• E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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• 제12권7호
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• pp.7-11
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• 1999

Fully sealed field emission display in size of 4.5 inch has been fabricated using single-wall carbon nanotubes-organic vehicle com-posite. The fabricated display were fully scalable at low temperature below 415$^{\circ}C$ and CNTs were vertically aligned using paste squeeze and surface rubbing techniques. The turn-on fields of 1V/${\mu}{\textrm}{m}$ and field emis-sion current of 1.5mA at 3V/${\mu}{\textrm}{m}$ (J=90${\mu}{\textrm}{m}$/$\textrm{cm}^2$)were observed. Brightness of 1800cd/$m^2$ at 3.7V/${\mu}{\textrm}{m}$ was observed on the entire area of 4.5-inch panel from the green phosphor-ITO glass. The fluctuation of the current was found to be about 7% over a 4.5-inch cath-ode area. This reliable result enables us to produce large area full-color flat panel dis-play in the near future. Carbon nanotubes (CNTs) have attracted much attention because of their unique elec-trical properties and their potential applica-tions [1, 2]. Large aspect ratio of CNTs together with high chemical stability. ther-mal conductivity, and high mechanical strength are advantageous for applications to the field emitter [3]. Several results have been reported on the field emissions from multi-walled nanotubes (MWNTs) and single-walled nanotubes (SWNTs) grown from arc discharge [4, 5]. De Heer et al. have reported the field emission from nan-otubes aligned by the suspension-filtering method. This approach is too difficult to be fully adopted in integration process. Recently, there have been efforts to make applications to field emission devices using nanotubes. Saito et al. demonstrated a car-bon nanotube-based lamp, which was oper-ated at high voltage (10KV) [8]. Aproto-type diode structure was tested by the size of 100mm $\times$ 10mm in vacuum chamber [9]. the difficulties arise from the arrangement of vertically aligned nanotubes after the growth. Recently vertically aligned carbon nanotubes have been synthesized using plasma-enhanced chemical vapor deposition(CVD) [6, 7]. Yet, control of a large area synthesis is still not easily accessible with such approaches. Here we report integra-tion processes of fully sealed 4.5-inch CNT-field emission displays (FEDs). Low turn-on voltage with high brightness, and stabili-ty clearly demonstrate the potential applica-bility of carbon nanotubes to full color dis-plays in near future. For flat panel display in a large area, car-bon nanotubes-based field emitters were fabricated by using nanotubes-organic vehi-cles. The purified SWNTs, which were syn-thesized by dc arc discharge, were dispersed in iso propyl alcohol, and then mixed with on organic binder. The paste of well-dis-persed carbon nanotubes was squeezed onto the metal-patterned sodalime glass throuhg the metal mesh of 20${\mu}{\textrm}{m}$ in size and subse-quently heat-treated in order to remove the organic binder. The insulating spacers in thickness of 200${\mu}{\textrm}{m}$ are inserted between the lower and upper glasses. The Y\ulcornerO\ulcornerS:Eu, ZnS:Cu, Al, and ZnS:Ag, Cl, phosphors are electrically deposited on the upper glass for red, green, and blue colors, respectively. The typical sizes of each phosphor are 2~3 micron. The assembled structure was sealed in an atmosphere of highly purified Ar gas by means of a glass frit. The display plate was evacuated down to the pressure level of 1$\times$10\ulcorner Torr. Three non-evaporable getters of Ti-Zr-V-Fe were activated during the final heat-exhausting procedure. Finally, the active area of 4.5-inch panel with fully sealed carbon nanotubes was pro-duced. Emission currents were character-ized by the DC-mode and pulse-modulating mode at the voltage up to 800 volts. The brightness of field emission was measured by the Luminance calorimeter (BM-7, Topcon).

