1 |
D. K. Kim and H. B. Kim, J. Kor. Vac. Soc. 23, 366 (2014).
|
2 |
X. Jiang, F. L. Wong, M. K. Fung, and S. T. Lee, Appl. Phys. Lett. 83, 7875 (2003).
|
3 |
J. Muller, B. Rech, J. Springer, and M. Vanecek, Sol. Energy 77, 917 (2004).
DOI
|
4 |
T. Minami, S. Takata, and T. Kakumu, J. Vac. Sci. Technol. A 14, 1689 (1996).
DOI
|
5 |
D. K. Kim and H. B. Kim, J. Kor. Vac. Soc. 24, 242 (2015).
|
6 |
J. Mass, P. Bhattacharya, and R. S. Katiyar, Mater. Sci. Eng. B 103, 9 (2003).
DOI
|
7 |
M. Miyazaki, K. Sato, A. Mitsui, H. Nishimura, and J. Non-Crystalline Solids 218, 323 (1997).
DOI
|
8 |
J. K. Seo, K. H. Ko, H. J. Cho, W. S. Choi, M. Park, K. H. Seo, Y. Park, and D. G. Lim, Applied Transactions on Electrical and Electronic materials, 11, 29 (2010).
DOI
|
9 |
D. S. Lee and H. D. Jeong, J. Kor. Vac. Soc. 23, 376 (2014).
|
10 |
S. T. Hwang and C. B. Park, Applied Transactions on Electrical and Electronic materials, 11, 81 (2010).
DOI
|
11 |
K. Ellmer, R. Wendt, Surf. Coat. Technol. 93, 21 (1997).
DOI
|