in the normal mode of the CUT not dissipation extra power, high speed detection time and applicable deep submicron process. The validity and effectiveness are verified through the HSPICE simulation on circuits with defects. The entire area of the test chip is $116{\times}65{\mu}m^2$. The BICS occupies only $41{\times}17{\mu}m^2$ of area in the test chip. The area overhead of a BICS versus the entire chip is about 9.2%. The chip was fabricated with Hynix $0.35{\mu}m$ 2-poly 4-metal N-well CMOS technology.

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Apoptosis Inducing Effects of 6-Methoxydihydrosanguinarine in HT29 Colon Carcinoma Cells

  • Lee, Yong-Jin;Yin, Hu-Quan;Kim, Young-Ho;Li, Guang-Yong;Lee , Byung-Hoon
    • Archives of Pharmacal Research
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    • 제27권12호
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    • pp.1253-1257
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    • 2004
  • 6-Methoxydihydrosanguinarine (6ME), a benzophenanthridine alkaloid derived from the methanol extracts of Hylomecon hylomeconoides, showed a dose-dependent effect at 1-10 ${\mu}M$ on causing apoptotic cell death in HT29 colon carcinoma cells $(IC_{50} = 5.0{\pm}0.2 {\mu}M)$. Treatment of HT-29 cells with 6ME resulted in the formation of internucleosomal DNA fragmentation. Treatment of the cells with 6ME caused activation of caspase-3, -8 and 9 protease and subsequent proteolytic cleavage of poly(ADP-ribose)polymerase. 6ME increased the expression of p53 and Bax and decreased the expression of Bid. These results indicate that p53 and proapoptotic Bcl-2 family proteins might participate in the antiproliferative activity of 6ME in HT29 cells.

A Single-Chip CMOS Digitally Synthesized 0-35 MHz Agile Function Generator

  • Meenakarn, C.;Thanachayanont, A.
    • 대한전자공학회:학술대회논문집
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    • 대한전자공학회 2002년도 ITC-CSCC -3
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    • pp.1984-1987
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    • 2002
  • This paper describes the design and implementation of a single-chip digitally synthesized 0-35MHz agile function generator. The chip comprises an integrated direct digital synthesizer (DDS) with a 10-bit on- chip digital-to-analog converter (DAC) using an n-well single-poly triple-metal 0.5-$\mu\textrm{m}$ CMOS technology. The main features of the chip include maximum clock frequency of 100 MHz at 3.3-V supply voltage, 32-bit frequency tuning word resolution, 12-bit phase tuning word resolution, and an on-chip 10-bit DAC. The chip provides sinusoidal, ramp, saw-tooth, and random waveforms with phase and frequency modulation, and power-down function. At 100-MHz clock frequency, the chip covers a bandwidth from dc to 35 MHz in 0.0233-Hz frequency steps with 190-ns frequency switching speed. The complete chip occupies 12-mm$^2$die area and dissipates 0.4 W at 100-MHz clock frequency.

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Technology Trend and Requirement of Mobile Displays Using Low-Temperature Poly-Si (LTPS) Technologies

  • Kwon, Oh-Kyong
    • 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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    • 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권1호
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    • pp.409-412
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    • 2007
  • A lot of research for system-on-panel(SOP) have been done to integrate display systems including data driver, gate driver, timing controller, DC-DC converter, and smart functions such as embedded touch screen, ambient brightness sensing and luminance control, finger printing on the glass. Recently, the cost of an one-chip driver IC with various functions has decreased rapidly, and new mobile display interface technologies have been introduced. So it is necessary to examine the feasibility of SOP for practical mobile applications. In this paper, we will re-examine LTPS technologies for mobile displays in terms of various aspects and discuss the practical limitations on SOP technology and future technology trend of mobile displays.

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유기 반도체 박막 트랜지스터 기반 프린팅 RFID 기술

  • 구재본;노용영;유인규
    • 한국재료학회:학술대회논문집
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    • 한국재료학회 2009년도 춘계학술발표대회
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    • pp.11.2-11.2
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    • 2009
  • 본 발표에서는 flexible display의 back plane 구동 소자, organic sensor, 그리고 organic radio frequency identification (RFID) Tag 등으로의 응용을 목표로 최근 활발히 연구 중인 유기 반도체 박막 트랜지스터에 대한 소개를 바탕으로 유기 반도체를 전자회로 분야에서 사용하기 위해 해결해야 할 문제점과 연구 개발이 절실히 필요한 부분에 대해 소개하고 자 함. organic RFID 응용 기술에 초점을 두고 RFID 기술의 개요, 종류, 주파수 대역 등에 대한 기초적인 지식을 바탕으로 organic RFID의 향후 시장 전망에 대해 토론한 후 현재 PolyIC, Organic ID, IMEC 등의 선진사에서 상용화를 목표로 활발히 연구 중인 organic RFID의 세계적 기술 수준과 최근 연구 결과들을 공유하고자함. 최근 ETRI에서 향 후 바코드 대체용으로 활발히 연구 중인 item level tagging용 13.56 MHz프린팅 RFID 기술을 소개하고 이를 구현하기 위한 유기반도체 트랜지스터, 정류기 등 다양한 종류의 회로들을 프린팅 소재와 공정으로 제작할 때의 문제점을 공유하고, 더 나아가 프린팅 전자 소자의 상용화를 위한 향 후 연구 개발 주제 및 방향 등에 대해 토론하고자함.