• 한국식생활문화학회지
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• 제17권4호
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• pp.456-464
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• 2002

3% 갈근 열수 추출액 급여와 카드뮴을 흰쥐에게 4주 동안 급여 한 후 간과 신장 조직의 카드뮴 함량, renin 호르몬 농도, 혈청중의 GPT, GOT 및 LDHase의 함량을 조사하였다. 식이섭취량에서 대조군인 24.62 g에 비하여, 3% 갈근 열수 추출액 급여군은 23.41 g으로, 카드뮴 급여군은 23.76 g에 비하여, 갈근 열수 추출액급여군과 카드뮴 병합 급여군은 22.25 g으로 감소하였으나 유의한 차이는 없었다. 체중 증가량은 대조군이 124.50 g이고, 3% 갈근 열수 추출액급여군은 127.22 g으로 대조군에 비하여 감소하였다. 카드뮴 급여군은 107.57 g에 비하여, 갈근 열수 추출액급여군과 음용수와 카드뮴 병합 급여군은 128.80 g으로 유의적으로 증가하였다. 식이효율은 카드뮴 급여군과 갈근- 카드뮴 병합 급여군 간에는 유의성이 인정되었다. 간의 무게에서 대조근에 비하여 갈근 열수 추출액 급여군이 약간 감소하였으나 유의한 차이는 없었으며 카드뮴 공급군에 비하여 갈근-카드뮴 병합 급여군이 유의적으로 증가하였다. 신장 무게는 카드뮴 공급군에 비하여 갈근 카드뮴 병합 급여군이 유의적으로 증가하였다. 간 조직내에서의 카드뮴 함량은 대조군이 0.15 ug/g으로 갈근 열수 추출액급여군은 0.14 ug/g에 비하여 별다른 차이를 보이지 않았다. 카드뮴 급여군은 3.04 ug/g에 비하여 갈근-카드뮴 음용수 병합 급여군은 2.87 ug/g 유의적으로 감소하였다. 신장 조직내에서 대조군은 0.21 ug/g이었으나, 갈근 열수 추출액급여군 은 0.23 ug/g으로 별다른 차이는 없었다. 카드뮴 급여군은 6.48 ug/g에 비하여 갈근 열수 추출액급여군과 카드뮴 병합 급여군은 4.42 ug/g 4.57ug/g으로 유의적으로 감소하였다. 혈장호르몬인 renin 농도는 갈근차 음용수군은 16.73 ngAl/mL/hr으로 대조군인 15.89 ngAl/mL/hr에 비해서 증가하였다. 카드뮴 급여군은 25.72 ngAl/mL/hr으로 카드뮴과 갈근 열수 추출액 병합 급여군인 18.57ngAl/mL/hr에 비하여 유의성 있게 증가하였다. GOT는 대조군이 96.16 U/L에 비하여 갈근차 단독 급여군은 96.44 U/L로 약간 증가하였다. 카드뮴 급여군은 154.40 U/L인데 비하여 카드뮴과 갈근 열수 추출액 병합 급여군이 118.80 U/L으로 유의적으로 감소하였다. GPT는 대조군이 59.60 U/L에 비하여, 갈근 열수 추출액 급여군은 63.46 U/L으로 약간 증가하였으나 유의한 차이는 없었다. 카드뮴 급여군은 73.54 U/L 인데 비하여 갈근 열수 추출액 급여군과 카드뮴 병합 급여군은 69.80 U/L으로 유의적으로 감소하였다. LDHase는 대조군이 179.00, 갈근 열수 추출액급여군은 198.60 U/L으로 대조군에 비하여 감소하였으나 유의한 차이는 나지 않았다. 카드뮴 급여군은 264.30 U/L 인데 비하여 갈근 열수 추출액급여군와 카드뮴 동시 병합 급여군은 227.30 U/L으로 유의적으로 감소하였다. 카드뮴에 중독된 흰쥐에 대한 갈근 추출물의 해독 효과를 알아 보는 본 연구에서 50 ppm의 카드뮴액과 함께 3% 갈근 추출액을 급여한 흰쥐의 체중증가량과 사료 섭취 효율을 50 ppm의 카드뮴만을 급여한 흰쥐의 이들 측정값과 비교할 때 유의적인 차이가 없었다. 그러나 50 ppm의 카드뮴액과 함께 3% 갈근 추출액을 급여한 흰쥐군은 50 ppm의 카드뮴액만을 급여한 흰쥐군과 비교하여 신장내 카드뮴 함량과 GPT 및 LDH 활성도, renin 활성도가 유의적으로 감소되었고 신장 무게는 정상 흰쥐와 같은 수준으로 회복하였고 GOT 활성도 역시 정상 흰쥐와 같은 수준으로 감소를 보여 갈근이 카드뮴 중독 흰쥐에서 신장 등의 장기내 카드뮴 축적의 감소로 카드뮴 중독 작용의 경감 효과를 갖는 것으로 나타났다.

