Effect of Substrate Temperature and Oxygen Ambient Gases on the Structural and Electrical Characteristics of IGZO Thin Films (기판온도 및 산소 분위기 가스에 따른 IGZO 투명전도성박막의 구조적 및 전기적 특성)
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- Journal of the Semiconductor & Display Technology
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- v.22 no.3
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- pp.96-100
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- 2023