• 한국진공학회:학술대회논문집
• /
• 한국진공학회 2016년도 제50회 동계 정기학술대회 초록집
• /
• pp.93-93
• /
• 2016

Large scale integrated circuits (LSIs) has been improved by the shrinkage of the circuit dimensions. The smaller chip sizes and increase in circuit density require the miniaturization of the line-width and space between metal interconnections. Therefore, an extreme precise control of the critical dimension and pattern profile is necessary to fabricate next generation nano-electronics devices. The pattern profile control of plasma etching with an accuracy of sub-nanometer must be achieved. To realize the etching process which achieves the problem, understanding of the etching mechanism and precise control of the process based on the real-time monitoring of internal plasma parameters such as etching species density, surface temperature of substrate, etc. are very important. For instance, it is known that the etched profiles of organic low dielectric (low-k) films are sensitive to the substrate temperature and density ratio of H and N atoms in the H2/N2 plasma [1]. In this study, we introduced a feedback control of actual substrate temperature and radical density ratio monitored in real time. And then the dependence of etch rates and profiles of organic films have been evaluated based on the substrate temperatures. In this study, organic low-k films were etched by a dual frequency capacitively coupled plasma employing the mixture of H2/N2 gases. A 100-MHz power was supplied to an upper electrode for plasma generation. The Si substrate was electrostatically chucked to a lower electrode biased by supplying a 2-MHz power. To investigate the effects of H and N radical on the etching profile of organic low-k films, absolute H and N atom densities were measured by vacuum ultraviolet absorption spectroscopy [2]. Moreover, using the optical fiber-type low-coherence interferometer [3], substrate temperature has been measured in real time during etching process. From the measurement results, the temperature raised rapidly just after plasma ignition and was gradually saturated. The temporal change of substrate temperature is a crucial issue to control of surface reactions of reactive species. Therefore, by the intervals of on-off of the plasma discharge, the substrate temperature was maintained within ${\pm}1.5^{\circ}C$ from the set value. As a result, the temperatures were kept within $3^{\circ}C$ during the etching process. Then, we etched organic films with line-and-space pattern using this system. The cross-sections of the organic films etched for 50 s with the substrate temperatures at $20^{\circ}C$ and $100^{\circ}C$ were observed by SEM. From the results, they were different in the sidewall profile. It suggests that the reactions on the sidewalls changed according to the substrate temperature. The precise substrate temperature control method with real-time temperature monitoring and intermittent plasma generation was suggested to contribute on realization of fine pattern etching.

• 콘크리트학회논문집
• /
• 제18권1호
• /
• pp.83-90
• /
• 2006

본 연구는 PP 및 CL 섬유 혼입량 변화에 따라 제작한 고성능 K 기둥부재를 대상으로 화재를 상정한 내화시험 후 폭열 방지 및 내화성능을 검토한 것으로, 그 실험결과를 요약하면 다음과 같다. 굳지않은 콘크리트의 특성으로, PP 및 CL섬유 혼입량 증가에 따른 유동성은 섬유의 엉킴현상 등에 의해 플레인보다 저하하였고, 공기량은 다소 증감의 차이는 있으나 모두 목표 공기량의 범위를 만족하였으며, 경화 콘크리트의 압축강도는 섬유 혼입량 변화에 따라 50 MPa 전후의 고강도로 나타났다. 내화시험 후 RC 기둥부재의 폭열특성으로, 섬유를 혼입하지 않은 플레인은 전체적으로 심한 파괴폭열이 발생하여 철근이 노출되었고, PP섬유를 혼입한 경우는 내부 수증기압의 효과적인 배출로 폭열이 방지되었으며, CL섬유는 플레인보다 폭열 방지효과는 있으나, 모서리 부분에서 일부 파괴폭열이 발생하였다. 또한, 내화시험 후 폭열깊이는 표면보다 모서리에서 더 깊게 나타났고, 폭열발생면적율은 폭열방지 성능과 관계하여 PP섬유를 혼입한 경우가 가장 양호하였으며, 중성화깊이는 $6{\sim}8mm$ 전후의 유사한 깊이로 나타났다. 내화시험 후 잔존 압축강도율은 PP섬유를 혼입한 경우 40% 전후로 플레인의 20% 보다 크게 나타났고, CL섬유를 혼입한 경우는 25% 전후로 플레인과 큰 차이가 없었다.