• 한국식품과학회지
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• 제43권5호
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• pp.525-531
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• 2011

본 연구에서는 식육의 중금속 기준규격 설정을 위하여 다소비 식품인 소, 돼지, 닭, 오리, 햄 및 소시지에 대하여 중금속 함량을 조사하였다. 국내 유통 중 식육 및 식육 가공품 총 466건을 2008년 5월부터 11월까지 구입하고 납, 카드뮴, 비소 및 수은의 함량을 분석하였다. 시료의 분해를 위해 관련 전처리 방법을 비교하여 검증된 중금속 분석법을 찾고자 하였으며, 이를 근거로 소, 돼지, 닭, 오리, 햄 및 소시지 6종류의 시료에 대하여 납, 카드뮴, 비소 및 수은을 모니터링하고 안전성 평가를 위해, 수집된 자료와 식이섭취량으로 JECFA의 주간잠정섭취허용량와 비교 분석하고자 하였다. 전처리법으로 비교한 습식 분해법과 마이크로웨이브법은 회수율이 모두 80% 이상이며 재현성(RSD)은 10% 미만으로 나타났으나 전처리 시간과 조작의 편리성에서 마이크로웨이브법이 나은 것으로 판단되었다. 따라서 납, 카드뮴, 비소의 경우 산 혼합액을 사용한 마이크로웨이브법으로 시료를 전처리하여 ICP-MS로 분석하였고, 수은은 수은분석기를 사용하여 직접 분석하였다. 전반적으로 낮게 검출된 원소는 카드뮴과 수은이었으며, 납과 비소는 상대적으로 높게 나타났다. 납의 경우 평균함량이 식육은 0.006-0.010 mg/kg이었고, 식육가공품은 0.005-0.009 mg/kg이었다. 카드뮴의 경우 평균함량이 식육은 0.000-0.001 mg/kg이었고, 식육가공품은 0.001-0.002 mg/kg이었다. 비소의 경우 평균함량이 식육은 0.004-0.021 mg/kg이었고, 식육가공품은 0.014-0.018 mg/kg이었다. 그리고 수은 함량은 식육에서 0.710-0.902 ${\mu}g/kg$이었고, 식육가공품은 1.052-1.141 ${\mu}g/kg$이었다. 안전성 평가를 위해 본 연구에서 측정된 모니터링 자료를 이용하여 JECFA(Joint FAO/WHO Expert Committee on Food Additives)의 주간잠정섭취허용량(Provisional Tolerable Weekly Intake, PTWI)와 비교하여 노출량을 평가한 결과, 본 사업에서 검출된 중금속 함량은 비교적 안전한 수준으로 확인할 수 있었다.

• Journal of Nutrition and Health
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• 제42권5호
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• pp.442-452
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• 2009

흡연은 신체 내 산화 스트레스를 유발할 뿐 아니라 체내 항산화 상태를 악화시킨다. 따라서 흡연으로 인해 유도되는 산화 스트레스를 줄여주기 위한 여러 다양한 식품영양학적인 시도들이 되어져 왔다. 프로폴리스는 꿀벌이 자신의 생존과 번식을 유지하기 위하여 여러 식물에서 뽑아낸 수지에 꿀벌 자신의 침과 효소 등을 혼합하여 만든 천연 물질이다. 본 연구에서는 프로폴리스가 산화 스트레스로 인해 나타난 흡연자의 DNA 손상을 회복시키어 항산화 영양 상태를 개선시키는지를 보고자 하여 placebo를 사용하는 double- blind cross-over 인체시험을 수행하였다. 흡연자에게 800 mg의 프로폴리스와 placebo를 4주 섭취시킨 후 2주 washout period를 가진 뒤 다시 군을 바꾸어 교차시험으로 4주간 섭취시킨 후, comet assay에 의한 DNA 손상도 및 신체 내 항산화 효소 수준, 총 항산화력 및 항산화 비타민 상태를 분석하였다. 처음 2주 동안의 고갈기간 후에 흡연자 29명 (평균나이: 34.38 ${\pm}$ 1.73세)을 프로폴리스군과 위약군의 두 군으로 나누어 하루에 프로폴리스 또는 위약을 4주 동안 공급하였고 2주 동안의 washout 기간을 가진 후에 교차실험을 위해 대상자의 군을 바꾸어 다시 4주 동안 프로폴리스와 위약을 공급하였다. Comet assay로 분석한 대상자의 임파구 DNA 손상정도는 프로폴리스를 섭취한 군이나 위약을 섭취한 군 간에 차이를 보이지 않았으며 총 항산화 영양상태도 두 군 간에 차이가 나타나지 않았다. 적혈구 항산화 효소인 catalase, glutathione peroxidase (GSH-Px), superoxide dismutase (SOD) 활성도, 그리고 혈장 vitamin C와 tocopherol 수준도 프로폴리스군과 위약군 사이에 차이를 보이지 않았다. 따라서 흡연자에 있어서 프로폴리스의 항산화 효과를 평가하기 위해서는 앞으로 더 다양한 연구가 필요하리라고 생각된다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제38권9호
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• pp.1161-1166
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• 2009

