Ozone is strong and useful oxidizing gas for the fabrication of oxidation thin films. In order to obtain high quality thin film, the ozone concentration must be increased. An ozone condensation system is evaluated in the viewpoint of an ozone supplier for oxidation thin film growth. Ozone is condensed by the adsorption method and ozone concentration reaches 8.5 mol% by 2.5 h after the beginning of the ozone condensation is negligible if the condensed ozone is transferred between the ozone condensation system and the film growth chamber within a few minutes. CuO peak which is the result of the obtained Cu-films using condensed ozone appears by XRD patterns.
The dielectric barrier discharge (DBD) has low efficiency due to about 70% input power is consumed as thermal energy in the discharge space. However, because of the usage of DBD ozone generator is easier than other methods. The DBD ozone generator has been widely applied for high concentration ozone generation in the industrial application. But, the low-capacity compact DBD ozone generator is not applied so far. Therefore, the DBD ozone generator is necessary to improve ozone production efficiency and reduce the capacity. In this paper, the stainless steel pipe inner electrode was designed with hall type and screw type to improve the ozone production yield. The manufactured two inner electrodes were experimented with normal type for comparison of the discharge characteristics and the ozone generating characteristics. As the experimental results, the discharge current effective value of designed inner electrodes with hall type and screw type are higher than the normal type, due to unequal electric field is formed at the boundary. However, the difference of designed and original electrodes is less than 0.1mA that has no effect on the discharge characteristic. On the other hand, the screw type inner electrode increased higher than original model about 7 times when the flow rate of the oxygen source gas was increased from $0.6{\ell}/min$ to $1.0{\ell}/min$ The reason was assumed by the flow rate of the raw gas through the inner electrode was became fast that has a cooling effect. The designed hall type and screw type inner electrodes have shown good performances in ozone generation and ozone production that better than normal type in the same electrode surface area.
반도체 또는 평판디스플레이 제조에 있어 노광공정 후의 PR(photo-resist) 제거 공정으로서 기존의 황산기반 용액을 대체하는 고농도 오존 수 생성 기술에 대한 연구를 수행하였다. 세라믹 연면방전구조의 오존발생장치를 개발하여, 0.5[ℓ/min]의 산소 유량에서 최대 12[wt%]이상의 오존가스 농도를 얻었으며, 이를 고농도로 물과 혼합하기 위한 고효율 오존접촉장치를 개발하였다. 오존 수 생성 실험 결과, 오존가스 10[wt%]에서 80[ppm]이상의 오존 수 농도를 달성하였으며, 70[ppm]의 오존 수에서 PR 제거율 147[nm/min]의 양호한 결과를 얻었다.
In this study, a non-thermal plasma system was employed to simultaneously remove odorous compounds and organic sludge. The system consisted of two reactors; the first one was the non-thermal plasma reactor where ozone was produced by the plasma reaction and the ozone oxidized hydrogen sulfide, the model odorous compound, and then the ozone-laden gas stream was introduced to the second reactor where wasted sludge was disintegrated and solubilized by ozone oxidation. In this study, the gas retention time (GRT) and the hydraulic retention time (HRT) were changed in the two-reactor system, and the effects of GRT and HRT on reduction efficiencies of odor and sludge were determined. As the GRT increased, the ozone concentration increased resulting in an increasing efficiency of hydrogen sulfide removal. However, the overall ozone loading rate to the second sludge reactor was the same at any GRT, which resulted in an insignificant change in sludge reduction rate. When HRTs in the sludge reactor were 1, 2, 4 hours, the sludge reduction rates were approximately 30% during the four-hour operation, while the rate increased to 70% at the HRT of 6 hours. Nevertheless, at HRTs greater than 4 hours, the solubilization efficiency was not proportionally increased with increasing specific input energy, indicating that an appropriate sludge retention time needs to be applied to achieve effective solubilization efficiencies at a minimal power consumption for the non-thermal plasma reaction.