• 한국수자원학회논문집
• /
• 제33권6호
• /
• pp.793-804
• /
• 2000

실제 유역에서 강우량 분포는 시·공간적으로 많은 변화가 있으나 유출량 모의시에는 종종 유역내 동일한 강우량이 분포하는 것으로 가정하여 해석하게된다. 그러나 이러한 가정을 가지고 유출을 모의하게되면 그 정확성에 한계가 따르며, 태풍, 사이클론, 허리케인 등에서 종종 일어나는 이동강우의 경우에는 산출된 유출량의 정확성 문제가 더욱 크게 나타난다. 본 논문에서는 GIS기법을 이용하여 1999년 8월 2일 16:00에서 23:00까지 춘양관측소에서 관측된 등우선도를 활용하여 이동강우 유출특성을 분석하였다. 강우의 이동방향을 서로 다른 8가지 방향으로 달리하여 유출을 모의한 결과 복하천 실험 유역에서는 SE방향에서 최대 첨두유출량이 나타났다. 또한 서로 다른 이동속도를 갖는 이동강우에 따른 유출량을 속도별로 비교한 결과 속도가 낮을수록 더 큰 첨두유출량이 발생하였다. 따라서 유역에서의 유출을 모의하기 위하여 GIS를 활용하는 경우, 자료 준비의 간편성 및 계산시간의 단축과 같은 장점을 얻을 수 있을 것이다.

• 한국해안·해양공학회논문집
• /
• 제21권6호
• /
• pp.444-452
• /
• 2009

진우도 해빈에서 2005년 11월과 2006년 5월의 2회에 걸쳐서 표층퇴적물을 채취하여 퇴적물의 조직변수를 분석하였다. 2005년 11월에 비하여 2006년 5월에는 진우도 서쪽 해빈의 최빈값은 $3.0\phi$(i.e., 0.125 mm)로 변화가 거의 없었으나, 동쪽 해빈에서는 최빈값$3.0\phi$(i.e., 0.125 mm)의 함량이 대폭 감소하고 $2.5\phi$(i.e., 0.177 mm)가 절대적으로 우세한 조립화 경향이 발생하였다. 마찬가지로 표층퇴적물 평균 입도는 서쪽 해빈에서는 두 조사의 차이가 거의 미약하지만, 동쪽 해빈의 평균입도는 증가되어 조립화된 특징을 반영한다. 이러한 조립화는 2006년 5월에 진우도의 동쪽 해빈의 표층퇴적물에서 상대적으로 양의 값으로 변화된 왜도 경향과 일치한다. 결과적으로 2005년 겨울을 지나면서 진우도의 표층퇴적물은 서쪽 해빈은 큰 변화를 보이지 않는 반면에 동쪽 해빈은 $3.0\phi$(i.e., 0.125 mm)의 세립 사질퇴적물이 제거되는 현저한 조립화 경향이 나타난 것이다. 이와 같은 변화는 낙동강 하구역에 하계동안 증가된 강수량과 낙동강 방출량 그리고 동계동안 우세한 파랑 그리고 조석의 영향 등이 복합적으로 작용하여 진우도 서쪽 해빈과 동쪽 해빈의 표층퇴적물에 영향을 주는 수리학적 조건과 퇴적물의 공급/제거가 다르기 때문이다.

• Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
• /
• 제40권1호
• /
• pp.69-74
• /
• 2016

낙동강 하구를 둘러싸고 있는 울타리 섬들 중 하나인 진우도 남측 해역에서의 해저지형 변동을 2006년 6월부터 2015년 4월까지 총 16회의 수심측정 자료를 이용하여 연구하였다. 이 해역의 동쪽은 진우도와 신자도 사이로 서낙동강과 낙동강 하구둑에서 유입되는 담수의 이동 통로로 해수와 담수의 유입 및 유출 수로가 위치해 있으며, 서쪽은 눌차도와 진우도 사이로 부산신항의 연결잔교를 통하여 해수가 이동하는 수로가 존재한다. 동쪽 수로 연장에서의 변화가 이 해역의 해저지형 변화를 주도한다. 지형 변동은 퇴적 또는 침식만이 일방적으로 진행되는 것이 아니라 퇴적 또는 침식이 진행되다가 어느 일정한 단계가 지나면 급격한 변형을 통하여 회귀하는 형태를 보이고 있다. 특히 연구 지역의 총 퇴적량은 2006년 6월부터 2013년 3월까지 증가하다가 2013년 10월 자료부터 급격히 감소하여 2015년 4월까지 큰 변동없이 유지되고 있는 것을 보여주고 있다는 결론을 얻었다. 이것은 2013년 10월 초에 한반도에 영향을 준 제 24호 태풍 '다나스' (Danas)에 의해 진우도 남측해역의 토사가 외해로 쓸려나간 현상으로 판단된다. 진우도 동쪽에 위치한 수로의 변동은 동서, 남북 방향의 측선을 이용하여 분석하였는데, 수로의 최대수심 위치가 2006년 6월에 비해 2015년 4월까지 서쪽으로 약 100 ~ 130 m, 북쪽으로 약 200 m 이동한 것으로 확인되었다.

