These days, the quality of goods is required to improve in the process of manufacturing the semiconductor through the short working hours and clean transportation. The non-contact transport device using magnetic levitation can be a solution in the manufacturing process. The non-contact transport device, using electromagnetic actuation, is the system that can actually transport them by only using attraction force from the electromagnetic source without authentic contact. Moreover, the system using electromagnetic force has a substantial number of benefits ranging from unrestricted design to unlimited expansion. Especially, the price is competitive. The non-contact transport device, using electromagnetic force, has another merits in controlling by giving the same amount of attraction force to ferromagnetic body. By controlling the currents given to coil, the operator is able to decide the direction of the transportation. In order to design the optimal system, we implemented five different things such as the presence of the links below the electromagnetic, the electromagnet changes due to coupling method, the change according to the thickness of the links below electromagnet, due to changes in between electromagnetic distance direction, and the size of the current. Through simulations and the optimum design, it seems to control easily and figure out the exact size of power. It might definitely be the non-contact transport that can sharply reduce tiny scratches and particles in the process of manufacturing the semiconductor.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.23
no.5
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pp.435-442
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2014
This paper describes an improved design model that can be used to configure a non-contact pneumatic device to turn a large sheet at the in-line system. For rotational moving in the conveyor system, the conventional method is to turn the system itself. The improved non-contact pick-up system mainly uses 8 pairs of L-shaped latches and 12 swirl type heads. It is positioned above the upward air flow table. This system performs the non-contact gripping and side-edge contact support in the vertical and rotational directions to hold the self-weight of a large flat sheet. A non-contact air head can exert a sufficient gripping ability at 4N lower than the standard working pressure. The side latches support 60% of the lifting force required. Through structural and flow analysis, the working conditions were simultaneously considered in accordance with the deflection and flatness of the glass.
Non-contact transportation system using air cushion for the manufacturing of large-sized LCD panels was considered. Flow characteristics between air pad and glass plate was analyzed using computational fluid dynamics method to obtain optimized air pad configurations. Effects of the design variables such as hole arrays from which gas is injected, gas-feeding method into the gas supplying channels, and horizontal and vertical pitches of clusters of holes were studied. Optimized air pad unit gave evenly distributed pressure contour on the glass surface and well-suspended levitation height in the experiment.
Non-contact transportation of a large-sized glass plate using air cushion for the vertical sputtering system of liquid crystal display (LCD) panel was considered. The objective of the study was to design an air pad unit which was composed of multiple injection and exhaust holes and mass flow supplying pipe. The gas was injected through multiple small holes to maintain the force for levitating glass plate. After hitting the plate, the air was vented through exhaust holes. Complex flow field and resulting pressure distribution on the glass surface were numerically studied to design the air injection pad. The exhaust hole size was varied to obtain evenly distributed pressure distribution at fixed diameter of the injection hole. Considering the force for levitating glass plate, the diameter of the exhaust hole of 30 to 40 times of the gas injection hole was recommended.
Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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2006.10a
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pp.138-144
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2006
Non-contact transportation of a large-sized glass plate using air cushion for the sputtering system of liquid crystal display panel was considered. The gas is injected through multiple small holes to maintain the force for levitating glass plate. Complex flow field and resulting pressure distribution on the glass surface was numerically studied to design the air injection pad. The exhaust hole size was varied to obtain evenly distributed pressure distribution at fixed diameter of the injection hole. Considering the force for levitating glass plate, the diameter of the exhaust hole of 30 to 40 times of the gas injection hole was recommended.
Kim, Joon Hyun;Kim, Young Geul;Ahn, Sung Wook;Kim, Young Sung
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.22
no.6
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pp.937-944
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2013
This paper describes an improved model that can be used for configuring a non-contact pneumatic head to handle a large sheet of glass. The cylindrical head model is of a large size (70 mm). It operates on vortex flow, which can simultaneously generate suction and repulsion over the flat object's surface. The head allows for the minimal non-contact lifting of objects weighing over 3N by using reference conditions (working pressure and head dimensions). Additionally, a functional flow-guide is applied for inducing a developing tangential vortex flow to increase suction and repulsion to the reference head. The cylindrical flow-guide is associated with relatively low tangential velocity. The improved model generates greater lifting force than the reference model, as verified experimentally.
Kim, jinsu;Jeon, taein;Song, seokil;Lee, hyuksoo;Mun, cheol;Gu, bongeun
Proceedings of the Korea Contents Association Conference
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2016.05a
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pp.487-488
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2016
최근, 블루투스 통신이 가능한 스마트폰이 널리 사용되면서, 블루투스 기반의 비콘이 마케팅이나 실내위치기반서비스 등에서 많이 이용되고 있다. 하지만, 비콘의 특성상 정확한 측위가 어려워 응용 분야가 다소 제한적이다. 이 논문에서는 승객의 비콘을 이용하여 대중교통 승하차를 비 접촉식으로 인식하고 과금으로 연결하는 시스템을 제안한다. 이 논문에서는 기존 RSSI를 이용하는 비콘 기반 측위 방법이 신호간섭에 따라 신뢰성이 떨어지는 문제를 해결하기 위한 새로운 방법을 제안한다.
Proceedings of the Korean Geotechical Society Conference
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2004.03b
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pp.622-628
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2004
In general, Reinforced Slopes by Shotcrete are difficult to inspect because of stiff Slope and highly Working Area. So the Inspection Techniques are needed by the Non-contact and Non-destructive. On this Study, Appling the safety method to finding the weak zones(cavity area, dampness area, etc.) by using the Infrared Thermal Technique That is detecting the Detail Thermal Difference on the Surface of Reinforced Slopes by Shotcrete.
Kim, Joon Hyun;Jeong, Young Suk;Lee, Tae Geol;Kim, Tae Hoon;Jung, Hyo Jae
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.22
no.6
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pp.913-920
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2013
This paper presents an applicable basic design that can configure non-contact levitation table for conveying a large sheet of glass. The suggested air levitation table consists of a series of air chambers with porous pads and fans as the conveyor system. The air supply chambers are arrayed to supply an adequately strong upward airflow for supporting the glass. Levitation is controlled by the size and discharge velocity, of the chamber arrays, as well as the glass supporting height. After pre-evaluation of the glass rigidity and the filer functional performance, a one-way fluid structure interface (FSI) analysis is performed for predicting pressure and deflection working of the 8G glass in the transverse and longitudinal directions, respectively. After comparing calculated levels of flatness of the glass, it determines the chamber array for the linear non-contact conveying motion.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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