본 연구에서는 고추씨의 생체 내 항산화작용을 규명하기 위하여 고콜레스테롤 고지방 식이 흰쥐 간조직의 항산화 방어계와 지질과산화에 미치는 영향을 관찰하였다. 실험동물은 체중 150$\pm$10 g 내외의 Sprague-Dawley종 수컷 흰쥐를 사용하였으며, 정상식이 대조군(N), 고지방.고콜레스테롤 공급군(HF), 고지방 고콜레스테롤 공급군에 고추씨파우더 5% 공급군(SA), 10% 공급군(SB) 및 15% 공급군(SC)으로 총 5군으로 나누었다. 식이 및 식수는 자유섭취하게 하였으며 4주간 사육한 후 희생시켰다. 실험기간 동안 체중 증가량은 정상군에 비해 고지방 고콜레스테롤 공급군에서 유의적으로 증가하였으나 고추씨 공급군에서는 정상군 수준이었으며 식이효율도 유사한 경향이었다. 간 조직 중의 항산화 효소계인 SOD 활성은 HF군에 비해 고추씨 공급군에서 다소 증가한 경향이었다. GSHpx의 활성은 정상군에 비해 고지방 콜레스테롤 공급군 모두에서 감소되었으나 SC군에서는 정상군 수준이었다. 또한 catalase 함량은 고지방 고콜레스테롤 공급군에 비해 고추씨파우더를 공급한 군에서 증가되었으나 유의적인 차이는 없었다. 유리기를 소거하는 지표인 간조직의 superoxide radical 함량을 microsome에서 관찰한 결과는 정상군에 비해 HF군에서 유의적으로 증가되었으나 고추씨파우더를 공급한 모든 군에서 감소되었다. 간조직의 mitochondria에서는 고추씨파우더를 공급한 모든 군에서 유의적으로 감소하였으며 특히 SB, SC군에서는 정상군 수준으로 감소하였다. 간조직의 cytosol에서 $H_2O_2$를 관찰한 결과 고지방 고콜레스테롤군 대조군에 비해 고추씨파우더 공급군에서 감소되었으나 유의적인 차이는 없었다. 간조직의 mitochondria에서는 정상군에 비해 HF군에서 유의적으로 증가되었으나 SC군에서는 정상군 수준으로 감소되었다. 간조직의 산화적 손상의 지표가 되는 carbonyl가 함량을 microsome에서 측정한 결과는 정상군에 비해 HF군에서 유의적으로 증가되었으나 고추씨파우더를 다량 공급한 두 군에서는 정상군 수준으로 감소되었다. 또한 mitochondria에서 측정한 결과는 HF군에 비해 고추씨파우더를 공급한 군에서 감소하였으나 군 간의 유의적인 차이는 없었다. 간 조직 중의 과산화지질의 함량을 관찰한 결과는 고지방 고콜레스테롤군에 비해 고추씨파우더를 공급한 모든 군에서 정상군 수준으로 감소하였다. 그리고 혈장에서 측정한 결과도 고추씨파우더를 공급한 군에서 정상군 수준으로 감소하는 것을 알 수 있었다. 이러한 결과는 고추씨파우더의 항산화 성분이 효과적으로 활성산소종의 소거에 관여함으로써 산화적 손상을 완화시킨 결과로 보인다.