• 한국해양학회지:바다
• /
• 제8권3호
• /
• pp.225-236
• /
• 2003

한강 유역에서 하천과 하구-만의 퇴적환경의 연계성과 한강본류의 퇴적환경의 변화를 연구하기 위해, 230여 점의 표층퇴적물과 70여 점의 부유퇴적물과 수리학적 자료를 분석하였다. 연구지역은 신곡수중보를 기준으로 두 가지 환경(하천, 하구-만)으로 구분할 수 있다. 남한강과 북한강에는 역질 퇴적상이, 한강 본류는 사질과 실트질 퇴적상이 우세하게 븐포하였다. 한강 본류 지역은 신곡수중보에 의한 제한적인 퇴적물 이동과 에너지 환경에 의해 퇴적환경의 변화가 발생하였다. 하구-만 환경에 있어서, 수로와 외해 지역에는 상대적으로 조립한 퇴적물이 우세한 반면에, 연안지역은 세립하고 분급도가 불량한 퇴적물이 우세하게 분포하였다. 하천과 하구-만의 연계성은 인공 구조물에 의한 흐름의 제한에 의해서 영향받기 때문에, 평수기에 각 하천은 개별적인 퇴적환경을 나타내며, 하천과 하구-만의 연계적인 퇴적환경은 조석에 영향을 받고, 하구-만의 전이적인 지역은 하천 방향으로 이동한다. 그러나, 풍수기에 각 하천은 하천 유량의 증가에 의해, 연계적인 퇴적환경을 나타내며, 하천-하구-만의 각각의 전이지역은 외해방향으로 이동함을 시사한다. 보다 자세한 연구를 위해서는 신곡수중보 하류의 하구지역에 대하여 남북한 공동연구가 필요하다.

• 한국수자원학회논문집
• /
• 제45권11호
• /
• pp.1157-1168
• /
• 2012

본 연구에서는 시간에 따른 수질 변화를 파악하고 원인에 따른 경향을 분석함으로써 적절한 관리대책을 수립하는 것이 필요하다고 생각되어 이 같은 연구를 하게 되었다. 현재 수질오염이 심각한 낙동강 수계를 대상으로 2006~2010년까지 수질변화를 분석하였다. 수계의 803개, 국가하천 13개소, 지방1급 하천은 10개소, 하천에 합류하는 하천은 31개 지점에서 측정한 수은, BOD(Biological Oxygen Demand), TN(Total Nitrogen)과 TP(Total Phosphorus) 등의 월평균 자료결과를 바탕으로 하여 통계적 분석(상관분석, 회귀분석, 분산분석, 시계열분석)을 통한 낙동강 유역의 인근 지역의 계절별로 수질항목을 확인하였으며, 평가지표에 따른 변화를 측정하고자 하였다. 유역의 지질 및 지형의 영향이 주로 작용하는데 지역의 기후조건, 식생, 지형, 토양, 비포화대 매질의 영향을 받기 때문에 여러가지의 변수를 가지고 유출했으며, 이는 방류량의 결정문제, 호소의 부영양화 문제 등이 제기될 수 있겠으며, 좋은 개선방안을 만들어보려고 한다. 따라서 낙동강의 강우기 유량을 증대하는 대책이 병행되는 것이 바람직하며, 물 관리 대책에는 하천유지용수 확보를 구성을 해야하며, 수로 건설사업 완료를 지속적인 관찰이 필요하다. 그러나 지류에는 물이 흐르지 않는 시기가 발생하는 이유는 자연 상태에서 흘러야 하는 하천수 및 공업용수와 농업용수로 취수했기 때문이다. 따라서 이모든 것을 관찰 및 구성을 하기 위해서는 지속적인 연구가 필요로 하며, 다음과 같은 연구의 목적을 두고 연구조사 하였다.

