Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference (한국정밀공학회:학술대회논문집)

2010.05a
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Pages.423-424
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2010
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2005-8446(pISSN)

Korean Society for Precision Engineering (한국정밀공학회)

권호 표지

Hand Device For Non-Contact Wafer Transportation Using CFD

CFD를 이용한 비접촉 웨이퍼 이송 핸드장치 연구

고현준 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
김종형 (서울산업대학교 기계설계자동화공학부) ;
박균명 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
이상용 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
이상철 (한국생산기술연구원 금형기술센터) ;
송춘삼 (서울산업대학교 산업기술정책 연구소)

Published : 2010.05.26

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