• Journal of Yeungnam Medical Science
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• 제17권1호
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• pp.21-30
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• 2000

당뇨쥐에서 운동부하가 골격근과 간의 항산화효소 활성도에 미치는 영향과 산소유리기에 의한 조직손상 여부블 관찰한 연구 결과를 요약하면 다음과 같다. Strcptozotocin으로 유도한 당뇨군의 혈당농도(mg/dL)는 $344{\pm}14.8$로서 대조군의 $117{\pm}2.7$보다 높았으며(p<0.001) 운동부하에 의해서 유의하게 감소하였다(p<0.01). 혈장 인슐린 농도(${\mu}U/mL$)는 당뇨군에서 $8.5{\pm}0.5$로서 대조군의 $20.6{\pm}1.4$보다 유의하게 낮았으며(p<0.001) 운동부하후에는 운동부하전과 비교하여 차이가 없었다. 당뇨군에서 실제 운동부하의 정도를 평가하기 위해서 측정한 운동부하후 골격 끈파 간의 당원농도(mg/100 g wet wt.)는 각각 $1.0{\pm}0.1$과 $7.7{\pm}0.8$로서 운동부하전과 비교시 모두 유의하게 감소하였다(p<0.001, p<0.01). 당뇨군의 골격근과 간의 항산화효소 즉 superoxide dismutase(SOD), glutathionc pcroxidase(GPX) 및 catalase(CAT)의 활성도는 운동부하에 의해서 각기 다른 반응을 보였다. 골격근의 SOD 활성도(unit/mg protein)는 대조군에서 $6.3{\pm}0.2$였으며 당뇨군에서는 $5.8{\pm}0.2$로서 대조군과의 사이에 유의한 차이를 발견할 수 없었으나 운동부하후에는 $5.0{\pm}0.1$로서 대조군과 운동부하전 당뇨군보다 유의하게 감소하였다(p<0.001, p<0.01). GPX 활성도(nmol/min/mg protein)는 당뇨군에서 운동부하전후에 각각 $2.3{\pm}0.2$와 $1.8{\pm}0.1$로서 대조군의 $1.6{\pm}0.0$보다 다같이 높았으나(p<0.05, p<0.05) 운동부하에 의해서 영향을 받지 않았다. CAT 활성도(pmol/min/mg protein)는 당뇨군에서 $7.6{\pm}0.7$로서 대조군의 $6.3{\pm}0.7$과 비교하여 차이가 없었으나 훈동부하후에는 $4.6{\pm}0.3$으로서 대조군보다 감소하였으며(p<0.05) 당뇨군의 운동부하전보다도 감소하였다(p<0.01). 당뇨군의 MDA 농도는 대조군과 비교하여 차이가 없었으며 당뇨군에서 운동부하에 의한 영향도 받지 않았다. 간의 SOD 활성도는 대조군에서 $11.3{\pm}0.2$였으며 운동부하전 당뇨군에서는 $9.6{\pm}0.3$으로서 유의하게 감소하였다(p<0.01). 당뇨군에서 운동부하전후 측정한 SOD 활성모는 대조군과 비교하여 다같이 감소하였으나(p<0.01, p<0.001), 운동부하에 의한 영향은 없었다. 당뇨군외 GPX와 CAT의 활성도는 대조군과 비교하여 유의한 차이가 없었으며 당뇨군에서 운동 부하에 의한 변화도 없었다. 운동부하전 당뇨군의 MDA 농도(nmol/g wet wt.)는 $38.5{\pm}1.3$으로서 대조군의 $24.8{\pm}0.9$에 비해서 유의하게 증가하였으며(p<0.001) 운동부하에 의해서는 대조군보다는 높았으나(p<0.001) 운동부하전과 비교하여서는 차이가 없었다. 이상의 결과를 종합하면 당뇨쥐에서 골격근은 운동부하로 인한 산화 스트레스에 대한 적응과정을 통해서 손상이 없었으나, 간 조직은 당뇨병 자체로 인한 산소유리기의 발생으로 손상의 위험이 있었으나 운동부하에 의한 더 이상의 손상은 없었다.

• 한국식품영양과학회지
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• 제33권8호
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• pp.1279-1285
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• 2004