Ozone, an atmospheric pollutant, can damage similar UV and X-rays DNA and its components. It is possible then that the KNA damage produced by this gas are similar, to some extent, to those of radiations and that they could be repaired by the same DNA repair mechanisms. It has been observed in Escherichia coli that radiosensitive strains such as lex A, rec A and pol A, all deficient to some extent for DNA repair, are more sensitive to ozone than a wild type strain. We have thendetermined the ozone resistance and host-cell reactivation of ozone-damaged T3 phages for the E. coli double mutants pol A, lex A, uvr B, lex A, uvr A, rec A and rec A lox A. According to the results, the DNA polymerase 1 plays a key role in ozone resistance and Type 11 mechanism and/or shory patch excision repair are the most important for it. The interactions between the different DNA repair mechanisms are secondary. There is a strong correlation between ozone resistance and the capacity to reactivate T3 phages damaged by ozone.
Passive sampler is a simple and cost-effective measuring equipment for ambient and indoor air pollution. We studied the performance of a short term (1 hour mean concentration) ozone passive sampler which was coated with a colorant (indigo carmine) to a filter substrate. Acetone and sulfamic acid added ozone passive sampler was investigated to measure short term mean ozone concentration. Ozone response and interference of criteria air pollutant($SO_2,\;NO_2$, CO) on a short term ozone passive sampler was tested through experimental chamber. The results show sulfamic acid added passive ozone sampler have good response in ozone exposure. Interference of $NO_2$ gas is larger than other two criteria gases.
Ozone is usually generated from oxygen gas using a silent discharge apparatus and its concentration is less then 10 mol%. An ozone condensation system is constructed for metal oxide thin film fabrication. Ozone is condensed by the adsorption method, which is widely used for the growth of oxidation thin films such as superconductor. Highly condensed ozone is analyzed by three methods; ultraviolet absorption, thermal decomposition and Q-mass analyzing methods. Thermal decomposition method is most effective in the highly condensed ozone region and its method is superior to Q-mass analyzer for determining ozone concentration because of the simplicity of the method.
The characteristics of the ozone treatments of phenol were studied in a laboratory scale wastewater treatment system. The ozone treatment of wastewater was carried out in a batch-type reactor. The initial pH of wastewater(7-10), volumetric flow rate(1-2l/min) and ozone concentration(20~30 mg/l) of aerating gas were considereal as experimental variables in the ozone treatment. Phenol was decomposed easily by the ozone in a batch treatment, where the rate determining step was the COD removal that is decomposition of intermediates formed by the ozonation of phenol. Phenol decomposition and COD removal could be expressed by the first order reaction for the phenol concentration and COD, respectively. Rate constants of phenol decomposition and COD removal increased with the initial pH, volumetric flow rate and ozone concentration of aeration gas. Under the present experimental condition, their relationships could be given by for the phenol decomposition $k'=4.46\times 10^{-9}[pH]_o ^{3.94}[O_3]^{1.42}Q_{O3}^{1.57}$ for the COD removal $k=2.46\times 10^{-10}[pH]_o ^{5.19}[O_3]^{1.15}Q_{O3}^{1.19}$
An Ozone reaction model combined with CFD(Computational Fluid Dynamics) technique was developed in this research, in the simulation of ozonation, hydrodynamic behavior as well as reaction model is important because ozone is supplied to treated water as gas ozone. In order to evaluate hydrodynamic behavior in an ozone contactor, CFD technique was applied. CFD technique elucidated hydrodynamic behavior in the selected ozone contactor, which consisted of three main chambers. Three back-mixing zones were found in the contactor. The higher velocities of water were observed in the second and third compartments than that in the first compartment. The flow of the opposite direction to the main flow was observed near the water surface. Based on the results of CFD simulation, the ozone contactor was divided into small compartments. Mass balance equations were established were established in each compartment with reaction terms. This reaction model was intended to predict dissolved ozone concentration, especially. We concluded that the model could predict favorably the mass balance of ozone, namely absorption efficiency of gaseous ozone, dissolved ozone concentration and ozone consumption. After establishing the model, we discussed the effect of concentration of gaseous ozone at inlet, temperature and organic compounds on dissolved ozone concentration.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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