비소 비정질화 방법에 의한 얕은 $p^+$ -n 접합의 형성과 특성분석
(Formation of the Shallow $p^+$ -n Junction by As-Preamorphization Method and Characterization)
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- 전자공학회논문지A
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- 제30A권11호
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- pp.113-121
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- 1993