대나무 열수 추출물의 독성 및 항돌연변이 활성을 Ames test를 통해 평가하고 이 중 맹종죽 열수 추출물을 쌀에 코팅한 맹종죽 코팅쌀의 간 독성 억제효과를 고콜레스테롤을 섭취한 NZW계 토끼를 이용한 동물실험을 통해 시험한 결과 다음과 같은 결론을 얻었다. 왕대, 솜대, 맹종죽, 오죽 추출물의 독성 및 돌연변이 억제 효과를 관찰한 결과 대나무 추출물을 0.25∼5.0 mg/plate 농도로 Salmonella typhimurium TA100에 처리하였을 때 독성을 전혀 나타내지 않았다. 또한 대나무 추출물은 S9 mix를 필요로 하거나 또는 필요로 하지 않는 돌연변이원에 대해 강한 저해효과를 나타내었다. 또한 대나무 추출물이 MNNG 투여에 의한 돌연변이 생성율 감소에 미치는 영향을 관찰한 결과 왕대, 솜대 및 맹종죽 추출물을 2.0 mg/plate 농도로 처리하였을 때 96%의 저해 효과를 나타내어 강한 항돌연변이 효과를 보였다. 한편, 맹종죽 코팅쌀을 고콜레스테롤 섭취 토끼에게 16주간 급식한 결과 맹종죽 코팅쌀은 토끼의 체중감소를 유의적으로 억제하였으며 식이섭취량은 유의적인 차이는 나타나지 않았으나 다소 증가하였고 식이효율은 HC군에 비해 HR+MR군에서 유의적으로 높았다. 토끼 조직의 무게에 있어서도 간 무게의 경우 HC군에 비해 HC+MR군에서 유의적으로 높게 나타났고 심장, 신장, 비장 및 폐 조직의 무게에 있어서는 두 군간에 유의적인 차이가 관찰되지 않았다. 또한 혈장에서의 GOT 및 GPT 농도를 관찰한 결과 맹종죽 코팅쌀이 두 효소의 활성을 현저히 억제하여 간 보호 효과를 지니는 것으로 사료되었다. 이로써, 대나무 추출물은 독성이 없고 항돌연변이 활성을 나타내며 맹종죽 코팅쌀은 동물의 성장에 있어 해로운 영향을 미치지 않아 안전한 것으로 나타났다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제64권4호
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• pp.272-277
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• 2008

연구배경: 중심성 기도폐쇄를 동반하는 진행성 폐암환자에서 기도폐쇄를 호전시키기 위해 다양한 중재적 시술 Tuberculosis and Respiratory Diseases Vol. 64. No. 4, Apr. 2008277방법들이 시도되고 있으며, 이러한 시술방법 중 최근 굴절성 cryoprobe를 이용한 냉동치료가 국내에서도 시도되고 있다. 방법: 냉동치료 기계는 cryomachine과 cryoprobe로 구성되며, 냉매로는 아산화질소(N2O)를 사용하였다. 굴곡경 기관지내시경의 working chanel을 통해 굴절성 cryoprobe를 악성종양의 중심에 위치한 후 급속 냉동($-89^{\circ}C$)하여 악성 종양 조직을 냉동 시킨 후 stalk을 puling하여 제거하거나 급속 냉동과 해동 과정을 반복하였다. 결과: 중심성 기도폐쇄가 발생한 진행성 폐암 환자 4명에게 냉동치료를 시술하였다. 3명의 환자에서 성공적으로 기도폐쇄를 유발하는 종양을 제거하였으며, 그 후 호흡곤란 및 무기폐 소견이 호전되었다. 1명의 환자에서 기관지 천공으로 인한 종격동 기종이 발생하였으며 또 다른 환자에서 냉동치료 도중 대량 출혈이 발생하였으나 응급 조치 후 다시 회복되었다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제19권1호
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• pp.61-66
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• 2012

반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.

• Tuberculosis and Respiratory Diseases
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• 제44권3호
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• pp.479-492
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• 1997