• 대한한방내과학회지
• /
• 제28권4호
• /
• pp.863-871
• /
• 2007

Objects : To gain better insights of East-west integrated treatment of ischemic stroke. We analyzed 89 patients with severe acute ischemic stroke who were admitted to the East-west integrated intensive care unit. Methods : Subjects enrollment was from the East-west integrated intensive care unit of Kyung Hee Medical Center from March 2006 to February 2007. Patients were admitted within 14 days after the onset of ischemic stroke. We assessed the subjects' general characteristics, risk factors, admitting routes and periods, diagnostic imaging, process of western treatment and Korean traditional treatment, complication and consequence. Results : The proportion of males was 50.6%, of females 49.4%, average age was male 66.0$\pm$10.3 and female 71.1$\pm$10.5. Average length of hospital stays was 19.5 days. Monthly admissions were highest in November and December. The admission route was through emergency room (61.8%) or ward (34.8%). Mean Glasgow coma scale score was 10.0$\pm$2.5, average time from symptom of onset to hospital admission was 2.3$\pm$2.2 days. Dominant ischemic vascular territory was middle cerebral artery (66.3%). Initial western treatment was argatroban (22.5%), urokinase (28.1%), and heparinization (38.2%). Distribution of Sasang constitution of So-yang to Tae-eum to So-eum was equal to 5.4 to 2.9 to 1.5. Major complications were observed in 40 (42.7%) patients. In hospital mortality was 12.4% (11 deaths), all of them caused by aggravation of neurological deficit and only 3 of them with major complications. There appears to be a significant positive relationship between length of hospital stay and occurrence of complications (P<0.05). After discharge from the ICU, 64 (71.9%) patients were improved, 11 (12.4%) patients had expired, and 14 (15.8%) patients were transferred. Conclusions : From this study, we suggest that patients with severe acute ischemic stroke should be treated with East-west integrated therapy for more favorable consequences and decreased mortality.

• 지질공학
• /
• 제20권4호
• /
• pp.449-459
• /
• 2010

수치모델링은 지하굴착 지역의 지하수 유입량과 주변 지역의 지하수위 변회를 평가하기 위해서 수행하게 된다. 본 연구에서는 경기편마암복합체로 이루어진 경기도 용인시 기흥터널 지역의 터널 건설에 따른 지하수위 변동과 터널내 지하수 유출량을 평가하였다. 이를 위하여 수리지질학적 및 지질학적 자료와 전기비저항 탐사 자료를 이용하였으며, 특히 기흥터널의 남부에 위치하는 주향이동단층이 터널 내 지하수 유입량에 미치는 영향을 고려하였다. 부정류 수치 모델링 결과 그라우팅 효율이 40%일 때, 지하수 유출량은 약 $306\;m^3$/day로 평가되었으며, 이때 관측된 지하수위 변동폭(6.30 m)과 계 된 지하수위 변동폭(6.20 m)은 서로 비슷하였다.

• 수산해양기술연구
• /
• 제22권4호
• /
• pp.1-20
• /
• 1986

Physical, chemical and biological surveys on Nakdong River estuary were made from October, 1985 to September, 1986. 1. For all the seasons except summer, the sea surface temperature in northwest area of the line which linked from Seo Island to Jisim Island was I-2$^{\circ}$C lower than in southeast area, but in summer the sea surface temperature in northwest area was I-2$^{\circ}$C higher than in southeast area. On the contrary, bottom temperature of coastal area was 1$^{\circ}$C higher than that of oceanic area except winter. 2. Surface salinity in summer and fall has minimum value of 1. 9%0 and maximum value of 32.9%0. This large variation was caused by the runoff of the Nakdong River. Effect of less saline Nakdong River water in northwest area of the line which linked from Seo Island to Jisim Island was greater than in southeast area. A strong current rip always formed near this line. 3. The yellowish-green colored zone was observed in the Nakdong River estuary throughout the year by influence of river discharge. The characteristics of the water quality in the zone have shown that the water color was grade 7 by the Forel water-color meter, transparency was less than 4 m, and concentration of suspended solids was more than 5 mg/1. This water body was in the state of eutrophication in terms of chlorophyll-a and inorganic nitrogen concentration during summer season. 4. During the study period, total 276 taxa were identified. Most of them were diatoms and dinoflagellates which consisted of 97.5%. The component ratio of the above two groups was 84.4% and 13.1 % respectively. Diatoms were plentiful in December and dinoflagellates in July. Dominant species were Nitzschia seriata in October, Thalassiosira rotula in December, Skeletoncma costatum in April, and Nitzschia longissima in July. 5. A total of 47 zooplankton taxa was identified from the samples collected. Copepods were numerically the most important components of zooplankton communities in the study area. The domir:ant copepod species were Paracalanus parvus, Acartia clausi and Temora turbinata. Noctiluca scintillans was the next important component. The other zooplankton with minor abundance were Cladocera. Sagitta spp., Cnidaria, Mysidacea, Lucifer spp. and Amphipoda. 6. During the study period, fishes from 47 families and 87 species were sampled in th~ study area. The four most abundant fish species were Rep~mucen//'s valencicnnei, Leiognathus n~cha!is, Amblychaeturicllthys hexanema and Sardirel/a zun:zsi. The fish species of the secondary importance in abundance were Cynoglossus joyneri, Sillago sihama, Engra~lis japonicus, Encdrias nebulos'l, Acanthogobius flavimanus, Trichiurus lepturus, LiParis tanai/ai, Cynagloss//'s interruptus, Aj)ogon line:z!us, Thrissz la 1l.'1la!ensis, and Limanda yokohamac.