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HeLa S3 자궁암 세포에서 paclitaxel 에 의해 유도된 Poly(ADP-ribose) Polymerase 분철과 세포자멸사와의 관계 (Relation of Poly(ADP-ribose) Polymerase Cleavage and Apoptosis Induced by Paclitaxel in HeLa S3 Uterine Cancer Cells)

  • 장정현;김광연;안순철;권헌영
    • 생명과학회지
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    • 제17권8호통권88호
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    • pp.1027-1033
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    • 2007
  • Paclitaxel이 암세포에서 세포예정사를 유발할지라도, 아직 정확한 기전은 잘 알려져 있지 않다. 이에 본 연구에서는 HeLa $S_{3}$ 자궁암세포에서의 paclitaxel이 어떠한 영향을 미치는지 알아보고자 한다. 그리하여 방법으로는 세포독성검사, apoptotic cells의 형태학적 변화(DAPI 염색 ), western blot 분석법을 사용하여 수행하였다. 본 연구의 결과로 paclitaxel은 HeLa $S_{3}$ 세포에서 세포독성을 보이며 특히 paclitaxel의 $IC_{50}$ 값은 약 1 ${\mu}M$이며, paclitaxel 처리한 HeLa $S_{3}$ 세포에서 형태학적 변화(분절화)를 관찰하였고, flow cytometric 분석에서는 G2/M기가 차단되어 paclitaxel은 세포주기 특히 Sub-$G_{1}$기를 조절함을 알 수 있다. 그리고 Paclitaxel을 처리한 HeLa $S_{3}$ 세포에서는 PARP cleavage를 유발하였고 Bc1-2의 감소와도 관련되었다.

Vertical PIP 커패시터를 이용한 MTP 메모리 IP 설계 (Design of MTP memory IP using vertical PIP capacitor)

  • 김영희;차재한;김홍주;이도규;하판봉;박무훈
    • 한국정보전자통신기술학회논문지
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    • 제13권1호
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    • pp.48-57
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    • 2020
  • Wireless charger, USB type-C 등의 응용에서 사용되는 MCU는 추가 공정 마스크가 작으면서 셀 사이즈가 작은 MTP 메모리가 요구된다. 기존의 double poly EEPROM 셀은 사이즈가 작지만 3~5 장 정도의 추가 공정 마스크가 요구되고, FN 터널링 방식의 single poly EEPROM 셀은 셀 사이즈가 큰 단점이 있다. 본 논문에서는 vertical PIP 커패시터를 사용한 110nm MTP 셀을 제안하였다. 제안된 MTP 셀의 erase 동작은 FG와 EG 사이의 FN 터널링을 이용하였고 프로그램 동작은 CHEI 주입 방식을 사용하므로 MTP 셀 어레이의 PW을 공유하여 MTP 셀 사이즈를 1.09㎛2으로 줄였다. 한편 USB type-C 등의 응용에서 요구되는 MTP 메모리 IP는 2.5V ~ 5.5V의 넓은 전압 범위에서 동작하는 것이 필요하다. 그런데 VPP 전하펌프의 펌핑 전류는 VCC 전압이 최소인 2.5V일 때 가장 낮은 반면, 리플전압은 VCC 전압이 5.5V일 때 크게 나타난다. 그래서 본 논문에서는 VCC detector 회로를 사용하여 ON되는 전하펌프의 개수를 제어하여 VCC가 높아지더라도 펌핑 전류를 최대 474.6㎂로 억제하므로 SPICE 모의실험을 통해 VPP 리플 전압을 0.19V 이내로 줄였다.

암세포 특이적 세포 사멸을 유도하는 자생식물 추출물의 항암 효과 (Anti-cancer Activity of Korean Local Plant Extracts Inducing Apoptosis in Various Carcinoma Cells)

  • 윤이관;이승은;이동진;노문철;성정숙;박충범;장영주
    • 생약학회지
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    • 제40권1호
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    • pp.6-12
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    • 2009
  • Thirty five methanol extracts from 19 natural local plants, which have been used as traditional anti-cancer medicine, were prepared. They were analyzed the cytotoxic effects on primary fibroblast cells and carcinoma cells. The root extract of Solanum nigrum were highly toxic in both cell lines with $IC_{50}$ values of less than $0.01{\mu}g/{\mu}l$, and 26 of 35 extracts were toxic in all cells with $IC_{50}$ values of $0.1{\sim}2{\mu}g/{\mu}l$. Three extracts including the fruit extracts of Solanum nigrum and Morus alba had no cytotoxic activity in both cell lines. Five of 35 extracts were highly toxic in cancer cells than in primary cells. Because primary cells were more resistant on these extracts, the five extracts were selected for anti-cancer agent candidates. Apoptosis or programmed cell death has an essential role in chemotherapy-induced tumor cell killing. Recently, inducers of apoptosis have been used in cancer therapy. When two of 5 cancer cell-specific cytotoxic extracts (Ulmus parvifolia and Zelkova serrata) were treated in concentration of $0.02{\sim}0.1{\mu}g/{\mu}l$, apoptosis were increased at 3-5 times in cancer cell lines. Finally, the apoptotic effects of these extracts were confirmed by cleavages of both poly-(ADP-ribose)-polymerase and caspase-3 as apoptotic markers. In this report, we suggested that two of 35 medicinal herb extracts can be useful anti-cancer drug candidates inducing apoptosis in several carcinoma cell lines.