연구배경 : Isoniazid(INH)와 Rifampicin(RFP)은 강력한 항결핵효과를 가지고 있어 결핵치료에 없어서는 안되는 중요한 약제이지만 우리나라에서는 미국흉부학회에서 추천하는 용량과 다른 용량을 흔히 처방하면서도 적절한 용량에 대한 평가는 미흡하여 결핵의 치료에 혼선을 초래하고 있는 실정이다. 이에 저자들은 정상 한국인에서의 INH, RFP 각각의 약물동력학을 먼저 알아보고, INH 300mg과 INH 400mg복용시, RFP 450mg과 600mg복용시 약통학(pharmacokinetics)적 변화를 비교 분석함으로써 한국인에서 INH, RFP 처방의 기초자료로 제공하고자 본 연구를 시행하였다. 방 법 : 정상인 자원자 22명을 12시간 이상 금식시킨 후 INH 300mg을 복용하게 한 다음, 시간경과에 따른 INH 혈중농도 및 INH 뇨배설량을 High-performance liquid chromatography(HPLC)를 이용하여 측정하였다. 2주후 동일인을 대상으로 INH 400mg을 복용시킨 다음 같은 방법으로 INH 혈중농도 및 뇨배설량을 측정하였다. 마찬가지 방법으로 자원자 20명을 대상으로 RFP 450mg과 600mg을 2주 간격으로 복용시킨 다음, 시간경과에 따른 RFP 혈중농도 및 뇨배설량을 측정하였다. 이 결과를 토대로 최고혈중농도(peak serum concentration, Cmax), 최고혈중농도 도달시간(time to reach to peak serum concentration, Tmax), 혈중반감기, 소실속도상수(elimination rate constank, Ke), 전신 클리어런스(total clearance, CLtot), 신 클리어런스(renalclearance, CLr) 및 신외 클리어런스(nonrenal clearance, CLnr)를 계산하여 비교하였으며, paired t-test로 p value < 0.05 일 경우 통계적으로 의미있는 차이가 있는 것으로 판정하였다. 결 과 : 1) INH 결과 ㄱ) Tmax는 INH 300mg군이 $1.05{\pm}0.34$시간, INH 400mg군이 $0.98{\pm}0.59$시간으로서 두 군간에 차이가 없었고(p > 0.05), 혈중반감기도 INH 300mg군이 $2.49{\pm}0.88$시간, INH 400mg 군이 $2.80{\pm}0.75$시간으로서 두 군간에 차이는 없었다(p>0.05). ㄴ) Cmax는 INH 300mg군이 $4.37{\pm}1.28mcg/mL$, INH 400mg군이 $7.14{\pm}1.95mcg/mL$로서 INH 400mg군에서 유의하게 높았지만(p < 0.01), Ke는 각각 $0.30{\pm}0.07hrs^{-1}$, $0.27{\pm}0.11hrs^{-1}$로서 차이가 없었다(p < 0.05). ㄷ) CLtot은 INH300mg군이 $26.76{\pm}11.80mL/hr$, INH 400mg군이 $21.09{\pm}8.31 mL/hr$로서, INH 400mg군에서 유의하게 낮았다(p < 0.01). 이중 CLr은 각각 $3.04{\pm}1.68mL/hr$, $2.91{\pm}0.77mL/hr$로서 두 군간에 차이가 없었으나(p>0.05), CLnr은 각각 $23.71{\pm}11.52mL/hr$, $18.18{\pm}8.36mL/hr$로서 INH 400mg군에서 유의하게 낮았다(p<0.01). 2) RFP결과 ㄱ) Tmax는 RFP 450m군이 $1.11{\pm}0.41$시간, RFP 600mg군이 $1.15{\pm}0.43$시간으로서 두 군간에 차이가 없었고(> 0.05), 혈중반감기도 RFP 450mg군이 $4.20{\pm}0.73$시간, RFP 600mg군이 $4.95{\pm}2.25$ 시간으로서, 두 군간에 유의한 차이는 없었다(p > 0.05). ㄴ) Cmax는 RFP 450mg군이 $10.12{\pm}2.25mcg/mL$, RFP 600mg군이 $13.61{\pm}3.43mcg/mL$로서 RFP 600mg군에서 유의하게 높았고(p < 0.01), Ke도 각각 $0.17{\pm}0.03hrs^{-1}$, $0.15{\pm}0.03hrs^{-1}$로서 RFP 600mg군에서 통계적으로 유의하게 낮았다(p < 0.01). ㄷ) CLtot은 RFP 450mg군이 $7.60{\pm}1.34mL/hr$, RFP 600mg군이 $7.05{\pm}1.20mL/hr$로서, RFP 600mg군에서 유의하게 낮았다(p < 0.05). 이중 CLr은 각각 $1.41{\pm}0.65mL/hr$, $1.69{\pm}0.61mL/hr$로서 두 군간에 차이가 없었으나(p>0.05), CLnr은 각각 $6.19{\pm}1.56mL/hr$, $5.36{\pm}1.26mL/hr$로서 RFP 600mg군에서 유의하게 낮았다(p < 0.01). 결 론 : 한국인에서는 INH는 300mg이, RFP은 450mg이 적절한 일일용량으로 생각되나 이는 향후 복합적으로 결핵약을 복용하는 실제 결핵환자를 대상으로 한 추시가 필요할 것으로 생각된다.